一种多晶硅生产过程中高纯二硅回收循环系统技术方案

本申请涉及一种多晶硅生产过程中高纯二硅回收循环系统，尾气回收系统的氯硅烷出口与分离塔的进口相连，且分离塔的进口设置有第一流速计，分离塔的塔顶出口设置有第一流速阀，分离塔的塔侧出口设置有第二流速计，分离塔的塔侧出口和补充TCS管道均与混合器的进口相连，且补充TCS管道设置有第二流速阀。将还原尾气中的DCS代替现有技术中外购而来的DCS，无需外购DCS，能够减少降低购买成本及运输成本，有利于降低多晶硅生产成本，还能够避免因需要外购DCS而存在运输过程中安全性差、容易发生安全事故的问题，且能够精准控制含量，还能够使得还原工艺用原料中杂质含量低，进而能够使得所生产的多晶硅杂质含量低，品质高。品质高。品质高。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产过程中高纯二硅回收循环系统


[0001]本申请涉及多晶硅生产
，特别是涉及一种多晶硅生产过程中高纯二硅回收循环系统。

技术介绍

[0002]多晶硅生产中，在还原炉所使用的三氯氢硅(TCS)中加入适量的二氯二氢硅(DCS)有利于抑制副反应的进行，提高多晶硅在还原炉内的沉积速率。还原炉所使用的TCS中需要控制DCS的含量，DCS的含量通常控制在1％至5％之间。随着各家企业对还原过程的沉积速率和产品质量要求的不断提升，就要求还原用的TCS中DCS的含量必须精准控制。
[0003]目前行业中控制TCS中DCS含量的方法主要为：由于DCS的纯度较大影响多晶硅的品质(杂质含量)，因此，大多数的多晶硅厂家将外购的DCS(这是由于外购而来的DCS纯度高)按比例添加到精馏提纯后的合成TCS(冷氢化工序生成的氢化氯硅烷经过精馏提纯后得到合成TCS)中，通过直接控制TCS和DCS二者的加入量直接控制TCS中DCS的含量。但是，外购的DCS价格较贵，购买成本较高，导致多晶硅生产成本高，且由于DCS性质活跃，外购的DCS在运输过程中安全性差，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产过程中高纯二硅回收循环系统，其特征在于，包括还原炉（100）、尾气回收系统（200）、分离塔（300）、补充TCS管道、控制装置（500）和混合器（700），所述还原炉（100）的还原尾气出口与所述尾气回收系统（200）的进口相连，所述尾气回收系统（200）的氯硅烷出口与所述分离塔（300）的进口相连，且所述分离塔（300）的进口设置有第一流速计，所述分离塔（300）的塔顶出口设置有第一流速阀，所述分离塔（300）的塔侧出口与所述混合器（700）的进口相连，且所述分离塔（300）的塔侧出口设置有第二流速计，所述补充TCS管道与所述混合器（700）的进口相连，且所述补充TCS管道设置有第二流速阀，所述第一流速计、所述第一流速阀、所述第二流速计和所述第二流速阀均与所述控制装置（500）电连接，所述混合器（700）的出口与所述还原炉（100）的进口相连。2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产过程中高纯二硅回收循环系统，其特征在于，还包括气态合成TCS储罐（400），所述气态合成TCS储罐（400）的出口通过所述补充TCS管道与所述混合器（700）的进口相连。3.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产过程中高纯二硅回收循环系统，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨鹏，马俊霞，何紫微，李广，李万存，王正云，张杰，陈朝霞，
申请(专利权)人：内蒙古润阳悦达新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：