【技术实现步骤摘要】
一种回收新鲜料系统重杂的方法和装置
[0001]本专利技术涉及多晶硅生产设备
，尤其涉及一种回收新鲜料系统重杂的方法和装置
。
技术介绍
[0002]采用西门子法生产多晶硅工艺的过程中，会产生副产物氧硅烷，氧硅烷和乙硅烷沸点相近，高沸裂解硅烷过程中，氧硅烷混入其中无法裂解，会逐步聚集，达到一定程度后将会影响高沸裂解反应，定期消除氧硅烷是满足高沸裂解反应的必要条件
。
[0003]生产多晶硅工艺过程中，三氯氢硅的分离提纯是极为关键的工序，直接决定了生产的多晶硅质量等级，目前的生产过程中都采用精馏的方法对三氯氢硅进行分离提纯，有的在流程中加入一些吸附除杂装置，进一步去除一些难于通过精馏除去的轻组分微量杂质，对浓缩重杂质直接进行水解
。
[0004]现有技术中，对于氧硅烷和氯硅烷的混合物以及浓缩的重杂的处理方式主要采用定期水解，定期水解能够有效的处理氧硅烷和氯硅烷的混合物以及浓缩的重杂中的络合物，但是，这样的方式会导致产量损失，同时，水解还会造成水资源的浪费，以年产
4.5
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种回收新鲜料系统重杂的方法，其特征在于，包括以下步骤：将氧硅烷和氯硅烷的混合物以及新鲜料系统产生的重杂输入精馏塔；液相氧硅烷与气相重杂形成逆流并相互传质传热，分离出重组分氧硅烷和轻组分氯硅烷；重组分氧硅烷进入塔釜；轻组分氯硅烷冷却后采出回收
。2.
根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将氧硅烷和氯硅烷的混合物以及新鲜料系统产生的重杂输入精馏塔包括以下步骤：将氧硅烷和氯硅烷的混合物通入精馏塔的上进料口；对新鲜料系统产生的重杂进行浓缩，然后通入精馏塔的下进料口；重杂通过再沸器加热形成气相重杂并上升
。3.
根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述轻组分氯硅烷冷却后采出回收包括：部分轻组分氯硅烷进入新鲜料系统，部分轻组分氯硅烷回流到精馏塔顶部
。4.
根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述重组分氧硅烷进入塔釜之后还包括以下步骤：将部分重组分氧硅烷通入氧硅烷和氯硅烷的混合物管线中
。5.
一种回收新鲜料系统重杂的装置，其特征在于，包括：精馏部件，所述精馏部件包括精馏塔
、
混合物管线和重杂管线，所述混合物管线连接于所述精馏塔的上进料口，所述重杂管线连接于所述精馏塔的下进料口；加热部件，所述加热部件连...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘飞，牛刚，李鹏，畅强强，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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