【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】元件上推装置以及元件安装装置
[0001]本专利技术涉及元件上推装置以及具备该元件上推装置的元件安装装置，该元件上推装置在从粘贴于晶圆粘贴片的晶圆拾取裸片
(
裸芯片
)
时，从晶圆粘贴片的下方上推裸片而将该裸片剥离
。
技术介绍
[0002]已知有从被切割后的晶圆拾取裸片
(
裸芯片
)
并将其安装于基板的元件安装装置
。
在该元件安装装置中反复地进行如下动作：晶圆摄像机拍摄由晶圆供应机搬入机内的指定位置
(
元件配置区域
)
的晶圆，并进行晶圆识别，接着，利用具备裸片保持功能的头部来拾取裸片
。
[0003]元件安装装置具备元件上推装置，该元件上推装置通过从粘贴于晶圆粘贴片的晶圆的下方上推裸片，在拾取裸片之前，从晶圆粘贴片剥离裸片
。
元件上推装置包括圆柱状的吸附壳体和可出没地设置于该吸附壳体的中心部的上推销，在利用吸附壳体从下表面吸附晶圆粘贴片的状态下，利用上推销从下方...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种元件上推装置，其特征在于，通过从粘贴于晶圆粘贴片的晶圆的下方上推裸片，从所述晶圆粘贴片剥离所述裸片，所述元件上推装置包括：上推工具，包含吸附面和上推销，所述吸附面以负压吸附所述晶圆粘贴片的下表面，所述上推销以能够从所述吸附面出没于晶圆粘贴片侧的方式被设置并且通过从所述吸附面突出来上推所述裸片；以及支撑构件，以能够沿着所述晶圆相对移动的方式被设置，并将所述上推工具可装卸地支撑，其中，在所述上推工具及所述支撑构件中的任一者设有磁铁，并且另一者中的至少与所述磁铁相向的面由磁性材料形成
。2.
根据权利要求1所述的元件上推装置，其特征在于，所述支撑构件包含基座部和相对于所述基座部相对地升降的可动部，所述上推工具包括：中空的吸附壳体，在上端设有所述吸附面，且可装卸地被所述基座部支撑；以及销固定器，保持所述上推销且被配置在所述壳体的内部，并且可装卸地被所述可动部支撑且与所述可动部一起升降，其中，在所述吸附壳体及所述基座部中的任一者设有所述磁铁，并且另一者中的至少与所述磁铁相向的面由所述磁性材料形成，在所述销固定器及所述可动部中的任一者设有所述磁铁，并且另一者中的至少与所述磁铁相向的面由所述磁性材料形成
。3.
根据权利要求1或2所述的元件上推装置，其特征在于，在所述支撑构件设置有...
【专利技术属性】
技术研发人员：岸本洋平，
申请(专利权)人：雅马哈发动机株式会社，
类型：发明
国别省市：
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