一种探针卡插接结构制造技术

本申请公开了一种探针卡插接结构，属于探针卡安装技术领域

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡插接结构


[0001]本申请涉及探针卡安装
，具体为一种探针卡插接结构
。

技术介绍

[0002]探针卡是一种用于电子器件测试的工具，它通常由一片带有多个探针的卡片组成，每个探针都可以与晶圆上的电子器件进行接触，并且其通常应用于晶圆测试中；在晶圆测试中，探针卡主要通过插接结构安装于测试机上，以实现测试机与芯片电路的导通和信号传递；如公开号
CN211577232U
的专利，具体公开了一种用于自动驾驶芯片测试的垂直探针卡
、
插接安装结构和定位结构，该装置包括固定板及安装于固定板上的
PCB
板，
PCB
板适于向着固定板靠近或远离，并且
PCB
板上下方安装有金属插槽及与金属插槽相连的连接导线，并且金属插槽内插接有探针；在上述公开专利中，在探针卡的实际实用中，由于探针的触点，长时间对晶圆进行接触作业，使得触点出现磨损的情况出现，并且由因探针均插接于金属插槽内部，当对晶圆进行检测时，使得触点磨损的探针无法与晶圆进行接触，以建立连接，所以有必要提供一种探针卡插接结构来解决上述问题
。
[0003]需要说明的是，本
技术介绍
部分中公开的以上信息仅用于理解本申请构思的
技术介绍
，并且因此，它可以包含不构成现有技术的信息
。

