安全的单晶炉炉底板制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶炉技术领域的安全的单晶炉炉底板，包括底板本体，所述底板本体的底端外侧固定连接有安装座，所述底板本体内侧开设有圆柱体冷却槽，所述底板本体上表面的中部固定连接有贯穿底板本体上下两端的一号管。与现有技术相比，通过设置的一号管、二号管和隔板，便于该装置在使用过程中，将底板本体的内侧开设圆柱体冷却槽，然后将一号管和两个二号管分别贯穿底板本体，并且不会影响到底板本体内固定隔板与底板本体和限位板之间形成回路，以便于更加高效的通过冷却液将热量带出，实现底板散热的同时，提高了使用安全性。提高了使用安全性。提高了使用安全性。

【技术实现步骤摘要】
安全的单晶炉炉底板


[0001]本技术涉及单晶炉
，特别是涉及安全的单晶炉炉底板。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，包括炉底板、主炉室、炉盖、隔离阀室、副炉室、籽晶提升旋转机构和坩埚提升旋转机构，单晶炉炉底板安装在单晶炉底座支架上，其上安装主炉室，是单晶炉真空室的基础部件，在炉底部件上根据热场的种类和规格开有安装加热电极和抽空管道以及供坩埚杆通过所需要的开孔，以及真空检测所用的检测孔。
[0003]如授权公开号为CN210065977U所公开的一种安全的单晶炉炉底板，采用焊缝在真空室外部的设计，防止漏水对人员和设备产生不安全隐患；坩埚杆孔、电极孔和抽气孔的内壁均采用双面焊接结构，加强了真空室内部焊缝的安全性。
[0004]但是该技术方案在实际使用过程中，通过安装在底板底端的冷却管进行散热，而该散热方式较为单一，无法高效的实现底板双层结构内的散热，从而影响散热效果，甚至影响使用安全的问题，为此我们提出安全的单晶炉炉底板。

