高附着力磁性油墨及其制备方法和在芯片生产中的应用技术

本发明专利技术涉及油墨领域，具体为高附着力磁性油墨及其制备方法和在芯片生产中的应用

【技术实现步骤摘要】
高附着力磁性油墨及其制备方法和在芯片生产中的应用


[0001]本专利技术涉及油墨领域，具体为高附着力磁性油墨及其制备方法和在芯片生产中的应用
。

技术介绍

[0002]晶圆是硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，用于制作各种电路元件结构
。
一片晶圆可以划分成数千个相同或不同的晶粒，由于材料本身的特点和制作过程中的操作问题，导致最后制得的晶圆具有正常晶粒及缺陷晶粒，为了避免后续封装过程中缺陷晶粒对晶圆性能造成影响，通常要对缺陷晶粒进行标记，进行剔除
。
[0003]中国专利申请
CN101369516A
公开了一种标记晶圆的方法
、
标记劣品晶粒的方法
、
晶圆对位的方法
、
以及晶圆测试机，通过激光标记对劣质晶粒进行标记，然后剔除，但是采用激光标记易对晶圆造成污染，需要另加除尘装置，在进行剔除时还需要依靠及其机器进行判别，难以直接用肉眼判别；中国专利
CN100514629C
公开了一种具有标记的晶圆，通过热固性墨水标记晶圆上的缺陷晶粒，该热固性墨水经固化后会附着在缺陷晶粒上，且难以被后续制作过程中的溶剂除去，但是在后期切割处理后需要人工拣选，耗时耗力
。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题，本专利技术提供了高附着力磁性油墨及其制备方法和在芯片生产中的应用，解决了晶粒不良品标记后需通过人工拣选的方式进行剔除，耗时耗力的问题
。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术提供了一种高附着力磁性油墨的制备方法，包括以下步骤：步骤（1）
、
制备负载纳米四氧化三铁的超支化聚酯
、
硅丙预聚物和基础醇酸树脂其中，制备负载纳米四氧化三铁的超支化聚酯包括以下步骤：将
1,3,5
‑
苯三甲酸
、2,2,
‑
二羟甲基丙酸
、1,4
‑
丁二酸
、PEG400、
对甲苯磺酸
、N,N
‑
二甲基甲酰胺在惰性气体氛围下升温至第一设定温度，反应，反应结束后，加入马来酸酐，升温至第二设定温度，反应，反应结束后，进行后处理，干燥，得到端羧基超支化聚酯钠盐（
HBPE
‑
Na
）；将端羧基超支化聚酯钠盐
、N,N
‑
二甲基甲酰胺
、
水
、
柠檬酸钠
、
硫酸亚铁混合，超声，加入氢氧化钠水溶液调节
pH
值为
10
，通入空气，反应，反应结束后，分离纯化，干燥，得到负载纳米四氧化三铁的超支化聚酯（
HBPE@Fe3O4）；其中，制备硅丙预聚物包括以下步骤：将丙烯酸酯类化合物
、
乙烯基三乙氧基硅烷
、
油酸
、
亚油酸混合，加入引发剂，得到混合单体，将混合单体滴加到设定温度的二甲苯中，维持设定温度反应，得到硅丙预聚物；其中，制备基础醇酸树脂包括以下步骤：将三羟甲基丙烷
、
间苯二甲酸
、
苯甲酸
、
油酸
、
亚油酸
、
二甲苯
、
次磷酸混合均匀，惰性气体氛围下升温至第三设定温度，反应，反应结束后，升温至第四设定温度，反应，测定反应体系的酸值至目标酸值后，停止反应，得到基础醇酸树脂；步骤（2）
、
将基础醇酸树脂
、
硅丙预聚物
、
负载纳米四氧化三铁的超支化聚酯混合超声分散，搅拌升温至第五设定温度，保温反应，测定反应体系的酸值至目标酸值后，停止
反应，降温至第六设定温度，加入乙二醇二丁醚
、
三乙胺，搅拌反应，反应结束后，加水调节体系固含量，得到改性水性醇酸树脂；将改性水性醇酸树脂
、
乙醇
、
乙二醇二丁醚混合，研磨分散，得到高附着力磁性油墨
。
[0006]优选地，所述步骤（1）中，制备端羧基超支化聚酯钠盐时，升温至第一设定温度的速率为
20
‑
25℃/h
，第一设定温度为
110
‑
120℃
，在第一设定温度下的反应时长为
2.5
‑
3.5h
；升温至第二设定温度的速率为
10℃/h
，第二设定温度为
140
‑
150℃
，在第二设定温度下的反应时长为2‑
2.5h
；所述惰性气体包括氮气；干燥的条件为在
110
‑
120℃
下真空干燥4‑
5h
；
1,3,5
‑
苯三甲酸
、2,2
‑
二羟甲基丙酸
、1,4
‑
丁二酸
、PEG400、
对甲苯磺酸
、N,N
‑
二甲基甲酰胺
、
马来酸酐的质量比为（
60
‑
75
）：（
260
‑
280
）：（
110
‑
130
）：（
380
‑
420
）：（
4.5
‑
8.5
）：（
800
‑
900
）：（
25
‑
35
）
。
[0007]优选地，所述步骤（1）中，制备端羧基超支化聚酯钠盐时，后处理的操作步骤包括：将反应结束后得到的反应液蒸发浓缩至有固体析出，得到浓缩液，向浓缩液中加入氢氧化钠乙醇饱和溶液，静置沉淀，过滤，干燥滤饼，其中，浓缩液
