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本发明涉及一种半导体晶圆清洗机摆臂机构，包括电机座，电机座上固定连接有机器人关节，机器人关节内部配置有谐波减速器，机器人关节的旋转芯轴上固定有主轴，主轴顶端固定有悬臂固定座，悬臂固定座上固定有管件；电机座下方设有气缸，并与气缸的活塞端相连，...
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