一种尾气回收车间循环氢热能回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种尾气回收车间循环氢热能回收装置，涉及多晶硅生产设备技术领域，主要目的是提供一种利用循环氢压缩机出口高温氢气的热能加热还原氢气的一种尾气回收车间循环氢热能回收装置

【技术实现步骤摘要】
一种尾气回收车间循环氢热能回收装置


[0001]本技术涉及多晶硅生产设备
，尤其涉及一种尾气回收车间循环氢热能回收装置
。

技术介绍

[0002]降低综合能耗
、
提高产品质量一直以来都是改良西门子法生产多晶硅持续突破的目标，一来能耗
、
电耗等居高不下，二来行业整体对产品质量要求极高，因此在工艺逐步迭代
、
发展成熟的过程中对有可能存在的影响产品质量的因素逐步进行优化
、
排除和替代
。
本着对热量的充分利用
、
尽量减少循环水换热器使用的两大原则，依托现有技术，对尾气回收车间工艺流程局部优化
、
以及压缩机内部流程适当调整，以综合达到节能降耗的目的
。
[0003]现有工艺虽然利用了吸收塔顶部出料的纯净氢气的冷量来降低进入吸收塔的含有氯化氢的含有少量氯硅烷
、
氯化氢的氢气的温度，但利用不够完全，选择使用循环水进行降温，使得该装置的循环水耗量相对较高，而送往还原车间的氢气温度只有
43.45℃
，氢气参与还原炉反应还需进一步加热至
140℃
左右，使得需要利用额外的加热器对氢气进行加热，提高了能源消耗，并且，使用循环水换热器增加了换热器泄露影响产品质量的风险
。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术实施例提供一种尾气回收车间循环氢热能回收装置，主要目的是提供一种利用循环氢压缩机出口高温氢气的热能加热还原氢气的一种尾气回收车间循环氢热能回收装置
。
[0005]为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：
[0006]本技术实施例提供了一种尾气回收车间循环氢热能回收装置，该装置包括：
[0007]冷凝组件，所述冷凝组件包括吸收塔
、
第一冷凝部件和第二冷凝部件，所述第二冷凝部件具有第二冷凝壳程和第二冷凝管程，所述第二冷凝壳程的一端连接于所述吸收塔的底部，所述第二冷凝管程的一端连接于所述吸收塔的顶部；
[0008]压缩部件，所述压缩组件包括压缩组件
、
进气缓冲罐
、
出气缓冲罐和第一氢冷器，所述第一氢冷器具有第一氢冷管程和第一氢冷壳程，所述进气缓冲罐的一端连接于所述第一冷凝部件，另一端连接于所述压缩组件，所述第一氢冷壳程的一端连接于所述压缩组件，另一端连接于所述出气缓冲罐，所述出气缓冲罐连接于所述第二冷凝壳程的另一端，所述第一氢冷管程连接于所述第二冷凝管程的另一端
。
[0009]进一步的，所述压缩组件包括进气缓冲器
、
排气缓冲器
、
压缩机和回流冷却器，所述压缩机设置在所述进气缓冲器和所述排气缓冲器之间，所述回流冷却器与所述排气缓冲器之间设置第一回流管道，所述出气缓冲罐连接于所述第一回流管道的中部
。
[0010]进一步的，所述冷凝组件还包括还原尾气管道，所述第一冷凝部件包括第一液冷器
、
第一还原氢冷器
、
第一空冷器
、
空冷分相罐
、
第一水冷器
、
第一气冷器和第一深冷器，所述还原尾气管道的一端连接于过滤部件，另一端依次连接于所述第一液冷器的壳程
、
所述
第一还原氢冷器的壳程
、
所述第一空冷器的壳程
、
所述空冷分相罐
、
所述第一水冷器的壳程
、
所述第一气冷器的壳程
、
所述第一深冷器的壳程和所述进气缓冲罐
。
[0011]进一步的，所述冷凝组件还包括进气管道，所述第二冷凝部件包括第二气冷器
、
第三气冷器
、
第四气冷器
、
第二水冷器
、
第二深冷器和第三深冷器，所述进气管道的一端连接于所述出气缓冲罐，另一端依次连接于所述第二气冷器的壳程
、
所述第二水冷器的壳程
、
所述第三气冷器的壳程
、
所述第二深冷器的壳程
、
所述第四气冷器的壳程
、
所述第三深冷器的壳程和所述吸收塔的底部
。
[0012]进一步的，氢气排出管道，所述氢气排出管道的一端连接于所述吸收塔的顶部，另一端依次连接于所述第四气冷器
、
所述第三气冷器的管程
、