技术实现思路

[0005]针对上述问题，本技术提供了安全的单晶炉炉底板，具有高效散热的功能，从而提高了该底板的散热效果，增强了该底板的使用安全性。
[0006]本技术的技术方案是：
[0007]安全的单晶炉炉底板，包括底板本体，所述底板本体的底端外侧固定连接有安装座，所述底板本体内侧开设有圆柱体冷却槽，所述底板本体上表面的中部固定连接有贯穿底板本体上下两端的一号管，所述底板本体上表面的两端分别固定连接有贯穿底板本体上下两端的二号管，所述底板本体的内侧固定连接有隔板。
[0008]在进一步的技术方案中，所述一号管的一端内壁中贯穿并固定连接有进水管，所述底板本体的一侧贯穿并固定连接有出水管，所述进水管和出水管通过隔板形成回转通路，所述出水管远离隔板的一侧固定连接有位于底板本体外侧的法兰盘，所述一号管的内侧设有防回流组件。
[0009]在进一步的技术方案中，所述隔板由一个螺旋板以及两个横板组成，所述螺旋板的两端分别通过两个横板和底板本体内壁以及一号管外侧连接。
[0010]在进一步的技术方案中，两个所述二号管分别位于隔板的内侧两端并且圆柱体不与隔板接触。
[0011]在进一步的技术方案中，所述防回流组件包括套设于进水管内的活动盘，所述活动盘的两端分别固定连接有滑块，所述滑块的下表面固定连接有弹簧，所述弹簧的底端固定连接于进水管的底端内壁上，所述活动盘的下表面固定连接有密封块。
[0012]在进一步的技术方案中，所述进水管的下表面开设有密封槽，所述进水管的上表
面开设有与密封槽贯通的通槽，所述密封槽的内径小于密封块的直径。
[0013]在进一步的技术方案中，所述进水管的两端内壁上分别固定连接有两组共四个限位板，每组两个所述限位板分别位于滑块的前后两端并与滑块相贴合。
[0014]本技术的有益效果是：
[0015]1、与现有技术相比，通过设置的一号管、二号管和隔板，便于该装置在使用过程中，将底板本体的内侧开设圆柱体冷却槽，然后将一号管和两个二号管分别贯穿底板本体，并且不会影响到底板本体内固定隔板与底板本体和限位板之间形成回路，以便于更加高效的通过冷却液将热量带出，实现底板散热的同时，提高了使用安全性。
[0016]2、与现有技术相比，通过设置的进水管、出水管和法兰盘，便于该装置通过进水管和出水管实现底板本体内冷却液的倒入以及排出，通过法兰盘可以更加便捷的实现出水管与循环装置之间的安装，通过防回流组件避免底板本体内冷却液流动方向发生变化，避免发生安全意外。
附图说明
[0017]图1是本技术实施例的整体结构示意图；
[0018]图2是本技术实施例底板本体俯视剖面的结构示意图；
[0019]图3是本技术实施例出水管的结构示意图；
[0020]图4是本技术实施例进水管剖视的结构示意图。
[0021]附图标记说明：
[0022]1、底板本体；2、安装座；3、一号管；4、二号管；5、隔板；6、进水管；7、出水管；8、法兰盘；9、限位板；10、活动盘；11、密封块；12、滑块；13、弹簧。
具体实施方式
[0023]下面结合附图对本技术的实施例作进一步说明。
[0024]实施例：
[0025]如图1
‑
图4所示，安全的单晶炉炉底板，包括底板本体1，底板本体1的底端外侧固定连接有安装座2，底板本体1内侧开设有圆柱体冷却槽，底板本体1上表面的中部固定连接有贯穿底板本体1上下两端的一号管3，底板本体1上表面的两端分别固定连接有贯穿底板本体1上下两端的二号管4，底板本体1的内侧固定连接有隔板5。
[0026]上述技术方案的工作原理如下：
[0027]首先将底板本体1的内侧开设圆柱体冷却槽，然后将一号管3贯穿并固定在底板本体1的中部，将两个二号管4分别贯穿并固定在底板本体1的两端内侧，接着将隔板5安装在底板本体1的内侧，形成冷却回路，以便于冷却液在隔板5的隔断下在底板本体1内循环流动，从而可以更加高效的将底板本体1顶端的热量带出，并保证了底板本体1的使用安全。
[0028]在另外一个实施例中，如图2所示，一号管3的一端内壁中贯穿并固定连接有进水管6，底板本体1的一侧贯穿并固定连接有出水管7，进水管6和出水管7通过隔板5形成回转通路，出水管7远离隔板5的一侧固定连接有位于底板本体1外侧的法兰盘8，一号管3的内侧设有防回流组件。
[0029]通过进水管6和出水管7可以实现底板本体1内的进水以及出水，通过法兰盘8可以
使得出水管7可以更加便捷的与循环装置进行连接安装，通过限位板9内防回流组件避免底板本体1内冷却液出现方向流动。
[0030]在另外一个实施例中，如图2所示，隔板5由一个螺旋板以及两个横板组成，螺旋板的两端分别通过两个横板和底板本体1内壁以及一号管3外侧连接。
[0031]通过一个螺旋板和两个横板组成的隔板5，可以更好的实现冷却液在底板本体1内的流动散热。
[0032]在另外一个实施例中，如图2所示，两个二号管4分别位于隔板5的内侧两端并且圆柱体不与隔板5接触。
[0033]将二号管4贯穿在底板本体1内部分圆柱体不与隔板5接触，避免二号管4阻挡冷却液的流动。
[0034]在另外一个实施例中，如图4所示，防回流组件包括套设于进水管6内的活动盘10，活动盘10的两端分别固定连接有滑块12，滑块12的下表面固定连接有弹簧13，弹簧13的底端固定连接于进水管6的底端内壁上，活动盘10的下表面固定连接有密封块11。
[0035]通过弹簧13带动滑块12，然后滑块12通过活动盘10带动密封块11密封在进水管6远离隔板5的一端，当进水管6内进水时，水压带动活动盘10与限位板9脱离连接，从而完成冷却水的流通，反本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.安全的单晶炉炉底板，包括底板本体(1)，其特征在于：所述底板本体(1)的底端外侧固定连接有安装座(2)，所述底板本体(1)内侧开设有圆柱体冷却槽，所述底板本体(1)上表面的中部固定连接有贯穿底板本体(1)上下两端的一号管(3)，所述底板本体(1)上表面的两端分别固定连接有贯穿底板本体(1)上下两端的二号管(4)，所述底板本体(1)的内侧固定连接有隔板(5)。2.根据权利要求1所述的安全的单晶炉炉底板，其特征在于：所述一号管(3)的一端内壁中贯穿并固定连接有进水管(6)，所述底板本体(1)的一侧贯穿并固定连接有出水管(7)，所述进水管(6)和出水管(7)通过隔板(5)形成回转通路，所述出水管(7)远离隔板(5)的一侧固定连接有位于底板本体(1)外侧的法兰盘(8)，所述一号管(3)的内侧设有防回流组件。3.根据权利要求1所述的安全的单晶炉炉底板，其特征在于：所述隔板(5)由一个螺旋板以及两个横板组成，所述螺旋板的两端分别通过两个横板和底板本体(1)内壁以及一号...

【专利技术属性】
技术研发人员：许建枫，
申请(专利权)人：浙江昱力机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：