一种硅片尺寸的测量设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种硅片尺寸的测量设备，包括拍摄传输装置

【技术实现步骤摘要】
一种硅片尺寸的测量设备


[0001]本技术涉及硅片测量设备
，具体涉及一种硅片尺寸的测量设备
。

技术介绍

[0002]硅片作为重要的太阳能电池原材料，被广泛用于太阳能电池
、
电路板等产品的生产制造中
。
为了保证由硅片制造的太阳能电池
、
电路板等产品的质量，需要对生产的硅片进行尺寸的测量
。
[0003]现有常用对硅片尺寸进行测量的设备中，是通过一个相机对硅片的整体进行拍摄得到黑白分明的二值图像，再对图像像素点数和像素当量进行计数得到硅片的尺寸，然而，随着硅片的尺寸越做越大，受限于相机的分辨率限制，会让相机拍摄的图像像素精度随着硅片的尺寸变大而降低，从而降低硅片的尺寸测量精度
。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是设计一种硅片尺寸的测量设备，使其可以解决
技术介绍
中所提到的问题
。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种硅片尺寸的测量设备，包括拍摄传输装置
>、PLC
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种硅片尺寸的测量设备，其特征在于，包括拍摄传输装置
、PLC
控制器和工控机，拍摄传输装置包括机架
(1)
，机架
(1)
上由上往下依次安装有相机拍摄机构
、
传输机构和背光光源
(2)
，相机拍摄机构包括第一移动板
(3)、
第二移动板
(4)、
第三移动板
(5)、
第四移动板
(6)、
框架
(8)
和边角相机
(13)
，第一移动板
(3)
和第二移动板
(4)
沿横向方向相对设置，第三移动板
(5)
和第四移动板
(6)
沿纵向方向相对设置，框架
(8)
为矩形结构且安装在机架
(1)
上，框架
(8)
的四边上均设有滑轨
(9)
，第一移动板
(3)、
第二移动板
(4)、
第三移动板
(5)
和第四移动板
(6)
的两端均设有与滑轨
(9)
滑动配合的滑块
(10)
，框架
(8)
上还安装有分别与第一移动板
(3)、
第二移动板
(4)、
第三移动板
(5)
和第四移动板
(6)
连接的驱动机构，框架
(8)
内的四角处均设有支撑块
(11)
，支撑块
(11)
上沿横向方向和纵向方向均设有穿孔，第一移动板
(3)、
第二移动板
(4)、
第三移动板
(5)
和第四移动板
(6)
两端的滑块
(10)
均通过支撑杆
(12)
连接，相邻的两根支撑杆
(12)
分别沿横向和纵向方向穿过支撑块
(11)
的穿孔，支撑块
(11)
的底部安装有边角相机
(13)
，四个边角相机
(13)
中心对称设置，传输机构位于四个边角相机
(13)
对称中心的正下方，边角相机
(13)
的正下方设有标定板，
PLC
控制器分别与边角相机
(13)、
工控机和驱动机构连接，工控机与边角相机
(13)
连接
。2.
根据权利要求1所述的硅片尺寸的测量设备，其特征在于，驱动机构包括安装在框架
(8)
上的第一驱动组件和第二驱动组件，第一驱动组件分别与第一移动板
(3)
和第二移动板
(4)
连接，第二驱动组件分别与第三移动板
(5)
和第四移动板
(6)
连接，
PLC
控制器分别与第一驱动组件和第二驱动组件连接
。3.
根据权利要求2所述的硅片尺寸的测量设备，其特征在于，第一驱动组件包括第一电机
(15)、
第一联轴器
(16)、
第一丝杆
(17)、
第一竖面板
(18)
和第二竖面板
(19)
，第一竖面板
(18)
和第二竖面板
(19)
分别安装在框架
(8)
上沿横向方向的两边，第一竖面板
(18)
和第二竖面板
(19)
上均设有轴承，第一移动板
(3)
上固定有第一左旋螺母
(20)
，第二移动板
(4)
上固定有第一右旋螺母
(21)
，第一丝杆
(17)
的一端穿过第一竖面板
(18)
的轴承与第一联轴器
(16)
的输出端连接，另一端依次穿过第一左旋螺母
(20)、
第一右旋螺母
(21)
和第二竖面板
(19)
的轴承，第一电机
(15)
的输出端与第一联轴器
(16)
的输出端连接，
PLC
控制器与第一电机
(15)
连接
。4.
根据权利要求2所述的硅片尺寸的测量设备，其特征在于，第二驱动组...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖赖发，陈康，王成坤，
申请(专利权)人：珠海广浩捷科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：