芯片封装结构及芯片封装方法技术

技术编号:39847136 阅读:19 留言:0更新日期:2023-12-29 16:45
本发明专利技术涉及一种芯片封装结构及芯片封装方法,所述芯片封装方法包括

【技术实现步骤摘要】
芯片封装结构及芯片封装方法


[0001]本专利技术涉及芯片领域,尤其涉及一种芯片封装结构及封装方法


技术介绍

[0002]相关技术中的芯片封装结构通常设有非导电的基板,并将芯片安装于基板上,再进行封装加工

在对芯片进行诸如封装

电镀等工艺的过程中,由于基板的存在,可能导致芯片封装结构的上下表面的应力不均匀,从而可能造成芯片发生形变等情况,影响芯片封装结构的正常使用,甚至影响芯片内部的电路,造成芯片无法使用

同时,由于非导电的基板散热能力通常较差,相关技术中的芯片往往只能够单方向进行快速散热,容易造成芯片工作时的温度过高,使其工作性能变差,进而影响芯片的工作寿命


技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题在于,提供一种芯片封装结构及封装方法

[0004]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种芯片封装方法用于封装至少一个芯片;所述芯片封装方法包括以下步骤:
[0005]S1.r/>将所述至少一个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种芯片封装方法,用于封装至少一个芯片;其特征在于,所述芯片封装方法包括以下步骤:
S1.
将所述至少一个芯片固定在基板
(106)
上;并对所述至少一个芯片进行封装,以形成第一封装层
(103)

S2.
在所述第一封装层
(103)
上开设多数个通孔,所述多数个通孔与所述至少一个芯片的导电端子位置对应;
S3.
去除所述基板
(106)

S4.
在所述至少一个芯片以及所述第一封装层
(103)
的组合体上同步制作第一金属层
(104)
以及第二金属层
(105)。2.
根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于,所述
S1.
将所述至少一个芯片固定在基板
(106)
上;并对所述至少一个芯片进行封装,以形成第一封装层
(103)
中,所述至少一个芯片与所述基板
(106)
之间通过绝缘胶
(1013)
连接
。3.
根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于,所述至少一个芯片包括第一芯片
(101)
以及第二芯片
(102)
;在所述步骤
S2
中,所述通孔包括在所述第一封装层
(103)
上开设多数个第一通孔
(1031)
以及多数个第二通孔
(1032)
;所述多数个第一通孔
(1031)
和所述多数个第二通孔
(1032)
分别与所述第一芯片
(101)
和第二芯片
(102)
的导电端子位置对应
。4.
根据权利要求3所述的芯片封装方法,其特征在于,在所述步骤
S1
中,将所述第一芯片
(101)
以及第二芯片
(102)
固定在基板
(106)
上;并对所述第一芯片
(101)
以及第二芯片
(102)
进行封装,以形成第一封装层
(103)
,所述第一芯片
(101)
与所述基板
(106)
之间通过绝缘胶
(1013)
连接
。5.
根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于,所述芯片封装方法还包括以下步骤:
S5.
对所述第一金属层
(104)
进行蚀刻,形成所述至少一个芯片的导电端子与所述第一金属层
(104)
上的电极相对应的导电通道
。6.
根据权利要求5所述的芯片封装方法,其特征在于,所述芯片封装方法还包括以下步骤:
S6.
分别在所述第一金属层
(104)
和所述第二金属层
(105)
上涂抹绿油
(107)
;并在所述第一金属层
(104)
的表面形成第一绿油层
(1071)
,在所述第二金属层
(105)
的表面形成第二绿油层
(1072)

S7.
通过双层掩模蚀刻的方式在所述第一绿油层
(1071)
以及所述第二绿油层
(1072)
上进行蚀刻,使所述第一金属层
(104)
顶面的部分露出,形成焊盘
。7.
根据权利要求6所述的芯片封装方法,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:李朋杜宇峰
申请(专利权)人:深圳市安捷芯源科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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