【技术实现步骤摘要】
一种基于OPC的图像边缘优化方法
[0001]本申请涉及图像边缘优化
，特别是涉及一种基于
OPC
的图像边缘优化方法
。
技术介绍
[0002]“OPC”经常作为“Optical Proximity Correction”的缩写来使用，中文表示：“光学临近修正”。
是光刻技术的一种，光刻之后存在疏密条纹成像质量不同导致成像质量下降的问题，通常采用邻近光学效应修正（
OPC
）的办法来改善成像质量
。
[0003]邻近光学效应修的基本原理是使用光学模型（可涵盖离轴照明和在轴照明）和光刻机光化学反应模型来计算曝光后的图形，而在运行计算过程中，存在计算量大，计算精度低，效率低，造成成像质量较差，图像边缘信息容易丢失，工作效率慢的问题
。
技术实现思路
[0004]本申请的目的是：为解决上述技术问题，本申请提供了一种基于
OPC
的图像边缘优化方法，旨在提高成像质量，保护图像边缘信息
。
[0005]本申请的一些实施例中，通过建立多个待处理子边缘区域，进行多区域同时优化的方式，降低单个优化子模块的计算量，同时通过增设格栅间距矩阵，通过动态调节格栅间距，保证模型的计算精度，从而提高整体的工作效率和成像质量
。
[0006]本申请的一些实施例中，通过设置多个优化子模块，保证模型的计算速度，同时通过单个待处理子边缘区域的拐点格栅节点数量，动态调节优化子模块的运行资源占有量，从而实现对拐点位...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种基于
OPC
的图像边缘优化方法，其特征在于，包括：获取原始图像数据，根据所述原始图像数据生成核心区域和边缘区域，并生成图像评价值；根据所述图像评价值设定格栅间距，根据所述边缘区域和所述格栅间距生成多个待处理子边缘区域；建立图像优化单元，根据全部所述待处理子边缘区域设定图像优化单元运行参数
。2.
如权利要求1所述的基于
OPC
的图像边缘优化方法，其特征在于，所述生成图像评价值时，包括：根据原始图像数据生成图像深度参数；根据所述图像深度参数生成图像深度评价值
C1;
根据边缘区域参数生成修正系数评价值
d
，根据所述修正系数评价值
d
设定修正系数
b;
根据所述图像深度评价值
C1
生成图像评价值
a;a=b*C1。3.
如权利要求2所述的基于
OPC
的图像边缘优化方法，其特征在于，根据边缘区域参数生成修正系数评价值
d
时，包括：获取边缘区域参数，根据所述边缘区域参数生成边缘区域占比和边缘区域分散度；根据所述边缘区域占比生成第一图像评价值
D1
；根据所述边缘区域分散度生成第二图像评价值
D2;
根据所述第一图像评价值
D1
和所述第二图像评价值
D2
生成修正系数评价值
d
；
d=n1*D1+n2*D2;
其中，
n1
为预设第一权重系数，
n2
为预设第二权重系数，且
n1+n2=1。4.
如权利要求3所述的基于
OPC
的图像边缘优化方法，其特征在于，根据所述修正系数评价值
d
设定修正系数
b
时，包括：预设修正系数评价值矩阵
D
，设定
D(d1,d2,d3,d4)
，其中，
d1
为预设第一修正系数评价值，
d2
为预设第二修正系数评价值，
d3
为预设第三修正系数评价值，
d4
为预设第四修正系数评价值，且
d1<d2<d3<d4;
预设修正系数矩阵
B
，设定
B(b1,b2,b3,b4)
，其中，
b1
为预设第一修正系数，
b2
为预设第二修正系数，
b3
为预设第三修正系数，
b4
为预设第四修正系数，且
b1<b2<b3<b4<1;
若
d1<d<d2
，设定修正系数
b
为预设第四修正系数
b4
，即
b=b4;
若
d2<d<d3
，设定修正系数
b
为预设第三修正系数
b3
，即
b=b3;
若
d3<d<d4
，设定修正系数
b
为预设第二修正系数
b2
，即
b=b2;
若
d>d4
，设定修正系数
b
为预设第一修正系数
b1
，即
b=b1。5.
如权利要求2所述的基于
OPC
的图像边缘优化方法，其特征在于，根据所述图像评价值设定格栅间距时，包括：预设图像评价值矩阵
A
，设定
A(A1,A2,A3,A4)
，其中，
A1
为预设第一图像评价值，
A2
为预设第二图像评价值，
A3
为预设第三图像评价值，
A4
为预设第四图像评价值，且
A1<A2<A3<A4;
预设格栅间距矩阵
E
，设定
E(E1,E2,E3,E4)
，其中，
E1
为预设第一格栅间距，
E2
为预设第二格栅间距，
E3
为预设第三格栅间距，
E4
为预设...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙延辉，陈瑞，韦欣，马胜军，袁鹏飞，李世密，
申请(专利权)人：青岛展诚科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。