一种制造技术

本发明专利技术提供了一种

【技术实现步骤摘要】
一种1,2,3,4
‑
四氯
‑
1,1,2,3,4,4
‑
六氟丁烷的制备方法


[0001]本专利技术属于涉及化工领域，特别涉及一种
1,2,3,4
‑
四氯
‑
1,1,2,3,4,4
‑
六氟丁烷的制备方法
。

技术介绍

[0002]有机碳氟类电子气体主要用于干法蚀刻工艺生产集成电路的过程中
。
近年来开发的六氟丁二烯是一种环境友好
、
刻蚀选择性更好的新型电子气体产品，是
3D NAND
工艺的最佳选择
。
[0003]为了提供高纯度的六氟丁二烯电子气体产品，研究人员开发了多种生产工艺方法
。
其中主流方法有以下三种：
(1)
三氟氯乙烯工艺路线；
(2)1,2
‑
二溴四氟乙烷工艺路线；
(3)1,3
‑
丁二烯工艺路线
。
上述方法1和3都是以构筑
1,2,本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种
1,2,3,4
‑
四氯
‑
1,1,2,3,4,4
‑
六氟丁烷的制备方法，其特征在于，包括：
S1
，三氟氯乙烯与一氯化溴加成反应制备
1,2
‑
二氯
‑
1,2,2
‑
三氟溴乙烷；
S2
，
1,2
‑
二氯
‑
1,2,2
‑
三氟溴乙烷在金属镁作用下发生偶联反应制备
1,2,3,4
‑
四氯
‑
1,1,2,3,4,4
‑
六氟丁烷
。2.
根据权利要求1所述的一种
1,2,3,4
‑
四氯
‑
1,1,2,3,4,4
‑
六氟丁烷的制备方法，其特征在于，步骤
S1
中，加成反应的温度为
‑
20
～
0℃
，反应
20
‑
24h
；步骤
S1
中，在第一反应器中将一氯化溴溶解在第一溶剂中，向第一反应器中通入三氟氯乙烯，混合均匀后进行加成反应
。3.
根据权利要求2所述的一种
1,2,3,4
‑
四氯
‑
1,1,2,3,4,4
‑
六氟丁烷的制备方法，其特征在于，三氟氯乙烯和一氯化溴的质量比控制在
0.65
‑
2.5:1。4.
根据权利要求2所述的一种
1,2,3,4
‑
四氯
‑
1,1,2,3,4,4
‑
六氟丁烷的制备方法，其特征在于，向所述第一反应器中通入三氟氯乙烯并保持第一反应器压力在
0.01
‑
0.05Mpa。5.
根据权利要求2所述的一种
1,2,3,4
‑
四氯
‑
1,1,2,3,4,4
‑
六氟丁烷的制备方法，其特征在于，所述第一溶剂为二氯甲烷
、
三氯甲烷或四氯化碳中的一种
。6.
根据权利要求2所述的一种
1,2,3,4

【专利技术属性】
技术研发人员：姚刚，徐海云，朱姜涛，鲁毅，杨燚，范娜，郗少杰，姜世楠，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：