技术实现思路

[0004]基于现有技术中存在的上述问题，本申请所要解决的问题是：提供一种探针卡插接结构，达到防止探针出现虚接的效果
。
[0005]本申请解决其技术问题所采用的技术方案是：一种探针卡插接结构，包括加强板，该加强板适于与测试机电连接，外壳体，该外壳体固定于测试机上，所述外壳体套接于所述加强板上，插接机构，该插接机构安装于所述外壳体，所述插接机构用于将所述外壳体与所述加强板之间进行连接，触接机构，该触接机构设置于所述加强板的下方，所述触接机构包括安装柱，该安装柱的底端安装有顶板，所述顶板上设置有连接杆，所述安装柱开设有滑孔，探针，该探针滑动安装于所述滑孔内，所述探针处于所述安装柱内的端部上设置有与所述连接杆相适配的触块，所述触块上开设有与所述连接杆对应的开口，弹性体，该弹性体安装所述顶板与所述探针之间，在所述探针与晶圆接触的过程中，所述连接杆与所述触块的开口处插接，以缓冲所述探针的下压，从而实现防止虚接的情况出现
。
[0006]进一步，所述外壳体由固定座与盖环组成，所述固定座上开设有滑动腔，所述插接机构包括滑块，所述滑块滑动安装于所述滑动腔内，所述滑块与所述滑动腔内壁之间连接有第三弹簧
。
[0007]进一步，所述盖环上开设有凹槽，所述凹槽的两端设置有斜面，所述斜面向着所述凹槽内倾斜，所述滑块顶端固定有竖直设置的钩持板，所述钩持板为弹性塑料材质制成，所
述钩持板的两端设置有滑动部，所述滑动部抵触于所述斜面上，所述加强板设置有固定块，所述固定块上开设有与所述钩持板适配的钩槽
。
[0008]进一步，所述插接机构还包括钩杆，所述钩杆的一端铰接安装于所述滑动腔的底部，所述滑块上设置有调节槽，所述调节槽具有锁槽，所述钩杆具有钩持于所述调节槽的第二钩持部，在所述滑块向下移动的过程中，所述第二钩持部适于沿着所述调节槽内移动，并钩持于所述锁槽，并在所述第三弹簧的配合下，将所述滑块位置固定
。
[0009]进一步，所述调节槽还具有限位槽，所述限位槽中间端设置有限位部，所述限位部由两组相对设置的弹块单元组成，所述弹块单元包括滑动安装于限位槽内壁上的限位块，及安装于所述限位块上的弹簧四
。
[0010]进一步，所述弹簧四对所述限位块施加的弹力，始终大于所述钩杆对所述限位块施加的力，以防止所述钩杆受外力作用从两组所述限位块之间通过，所述限位块与所述锁槽之间形成移动区间
。
[0011]进一步，所述弹性体为普通弹簧，所述弹性体小于所述第三弹簧的弹力，所述探针适于在所述弹性体的作用下，先与所述加强板电连接，并在所述加强板的配合下，实现对所述探针的同时通电
。
[0012]进一步，所述弹性体由第一弹簧与第二弹簧组成的一体式结构，所述第一弹簧与所述第二弹簧连接处与所述连接杆端部相齐平，所述第一弹簧弹力大于所述第二弹簧的弹力，所述第三弹簧的弹力大于所述第二弹簧的弹力，小于所述第一弹簧弹力
。
[0013]本申请的有益效果是：本申请提供的一种探针卡插接结构，通过设置有可以向着安装柱内收缩或伸出的探针，从而可以实现对不同磨损长度的探针均可以接通，以及在加强板的配合下，带动探针同时通电，从而达到防止探针出现虚接的效果
。
[0014]除了上面所描述的目的
、
特征和优点之外，本申请还有其它的目的
、
特征和优点
。
下面将参照图，对本申请作进一步详细的说明
。
附图说明
[0015]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定
。
在附图中：图1为本申请中一种探针卡插接结构的整体示意图；图2为图1中探针卡插接结构的爆炸示意图；图3为图2中
A
处的放大示意图；图4为图3中外壳体的结构示意图；图5为图4中插接机构的结构示意图；图6为图5中
B
处的放大示意图；图7为图6中调节槽与钩杆的初始示意图；图8为图7中调节槽与钩杆的钩持示意图；图9为图8中限位块与钩杆的抵触示意图；其中，图中各附图标记：
1、
加强板；
11、
密封板；
12、
第二触点；
13、
第三触点；
14、
第二接触块；
15、
固定块；
151、
钩槽；
2、
连接板；
21、
嵌装板；
22、
第一触点；
3、
触接机构；
31、
安装柱；
32、
探针；
321、
触块；
322、
触点部；
33、
弹性体；
331、
第一弹簧；
332、
第二弹簧；
34、
顶板；
341、
连接杆；
4、
固定架；
5、
外壳体；
51、
固定座；
511、
滑动腔；
52、
盖环；
521、
凹槽；
522、
斜面；
6、
插接机构；
61、
滑块；
611、
第一接触块；
612、
钩持板；
613、
滑动部；
62、
调节槽；
63、
钩杆；
64、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种探针卡插接结构，其特征在于：包括：加强板（1），该加强板（1）适于与测试机电连接；外壳体（5），该外壳体（5）固定于测试机上，所述外壳体（5）套接于所述加强板（1）上，所述加强板（1）适于在所述外壳体（5）内滑动，所述外壳体（5）由固定座（
51
）与盖环（
52
）组成，所述固定座（
51
）上开设有滑动腔（
511
）；插接机构（6），该插接机构（6）安装于所述外壳体（5）的内壁四周，所述插接机构（6）用于将所述外壳体（5）与所述加强板（1）之间进行连接，所述插接机构（6）具有滑块（
61
），所述滑块（
61
）滑动安装于所述滑动腔（
511
）内，所述滑块（
61
）与所述滑动腔（
511
）内壁之间连接有第三弹簧（
64
）；触接机构（3），该触接机构（3）设置于所述加强板（1）的下方，所述触接机构（3）包括：安装柱（
31
），该安装柱（
31
）的底端安装有顶板（
34
），所述顶板（
34
）上设置有连接杆（
341
），所述安装柱（
31
）开设有滑孔；探针（
32
），该探针（
32
）滑动安装于所述滑孔内，所述探针（
32
）处于所述安装柱（
31
）内的端部上设置有与所述连接杆（
341
）相适配的触块（
321
），所述触块（
321
）上开设有与所述连接杆（
341
）对应的开口；弹性体（
33
），该弹性体（
33
）安装所述顶板（
34
）与所述探针（
32
）之间；其中：在所述探针（
32
）与晶圆接触的过程中，所述连接杆（
341
）与所述触块（
321
）的开口处插接，以缓冲所述探针（
32
）的下压，从而实现防止虚接的情况出现
。2.
根据权利要求1所述的一种探针卡插接结构，其特征在于：所述盖环（
52
）上开设有凹槽（
521
），所述凹槽（
521
）的两端设置有斜面（
522
），所述斜面（
522
）向着所述凹槽（
521
）内倾斜；所述滑块（
61
）顶端固定有竖直设置的钩持板（
612
），所述钩持板（
612
）为弹性塑料材质制成，所述钩持板（
612
）的两端设置有滑动部（
613
），所述滑动部（
613
）抵触于所述斜面（
522
）上，所述加强板（1）设置有固定块（
15
），所述固定块（
15
）上开设有与所述钩持板（
612
）适配的钩槽（
151
）

【专利技术属性】
技术研发人员：薛冰，
申请(专利权)人：安盈半导体技术常州有限公司，
类型：发明
国别省市：