一种用于激光干涉仪校准三坐标的反光镜夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及的一种用于激光干涉仪校准三坐标的反光镜夹持装置，它包括测量轴

【技术实现步骤摘要】
一种用于激光干涉仪校准三坐标的反光镜夹持装置


[0001]本技术涉及光学精密测量
，尤其涉及一种用于激光干涉仪校准三坐标的反光镜夹持装置
。

技术介绍

[0002]根据
JJF1064
‑
2004《
坐标测量机校准规范
》
附录
B
的要求，需要对大型三坐标的位置示值误差进行校准
。
现行业中用激光干涉仪校准三坐标时，需要安装反光镜，一般将反光镜固定在激光干涉仪的
Z
轴测头安装座内，在此过程中需要拆卸测头；校准完成后，需将拆解后测头安装回测头安装座内，这种方式后期测头安装麻烦，而且安装后测头调试时间长，非专业人士调试精度无法保证，影响后期检测的精度
。
且在实际应用中，为了避免拆卸测量头导致三坐标示值误差偏大，校准过程中不拆卸测量头，而不拆卸测量头无法安装反射镜
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服上述不足，提供一种用于激光干涉仪校准三坐标的反光镜夹持装置，结构简单，便于操作
。
[0004]本技术的目的是这样实现的：
[0005]一种用于激光干涉仪校准三坐标的反光镜夹持装置，它包括测量轴
、
固定板
、
移动板
、
弹簧伸缩杆
、
万向调节器和反射镜夹具，所述测量轴上设有导轨，所述导轨上设有滑块滑动连接移动板，所述测量轴相对移动板的另一端设有固定板，所述固定板和移动板上对应位置分别设有上下两个弹簧伸缩杆，上下两个弹簧伸缩杆上设置夹板；所述固定板相对移动板的另一侧面设有万向调节器，通过万向调节器连接反射镜夹具；所述反射镜夹具包括
U
型板，所述
U
型板包括横板和设置在横板两端的两个套杆，套杆内部中空且设有内弹簧，所述套杆内插入推杆，两个推杆的端部设置推板连接，在推板和
U
型板的横板之间装夹反射镜
。
[0006]进一步地，所述固定板和移动板上对应位置分别设有上下两个内孔，所述固定板和移动板的内孔开口方向相对设置，内孔内均插入弹簧伸缩杆
。
[0007]进一步地，所述万向调节器包括外衬套
、
万向球头和锁紧装置，所述外衬套固定在固定板上，外衬套内设置万向球头，所述万向球头通过连接件连接反射镜夹具
。
[0008]进一步地，所述外衬套上还设有锁紧装置，用于锁紧万向球头
。
[0009]进一步地，所述滑块上设有锁止机构
。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0011]本技术的夹持装置由反射镜夹具
、
万向调节器
、
锁紧装置
、
弹簧伸缩杆和滑块组成，反射镜可以通过反射镜夹具内弹簧紧固在反射镜夹具上，万向球和锁紧装置可以调节反射镜角度，万向球和锁紧装置具有任意调节角度的功能；反射镜夹具具有直接紧固反射镜的功能，不需要使用圆柱棒；弹簧伸缩杆可以使整套夹具紧固在测量轴上，在移动过程中，不会使之滑落；滑块和锁紧装置具有应对不同型号尺寸的三坐标功能，根据不同型号的
三坐标测量轴宽度，右侧锁紧装置和滑块可以调节夹紧块间距，利用弹簧伸缩杆和两块用于夹紧测量轴导轨的夹紧块紧固在测轴上
。
本技术能够有效保证光学组件的安装精度
。
附图说明
[0012]图1为本技术的结构示意图
。
[0013]图2为本技术的反射镜夹具的俯视图
。
[0014]图3为本技术的测量轴的俯视图
。
[0015]其中：
[0016]测量轴
1、
导轨
11、
滑块
12、
固定板
2、
移动板
3、
弹簧伸缩杆
4、
万向调节器
5、
外衬套
51、
万向球头
52、
锁紧装置
53、
反射镜夹具
6、U
型板
61、
推杆
62、
内弹簧
63、
推板
64、
反射镜
7。
实施方式
[0017]为更好地理解本技术的技术方案，以下将结合相关图示作详细说明
。
应理解，以下具体实施例并非用以限制本技术的技术方案的具体实施态样，其仅为本技术技术方案可采用的实施态样
。
需先说明，本文关于各组件位置关系的表述，如
A
部件位于
B
部件上方，其系基于图示中各组件相对位置的表述，并非用以限制各组件的实际位置关系
。
实施例1
[0018]参见图1‑
图3，图1绘制了本技术的结构示意图
。
如图所示，一种用于激光干涉仪校准三坐标的反光镜夹持装置，它包括测量轴
1、
固定板
2、
移动板
3、
弹簧伸缩杆
4、
万向调节器5和反射镜夹具6，所述测量轴1上设有导轨
11
，所述导轨
11
上设有匹配的滑块
12
，所述测量轴1的一端设有固定板2，导轨
11
上通过滑块
12
滑动连接移动板3，所述固定板2和移动板3上对应位置分别设有上下两个内孔，所述固定板2和移动板3的内孔开口方向相对设置，内孔内均插入弹簧伸缩杆4，上下两个弹簧伸缩杆4上设置夹板，所述固定板2和移动板3的夹板之间装夹三坐标整套夹具，移动板3通过滑块
12
在测量轴1的导轨
11
上滑动，用于夹紧整套夹具
。
[0019]所述固定板2相对移动板3的另一侧设有万向调节器5，所述万向调节器5包括外衬套
51、
万向球头
52
和锁紧装置
53
，所述外衬套
51
固定在固定板2上，外衬套
51
内设置万向球头
52
，所述外衬套
51
上还设有锁紧装置
53
，用于锁紧万向球头
52
，所述万向球头
52
通过连接件连接反射镜夹具
6。
[0020]所述反射镜夹具6包括
U
型板
61
，所述
U
型板
61
包括横板和设置在横板两端的两个套杆，套杆内部中空且设有内弹簧
63
，所述套杆内插入推杆
62
，两个推杆
62
的端部设置推板
64
连接，所述推板
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于激光干涉仪校准三坐标的反光镜夹持装置，其特征在于：它包括测量轴（1）
、
固定板（2）
、
移动板（3）
、
弹簧伸缩杆（4）
、
万向调节器（5）和反射镜夹具（6），所述测量轴（1）上设有导轨（
11
），所述导轨（
11
）上设有滑块（
12
）滑动连接移动板（3），所述测量轴（1）相对移动板（3）的另一端设有固定板（2），所述固定板（2）和移动板（3）上对应位置分别设有上下两个弹簧伸缩杆（4），上下两个弹簧伸缩杆（4）上设置夹板；所述固定板（2）相对移动板（3）的另一侧面设有万向调节器（5），通过万向调节器（5）连接反射镜夹具（6）；所述反射镜夹具（6）包括
U
型板（
61
），所述
U
型板（
61
）包括横板和设置在横板两端的两个套杆，套杆内部中空且设有内弹簧（
63
），所述套杆内插入推杆（
62
），两个推杆（
62
）的端部设置推板（
64
）连接，在推板（
64
）和
U
型板（
61
）的横...

【专利技术属性】
技术研发人员：董盈钧，张斌，殷新，沈非，
申请(专利权)人：江阴市计量测试检定所，
类型：新型
国别省市：