并行校准电路、自动测试设备及测试系统技术方案

本申请涉及半导体自动化测试领域，特别是涉及一种并行校准电路、自动测试设备及测试系统。并行校准电路包括：至少两路信号采集链路，分别与各校准通道组一一对应连接，用于并行采集校准通道组中任一校准通道的第一待测模拟信号，并转换为第一待测数字信号；控制器，与至少两路信号采集链路连接，用于获取各第一待测数字信号以及控制各校准通道组中校准通道的切换；上位机，与控制器连接，用于根据控制器发送的各第一待测数字信号，分别生成对应校准通道的第一校准参数。本技术方案缩短校准时间，提高了校准通道的校准效率。提高了校准通道的校准效率。提高了校准通道的校准效率。

【技术实现步骤摘要】
并行校准电路、自动测试设备及测试系统


[0001]本申请涉及半导体自动化测试领域，特别是涉及一种并行校准电路、自动测试设备及测试系统。

技术介绍

[0002]半导体自动化测试，指的是利用自动测试设备(Automatic Test Equipment，ATE)对被测器件(Device Under Test，DUT)的各项参数指标进行检测，剔除残次品以控制半导体的出厂品质。
[0003]自动测试设备的通道数量可多达上百个且每个校准通道都有不同的参数项需要校准，现有技术中，针对自动测试设备的各校准通道，需要依次对各通道的不同参数项进行校准，该校准方式非常耗时，校准周期长，因此该校准方式的校准效率低。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种并行校准电路、自动测试设备及测试系统。
[0005]第一方面，本技术实施例提出一种并行校准电路，应用于自动测试设备，所述自动测试设备包括至少两个校准通道组，所述电路包括：
[0006]至少两路信号采集链路，分别与各所述校准通道组一一对应连接，用于并行采集本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种并行校准电路，应用于自动测试设备，所述自动测试设备包括至少两个校准通道组，其特征在于，所述电路包括：至少两路信号采集链路，分别与各所述校准通道组一一对应连接，用于并行采集所述校准通道组中任一校准通道的第一待测模拟信号，并转换为第一待测数字信号；控制器，与所述至少两路信号采集链路连接，用于获取各所述第一待测数字信号以及控制各所述校准通道组中校准通道的切换；上位机，与所述控制器连接，用于根据所述控制器发送的各所述第一待测数字信号，分别生成对应校准通道的第一校准参数。2.根据权利要求1所述的并行校准电路，其特征在于，各所述信号采集链路包括：模数转换器，与所述控制器连接，用于将所述第一待测模拟信号转换为第一待测数字信号后发送至所述控制器；驱动电路，连接在所述模数转换器和所述校准通道组之间，用于驱动所述模数转换器，及将采集的第一待测模拟信号发送至所述模数转换器。3.根据权利要求2所述的并行校准电路，其特征在于，各所述信号采集链路还包括：滤波器，连接在所述驱动电路和所述校准通道组之间，用于将采集的第一待测模拟信号滤波后发送至所述模数转换器。4.根据权利要求3所述的并行校准电路，其特征在于，各所述信号采集链路还包括：增益放大器，连接在所述滤波器和所述校准通道组之间，用于将采集的第一待测模拟信号增益放大后发送至所述滤波器。5.根据权利要求4所述的并行校准电路，其特征在于，各所述信号采集链路还包括：钳位电路，连接在所述增益放大器和所述校准通道组之间，用于将采集的第一待测模拟信号钳位后发送至所述增益放大器。...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗旭，赵川，杨强，蔡定芸，李茂，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：