单晶炉热场固定防偏移的保护装置制造方法及图纸

技术编号:39819615 阅读:10 留言:0更新日期:2023-12-22 19:39
本发明专利技术公开了一种单晶炉热场固定防偏移的保护装置,涉及单晶炉防护设备技术领域,主要目的是提供一种能够减少因单晶炉热场发生偏移导致的事故,保持热场的对中性的单晶炉热场固定防偏移的保护装置

【技术实现步骤摘要】
单晶炉热场固定防偏移的保护装置


[0001]本专利技术涉及单晶炉防护设备
,尤其涉及一种单晶炉热场固定防偏移的保护装置


技术介绍

[0002]随着单晶炉运行时间的加长,炉底固化毡

软毡等粉化氧化,导致炉底保温毡部分某一方向对下保温桶支撑性减弱,进而导致热场发生竖直方向上的偏移,无法保证热场的对中,从而导致炉台运行过程中,炉底毡某方向粉化严重导致热场竖直方向偏移,在后续复投过程中,阶段性的升降热屏,从而导致热屏升降连杆受力挤压发生偏移,剐蹭炉盖内壁,金属碎屑掉入坩埚内污染原料,造成原料污染损失,并且,炉台运行过程中,热场发生偏移,易导致保温桶
C

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件挤压主加热器,造成打火事故,严重时可导致加热器损坏,焖炉甚至漏硅,被迫提前停炉拆炉

[0003]现有的解决方式是采用热屏连杆四氟套,热屏连杆四氟套只能一定程度上防护热屏升降连杆和减少连杆剐蹭炉盖内壁,却不能完全避免,但是,对于热场的对中性并无任何有效的防护固定措施


技术实现思路

[0004]有鉴于此,本专利技术实施例提供一种单晶炉热场固定防偏移的保护装置,主要目的是提供一种能够减少因单晶炉热场发生偏移导致的事故,保持热场的对中性的单晶炉热场固定防偏移的保护装置

[0005]为达到上述目的,本专利技术主要提供如下技术方案:
[0006]本专利技术实施例提供了一种单晶炉热场固定防偏移的保护装置,该装置包括:
[0007]第一支撑部件,所述第一支撑部件设置在热场保温毡的上部外侧,所述第一支撑部件包括第一支撑环

多个第一支撑片和多个第一连接部件,所述第一连接部件的一端可拆卸连接于所述第一支撑环的内侧,另一端可拆卸连接于其中一个所述第一支撑片的外侧;
[0008]第二支撑部件,所述第二支撑部件设置在热场保温毡的中部外侧和下部外侧,所述第二支撑部件包括第二支撑环

多个第二支撑片和多个第二连接部件,所述第二连接部件的一端可拆卸连接于所述第二支撑环的内侧,另一端可拆卸连接于其中一个所述第二支撑片的外侧

[0009]进一步的,多个所述第一支撑片围成第一环状结构,多个所述第二支撑片围成第二环状结构,所述第一环状结构的直径小于所述第二环状结构的直径

[0010]进一步的,所述第一支撑环包括第一环体和多个第一连接柱,多个所述第一连接柱均匀纵向分布在所述第一环体的内侧,每个第一连接柱上具有至少两个第一连接孔,用于连接所述第一连接部件

[0011]进一步的,每个所述第一支撑片包括第一圆弧片和第一固定柱,所述第一固定柱
纵向连接于所述第一圆弧片的中部外侧,所述第一固定柱上具有至少两个第一安装孔,用于连接所述第一连接板部件

[0012]进一步的,所述第二支撑环包括第二环体和多个第二连接柱,多个所述第二连接柱均匀纵向分布在所述第二环体的内侧,每个第二连接柱上具有至少两个第二连接孔,用于连接所述第二连接部件

[0013]进一步的,每个所述第二支撑片包括第二圆弧片和第二固定柱,所述第二固定柱纵向连接于所述第二圆弧片的中部外侧,所述第二固定柱上具有至少两个第二安装孔,用于连接所述第二连接板部件

[0014]进一步的,所述第一连接部件和所述第二连接部件为调节件,每个所述调节件包括固定块

插接柱

套管

第一连接螺栓和第二连接螺栓,所述插接柱具有多个第一通孔,所述套管具有多个第二通孔,所述插接柱插入所述套管内,所述固定块依次插入其中一个所述第二通孔和其中一个所述第一通孔,所述第一连接螺栓连接于所述插接柱和所述第一支撑环
/
第二支撑环,所述第二连接螺栓连接于所述套管和所述第一支撑片
/
第二支撑片

[0015]进一步的,所述插接柱的一端设置第一连接耳部件,所述第一连接螺栓穿过并连接于所述第一连接耳部件,所述套管的一端设置第二连接耳部件,所述第二连接螺栓穿过并连接于所述第二连接耳部件

