一种半导体晶圆清洗机摆臂机构制造技术

本发明专利技术涉及一种半导体晶圆清洗机摆臂机构，包括电机座，电机座上固定连接有机器人关节，机器人关节内部配置有谐波减速器，机器人关节的旋转芯轴上固定有主轴，主轴顶端固定有悬臂固定座，悬臂固定座上固定有管件；电机座下方设有气缸，并与气缸的活塞端相连，气缸通过电机座带动管件上升或下降，气缸固定于气缸座板上，气缸座板固定于底板上；底板另一侧设有左右对称的导向轴，导向轴穿过底板，每个导向轴上搭配有带法兰直线轴承，带法兰直线轴承固定于底板上，导向轴一端固定于电机座上，导向轴另一端安装有顶伸座；本发明专利技术安装较为简单，零件数量减少，整体结构尺寸减小，重量减轻，克服了传统结构所存在的安装复杂，结构尺寸大的问题

【技术实现步骤摘要】
一种半导体晶圆清洗机摆臂机构
[
][0001]本专利技术涉及半导体湿制程
，具体地说是一种半导体晶圆清洗机摆臂机构
。
[
技术介绍
][0002]晶圆是指半导体电路制作过程中用到的硅晶片
。
在半导体制作工艺中，晶圆会粘上一些金属
、
微粒
、
有机物等杂质，需要通过清洗机将这些杂志清除掉
。
晶圆清洗是半导体制造过程中非常重要的部分，在不破坏晶圆表面及电特性的情况下，使用化学溶液
、
气体
、
水等介质，设置合适的温度
、
速度达到清洗目的
。
[0003]在清洗的过程中，摆臂结构可以做上下运动保证介质出口面与晶圆面的合适距离，以及通过往复摆动保证介质作用到晶圆的整个表面
。
[0004]目前，摆臂结构的上下运动常用气缸或电缸作为驱动，借助导轨保证运动的平稳性，但由于导轨需要安装在固定板上，会使安装尺寸较大，结构较为复杂；摆臂结构的摆动运动用力矩电机作为驱动，将摆臂直接固定在电机转子上，但是力矩电机对负载惯本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种半导体晶圆清洗机摆臂机构，其特征在于：包括电机座
(4)
，所述电机座
(4)
上固定连接有机器人关节
(18)
，所述机器人关节
(18)
内部配置有谐波减速器，所述机器人关节
(18)
下方装设有防护罩
(13)
，所述机器人关节
(18)
的旋转芯轴上固定有主轴
(5)
，所述主轴
(5)
顶端固定有悬臂固定座
(6)
，所述悬臂固定座
(6)
上固定有管件
(9)
，所述机器人关节
(18)
旋转后带动管件
(9)
做圆弧运动，进而使得管件
(9)
出口中心的运动轨迹经过晶圆中心；所述电机座
(4)
下方设有气缸
(19)
，并与气缸
(19)
的活塞端相连，所述气缸
(19)
通过电机座
(4)
带动管件
(9)
上升或下降，所述气缸
(19)
固定于气缸座板
(2)
上，所述气缸座板
(2)
固定于底板
(1)
上；所述底板
(1)
另一侧设有左右对称的导向轴
(16)
，所述导向轴
(16)
穿过底板
(1)
，每个导向轴
(16)
上搭配有带法兰直线轴承
(17)
，所述带法兰直线轴承
(17)
固定于底板
(1)
上，所述导向轴
(16)
一端固定于电机座
(4)
上，所述导向轴
(16)
另一端安装有顶伸座
(11)
，以保证导向轴
(16)
的运动不偏斜，所述电机座
(4)
和顶伸座
(11)
均安装有液压缓冲器
(21)
，并通过液压缓冲器
(21)
保证气缸
(19)
运动停止过程平稳
。2.
如权利要求1所述的半导体晶圆清洗机摆臂机构，其特征在于：所述悬臂固定座
(6)
上设置有与管件
(9)
固定部分的外形相配合的安装槽，所述管件
(9)
一端置于安装槽内后，通过悬臂管夹前
(7)
和悬臂管夹后
(8)
固定于悬臂固定座
(6)
上；所述悬臂固定座
(6)
上配合连接有悬臂上盖
(10)
，所述悬臂上盖
(10)
盖住管件
(9)
固定于悬臂固定座
(6)
上的固定部分
。3.
如权利要求1所述的半导体晶圆清洗机摆臂机构，其特征在于：所述悬臂固定座
(6)
下方设置有管夹固定座
A(14)
和管夹固定座
B(15)
，所述管夹固定座
A(14)
和管夹固定座
B(15)
安装在主轴
(...

【专利技术属性】
技术研发人员：林生海，王哲哲，高自强，黄自柯，赵晗，
申请(专利权)人：苏州冠礼科技有限公司，
类型：发明
国别省市：