、
氢氧化钠乙醇饱和溶液的质量比为
900
：
100。
[0008]优选地，所述步骤（1）中，制备负载纳米四氧化三铁的超支化聚酯时，超声的条件为在
20
‑
40kHz
的频率下超声
20
‑
30min
；空气的通入量为
30
‑
60L/h
；反应的条件为在室温下反应
6h
；端羧基超支化聚酯钠盐
、N,N
‑
二甲基甲酰胺
、
水
、
柠檬酸钠
、
硫酸亚铁的质量比为
50
：
30
：（
500
‑
600
）：（
0.5
‑1）：（
25
‑
60
）
。
[0009]优选地，所述步骤（1）中，制备负载纳米四氧化三铁的超支本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种高附着力磁性油墨的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤（1）
、
制备负载纳米四氧化三铁的超支化聚酯
、
硅丙预聚物和基础醇酸树脂；其中，制备负载纳米四氧化三铁的超支化聚酯包括以下步骤：将
1,3,5
‑
苯三甲酸
、2,2
‑
二羟甲基丙酸
、1,4
‑
丁二酸
、PEG400、
对甲苯磺酸
、N,N
‑
二甲基甲酰胺在惰性气体氛围下升温至第一设定温度，反应，反应结束后，加入马来酸酐，升温至第二设定温度，反应，反应结束后，进行后处理，干燥，得到端羧基超支化聚酯钠盐；将端羧基超支化聚酯钠盐
、N,N
‑
二甲基甲酰胺
、
水
、
柠檬酸钠
、
硫酸亚铁混合，超声，调节
pH
值为
10
，通入空气，反应，反应结束后，分离纯化，干燥，得到负载纳米四氧化三铁的超支化聚酯；其中，制备硅丙预聚物包括以下步骤：将丙烯酸酯类化合物
、
乙烯基三乙氧基硅烷
、
油酸
、
亚油酸混合，加入引发剂，得到混合单体，将混合单体滴加到设定温度的二甲苯中，维持设定温度反应，得到硅丙预聚物；其中，制备基础醇酸树脂包括以下步骤：将三羟甲基丙烷
、
间苯二甲酸
、
苯甲酸
、
油酸
、
亚油酸
、
二甲苯
、
次磷酸混合均匀，惰性气体氛围下升温至第三设定温度，反应，反应结束后，升温至第四设定温度，反应，测定反应体系的酸值至目标酸值后，停止反应，得到基础醇酸树脂；步骤（2）
、
将基础醇酸树脂
、
硅丙预聚物
、
负载纳米四氧化三铁的超支化聚酯混合超声分散，搅拌升温至第五设定温度，保温反应，测定反应体系的酸值至目标酸值后，停止反应，降温至第六设定温度，加入乙二醇二丁醚
、
三乙胺，搅拌反应，反应结束后，加水调节体系固含量，得到改性水性醇酸树脂；将改性水性醇酸树脂
、
乙醇
、
乙二醇二丁醚混合，研磨分散，得到高附着力磁性油墨
。2.
根据权利要求1所述的一种高附着力磁性油墨的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，制备端羧基超支化聚酯钠盐时，升温至第一设定温度的速率为
20
‑
25℃/h
，第一设定温度为
110
‑
120℃
，在第一设定温度下的反应时长为
2.5
‑
3.5h
；升温至第二设定温度的速率为
10℃/h
，第二设定温度为
140
‑
150℃
，在第二设定温度下的反应时长为2‑
2.5h
；
1,3,5
‑
苯三甲酸
、2,2
‑
二羟甲基丙酸
、1,4
‑
丁二酸
、PEG400、
对甲苯磺酸
、N,N
‑
二甲基甲酰胺
、
马来酸酐的质量比为（
60
‑
75
）：（
260
‑
280
）：（
110
‑
130
）：（
380
‑
420
）：（
4.5
‑
8.5
）：（
800
‑
900
）：（
25
‑
35
）
。3.
根据权利要求1所述的一种高附着力磁性油墨的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，制备端羧基超支化聚酯钠盐时，后处理的操作步骤为：将反应结束后得到的反应液蒸发浓缩至有固体析出，得到浓缩液，向浓缩液中加入氢氧化钠乙醇饱和溶液，静置沉淀，过滤，干燥滤饼，其中，浓缩液
、
氢氧化钠乙醇饱和溶液的质量比为
900
：
100。4.
根据权利要求1所述的一种高附着力磁性油墨的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，制备负载纳米四氧化三铁的超支化聚酯时，超声的条件为在
20
‑
40kHz
的频率下超声
20
‑
30min
；空气的通入量为
30
‑
60L/h
；反应的条件为在室温下反...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐谦，洪吉忠，洪继泓，
申请(专利权)人：广东成利泰科技有限公司，
类型：发明
国别省市：