【技术实现步骤摘要】
单晶炉热场固定防偏移的保护装置
[0001]本专利技术涉及单晶炉防护设备
，尤其涉及一种单晶炉热场固定防偏移的保护装置
。
技术介绍
[0002]随着单晶炉运行时间的加长，炉底固化毡
、
软毡等粉化氧化，导致炉底保温毡部分某一方向对下保温桶支撑性减弱，进而导致热场发生竖直方向上的偏移，无法保证热场的对中，从而导致炉台运行过程中，炉底毡某方向粉化严重导致热场竖直方向偏移，在后续复投过程中，阶段性的升降热屏，从而导致热屏升降连杆受力挤压发生偏移，剐蹭炉盖内壁，金属碎屑掉入坩埚内污染原料，造成原料污染损失，并且，炉台运行过程中，热场发生偏移，易导致保温桶
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件挤压主加热器，造成打火事故，严重时可导致加热器损坏，焖炉甚至漏硅，被迫提前停炉拆炉
。
[0003]现有的解决方式是采用热屏连杆四氟套，热屏连杆四氟套只能一定程度上防护热屏升降连杆和减少连杆剐蹭炉盖内壁，却不能完全避免，但是，对于热场的对中性并无任何有效的防护固定措施
。
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种单晶炉热场固定防偏移的保护装置，其特征在于，包括：第一支撑部件，所述第一支撑部件设置在热场保温毡的上部外侧，所述第一支撑部件包括第一支撑环
、
多个第一支撑片和多个第一连接部件，所述第一连接部件的一端可拆卸连接于所述第一支撑环的内侧，另一端可拆卸连接于其中一个所述第一支撑片的外侧；第二支撑部件，所述第二支撑部件设置在热场保温毡的中部外侧和下部外侧，所述第二支撑部件包括第二支撑环
、
多个第二支撑片和多个第二连接部件，所述第二连接部件的一端可拆卸连接于所述第二支撑环的内侧，另一端可拆卸连接于其中一个所述第二支撑片的外侧
。2.
根据权利要求1所述的单晶炉热场固定防偏移的保护装置，其特征在于，多个所述第一支撑片围成第一环状结构，多个所述第二支撑片围成第二环状结构，所述第一环状结构的直径小于所述第二环状结构的直径
。3.
根据权利要求2所述的单晶炉热场固定防偏移的保护装置，其特征在于，所述第一支撑环包括第一环体和多个第一连接柱，多个所述第一连接柱均匀纵向分布在所述第一环体的内侧，每个第一连接柱上具有至少两个第一连接孔，用于连接所述第一连接部件
。4.
根据权利要求3所述的单晶炉热场固定防偏移的保护装置，其特征在于，每个所述第一支撑片包括第一圆弧片和第一固定柱，所述第一固定柱纵向连接于所述第一圆弧片的中部外侧，所述第一固定柱上具有至少两个第一安装孔，用于连接所述第一连接板部件
。5.
根据权利要求2所述的单晶炉热场固定防偏移的保护装置，其特征在于，所述第二支撑环包括第二环体和多个第二连接柱，多个所述第二连接柱均匀纵向分布在所述第二环体...
【专利技术属性】
技术研发人员：摆力龙，王瑞波，卢伟，罗烨栋，
申请(专利权)人：新疆中部合盛硅业有限公司，
类型：发明
国别省市：
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