【技术实现步骤摘要】
一种高功率激光加工防尘保护膜层及其制备方法
[0001]本专利技术涉及一种高功率激光加工防尘保护膜层及其制备方法,属于激光加工防尘保护膜
。
技术介绍
[0002]激光加工是利用光的能量经过透镜聚焦后在焦点上达到很高的能量密度,靠光热效应来加工的
。
激光加工具有不需要工具
、
加工速度快
、
表面变形小等特点,可加工各种材料
。
[0003]目前在高功率激光加工应用中,经常性出现保护窗烧膜现象,其根本原因在于保护窗作为镜头最外面的镜片,最容易被污染,吸附脏污,导致脏污处过热,造成烧膜,所以防尘保护窗的研制,迫在眉睫
。
为此,专利技术人采用离子辅助电子束蒸发成膜和
PECVD
成膜技术相结合,最终制得弱吸收低
、
粗糙度在
5A
以下的高功率
、
超光滑的防尘保护窗产品
。
技术实现思路
[0004]本专利技术提供一种高功率激光加工防尘保护膜层及其制备方法,具有耐擦拭
、
耐高温
、
耐金属溅射
、
不易吸灰尘等优势,可显著提高目前激光加工保护窗口的使用寿命
。
[0005]为解决上述技术问题,本专利技术所采用的技术方案如下:
[0006]一种高功率激光加工防尘保护膜层,膜层结构为:
SUB/k1Hk2Lk3M/A
,其中
SUB
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种高功率激光加工防尘保护膜层,其特征在于:膜层结构为:
SUB/k1Hk2Lk3M/A
,其中
SUB
代表
JGS1
基底
、A
代表空气
、H
代表
Ta2O5、L
代表
SiO2、M
代表金刚石膜;
k1
‑
k3
代表每层的四分之一参考波长光学厚度的系数,
k1
取值为
0.3
~
0.4
,
k2
取值为
1.2
~
1.4
,
k3
取值为
0.1
~
0.2。2.
如权利要求1所述的高功率激光加工防尘保护膜层,其特征在于:膜层结构为:
A/k3Mk2Lk1H/SUB/k1Hk2Lk3M/A。3.
如权利要求1或2所述的高功率激光加工防尘保护膜层,其特征在于:
k1H
层的物理厚度为
20
‑
50nm
,
k2L
层的物理厚度为
200
‑
300nm
,
k3M
层的物理厚度为
10
‑
30nm。4.
权利要求1‑3任意一项所述的高功率激光加工防尘保护膜层的制备方法,其特征在于:采用射频离子源辅助电子束热...
【专利技术属性】
技术研发人员:王泽栋,张明利,李全民,黄胜弟,王国力,王劲,
申请(专利权)人:南京波长光电科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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