下载单晶炉热场固定防偏移的保护装置的技术资料

文档序号:39819615

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本发明公开了一种单晶炉热场固定防偏移的保护装置,涉及单晶炉防护设备技术领域,主要目的是提供一种能够减少因单晶炉热场发生偏移导致的事故,保持热场的对中性的单晶炉热场固定防偏移的保护装置
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该专利属于新疆中部合盛硅业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新疆中部合盛硅业有限公司授权不得商用。

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