[0016]进一步的,所述固定块包括块体

第一插杆和第二插杆,所述第一插杆和所述第二插杆垂直连接于所述块体,用于插入至少两个所述第一通孔和所述第二通孔

[0017]与现有技术相比,本专利技术具有如下技术效果:
[0018]本专利技术实施例提供的技术方案中,第一支撑部件的作用是支撑热场保温毡的上部,第一支撑部件设置在热场保温毡的上部外侧,第一支撑部件包括第一支撑环

多个第一支撑片和多个第一连接部件,第一连接部件的一端可拆卸连接于第一支撑环的内侧,另一端可拆卸连接于其中一个第一支撑片的外侧;第二支撑部件的作用是支撑热场保温毡的中部和下部,第二支撑部件设置在热场保温毡的中部外侧和下部外侧,第二支撑部件包括第二支撑环

多个第二支撑片和多个第二连接部件,第二连接部件的一端可拆卸连接于第二支撑环的内侧,另一端可拆卸连接于其中一个第二支撑片的外侧,相对于现有技术,采用热屏连杆四氟套,热屏连杆四氟套只能一定程度上防护热屏升降连杆和减少连杆剐蹭炉盖内壁,却不能完全避免,但是,对于热场的对中性并无任何有效的防护固定措施,本技术方案中,通过在热场保温毡的上部外侧设置第一支撑部件,多个第一支撑片与热场保温毡的上部侧面贴合,多个第一连接部件设置在第一支撑片和第一支撑环之间,能够有效的对热场保温毡的上部进行支撑和固定,然后在单晶的中部外侧和下部外侧设置第二支撑部件,多个第二支撑片与热场保温毡的中部外侧和上部侧面贴合,多个第二连接部件设置在第二支撑片和第二支撑环之间,能够有效的对热场保温毡的中部以及下部进行支撑和固定,减少或杜绝单晶炉在运行过程中因热场发生偏移导致造成的事故,同时保证热场保温毡的对中性,从而达到降低事故率的技术效果

附图说明
[0019]图1为本专利技术实施例提供的一种第一支撑部件的结构示意图;
[0020]图2为图1中
A
处的放大结构示意图;
[0021]图3为本专利技术实施例提供的一种第二支撑部件的结构示意图;
[0022]图4为图3中
A
处的放大结构示意图;
[0023]图5为本专利技术实施例提供的第一种调节件的结构示意图;
[0024]图6为本专利技术实施例提供的第二种调节件的结构示意图;
[0025]图7为本专利技术实施例提供的一种固定块的结构示意图

具体实施方式
[0026]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细说明

[0027]如图1至图7所示,本专利技术实施例提供了一种单晶炉热场固定防偏移的保护装置,该装置包括:
[0028]第一支撑部件,第一支撑部件设置在热场保温毡的上部外侧,第一支撑部件包括第一支本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种单晶炉热场固定防偏移的保护装置,其特征在于,包括:第一支撑部件,所述第一支撑部件设置在热场保温毡的上部外侧,所述第一支撑部件包括第一支撑环

多个第一支撑片和多个第一连接部件,所述第一连接部件的一端可拆卸连接于所述第一支撑环的内侧,另一端可拆卸连接于其中一个所述第一支撑片的外侧;第二支撑部件,所述第二支撑部件设置在热场保温毡的中部外侧和下部外侧,所述第二支撑部件包括第二支撑环

多个第二支撑片和多个第二连接部件,所述第二连接部件的一端可拆卸连接于所述第二支撑环的内侧,另一端可拆卸连接于其中一个所述第二支撑片的外侧
。2.
根据权利要求1所述的单晶炉热场固定防偏移的保护装置,其特征在于,多个所述第一支撑片围成第一环状结构,多个所述第二支撑片围成第二环状结构,所述第一环状结构的直径小于所述第二环状结构的直径
。3.
根据权利要求2所述的单晶炉热场固定防偏移的保护装置,其特征在于,所述第一支撑环包括第一环体和多个第一连接柱,多个所述第一连接柱均匀纵向分布在所述第一环体的内侧,每个第一连接柱上具有至少两个第一连接孔,用于连接所述第一连接部件
。4.
根据权利要求3所述的单晶炉热场固定防偏移的保护装置,其特征在于,每个所述第一支撑片包括第一圆弧片和第一固定柱,所述第一固定柱纵向连接于所述第一圆弧片的中部外侧,所述第一固定柱上具有至少两个第一安装孔,用于连接所述第一连接板部件
。5.
根据权利要求2所述的单晶炉热场固定防偏移的保护装置,其特征在于,所述第二支撑环包括第二环体和多个第二连接柱,多个所述第二连接柱均匀纵向分布在所述第二环体...

【专利技术属性】
技术研发人员:摆力龙王瑞波卢伟罗烨栋
申请(专利权)人:新疆中部合盛硅业有限公司
类型:发明
国别省市:

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