所述第二气冷器的管程
、
所述第一还原氢冷器的管程和所述第一氢冷管程
。
[0013]进一步的，回流管道，所述回流管道的一端连接于所述进气缓冲罐，另一端连接于所述第二水冷器的壳程和所述第三气冷器的壳程之间的所述进气管道
。
[0014]进一步的，凝液组件，所述凝液组件包括低压凝液罐和高压凝液罐，所述低压凝液罐的上部分别连接于所述空冷分相罐
、
所述第一水冷器
、
所述第一气冷器
、
所述第一深冷器和所述高压凝液罐，所述高压凝液罐的上部分别连接于所述第三气冷器
、
所述第四气冷器
、
所述第二深冷器和所述第三深冷器
。
[0015]进一步的，淋洗组件，所述淋洗组件包括输入管道
、
输出管道
、
贫液深冷器和贫富液换热器，所述输入管道依次连接于所述贫富液换热器的壳程
、
贫液深冷器的壳程和吸收塔的顶部，所述输出管道依次连接于所述吸收塔的底部和所述贫液深冷器的管程
。
[0016]与现有技术相比，本技术具有如下技术效果：
[0017]本技术实施例提供的技术方案中，冷凝组件的作用是对尾气进行降温处理，同时升高氢气的温度，冷凝组件包括吸收塔
、
第一冷凝部件和第二冷凝部件，第二冷凝部件具有第二冷凝壳程和第二冷凝管程，第二冷凝壳程的一端连接于吸收塔的底部，第二冷凝管程的一端连接于吸收塔的顶部；压缩部件的作用是对冷凝后的混合气体进行加压处理，压缩部件包括压缩组件
、
进气缓冲罐
、
出气缓冲罐和第一氢冷器，第一氢冷器具有第一氢冷管程和第一氢冷壳程，进气缓冲罐的一端连接于第一冷凝部件，另一端连接于压缩组件，第一氢冷壳程的一端连接于压缩组件，另一端连接于出气缓冲罐，出气缓冲罐连接于第二冷凝壳程的另一端，第一氢冷管程连接于第二冷凝管程的另一端，相对于现有技术，利用吸收塔顶部出料的纯净氢气的冷量来降低进入吸收塔的含有氯化氢的含有少量氯硅烷
、
氯化氢的氢气的温度，但利用不够完全，选择使用循环水进行降温，使得该装置的循环水耗量相对较高，而送往还原车间的氢气温度只有
43.45℃
，氢气参与还原炉反应还需进一步加热至
140℃
左右，使得需本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种尾气回收车间循环氢热能回收装置，其特征在于，包括：冷凝组件，所述冷凝组件包括吸收塔
、
第一冷凝部件和第二冷凝部件，所述第二冷凝部件具有第二冷凝壳程和第二冷凝管程，所述第二冷凝壳程的一端连接于所述吸收塔的底部，所述第二冷凝管程的一端连接于所述吸收塔的顶部；压缩部件，所述压缩部件包括压缩组件
、
进气缓冲罐
、
出气缓冲罐和第一氢冷器，所述第一氢冷器具有第一氢冷管程和第一氢冷壳程，所述进气缓冲罐的一端连接于所述第一冷凝部件，另一端连接于所述压缩组件，所述第一氢冷壳程的一端连接于所述压缩组件，另一端连接于所述出气缓冲罐，所述出气缓冲罐连接于所述第二冷凝壳程的另一端，所述第一氢冷管程连接于所述第二冷凝管程的另一端
。2.
根据权利要求1所述的一种尾气回收车间循环氢热能回收装置，其特征在于，所述压缩组件包括进气缓冲器
、
排气缓冲器
、
压缩机和回流冷却器，所述压缩机设置在所述进气缓冲器和所述排气缓冲器之间，所述回流冷却器与所述排气缓冲器之间设置第一回流管道，所述出气缓冲罐连接于所述第一回流管道的中部
。3.
根据权利要求2所述的一种尾气回收车间循环氢热能回收装置，其特征在于，所述冷凝组件还包括还原尾气管道，所述第一冷凝部件包括第一液冷器
、
第一还原氢冷器
、
第一空冷器
、
空冷分相罐
、
第一水冷器
、
第一气冷器和第一深冷器，所述还原尾气管道的一端连接于过滤部件，另一端依次连接于所述第一液冷器的壳程
、
所述第一还原氢冷器的壳程
、
所述第一空冷器的壳程
、
所述空冷分相罐
、
所述第一水冷器的壳程
、
所述第一气冷器的壳程
、
所述第一深冷器的壳程和所述进气缓冲罐
。4.
根据权利要求3所述的一种尾气回收车间循环氢热能回收装置，其特征在于，所述冷凝组件还包括进气管道，所述第二冷凝部件包括第二气冷器
、
第三气冷器

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，罗烨栋，
申请(专利权)人：新疆中部合盛硅业有限公司，
类型：新型
国别省市：