一种氨水回收提纯制超纯氨工艺制造技术

本申请公开了一种氨水回收提纯制超纯氨工艺，包括如下步骤：

【技术实现步骤摘要】
一种氨水回收提纯制超纯氨工艺


[0001]本专利技术涉及超纯氨制备
，具体涉及一种氨水回收提纯制超纯氨工艺
。

技术介绍

[0002]超纯氨是微电子氮化硅和氮化镓掩蔽膜的主要材料，是光电子领域
、
半导体
、
发光二极管行业的重要原材料，其纯度对器件产品的使用寿命
、
材料的电学性能和光学性能具有直接的影响，随着科技的发展和社会对于电子产品
、
新型节能照明器件
、
清洁能源的需求日益增大，对于超纯氨的纯度要求也越来越高
。
[0003]超高纯氨的制取一般都是采用工业液氨通过吸附
、
精馏
、
过滤等物理化学方法来除去氨中各种轻组分杂质
、
高沸物
、
水和金属杂质等，工艺过程比较复杂，能耗消耗大，不利于生产效率的提高，不利于生产成本的降低，为解决上述问题，研发了一款氨水回收提纯制超纯氨工艺
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种氨水回收提纯制超纯氨工艺，实现了从原料氨水
、
中间产品工业液氨到最终产品
7N
超纯氨的整套生产制备，相对的简化了工艺的制备流程，大大降低了生产的能耗，
7N
超纯氨能够更好的满足产品标准，有利于提供企业的生产力和竞争力
。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：
[0006]一种氨水回收提纯制超纯氨工艺，包括如下步骤：
[0007]S1
，将常温常压下的氨水原料装入氨水罐内备用；
[0008]S2
，用隔膜泵将氨水罐内的氨水增压至
20
‑
24bar
；
[0009]S3
，将增压后的氨水输送至预热器预热，温度预热至
120
‑
140℃
；
[0010]S4
，将预热后的氨水输送至提浓塔内，控制提浓塔塔顶操作压力为
17.1
‑
17.5bar
，操作温度控制在
43
‑
47℃
；塔釜操作压力为
17.2
‑
17.5bar
，操作温度控制在
200
‑
210℃
；
[0011]S5
，将提浓塔内物料气相经塔顶冷凝器冷凝后，一部分液相回流，另一部分纯度合格的工业液氨采出备用；
[0012]S6
，将工业液氨通过隔膜泵加压后输送至脱轻塔内；
[0013]S7
，脱轻塔对工业液氨经过加压分离后，再经过塔顶冷凝器冷凝；
[0014]S8
，将塔顶冷凝后的不凝气从塔顶采出去氨水吸收系统；冷凝后的液相进入回流罐，通过回流罐自流返回脱轻塔；
[0015]S9
，脱轻塔塔底采出含有重组分的液氨，并通过压差进入脱重塔；
[0016]S10
，脱重塔将液氨进行加压分离，脱出液氨中的重组分；
[0017]S11
，脱重塔中塔顶气相经过塔顶冷凝器冷凝，冷凝后液相流入脱重塔的回流罐中，通过回流罐一部分自流回至脱重塔内，一部分作为合格的超纯氨产品经过产品冷却器冷却降温后经
0.01um、0.001um
产品过滤器过滤固体颗粒物杂质后分两路，一路直接充装至
包装容器内，一路至产品储罐内储存；
[0018]S12
，将产品进行收纳
、
入库
。
[0019]优选地一种方案，在步骤
S1
中，氨水原料的浓度选择
18
‑
24
％的
。
[0020]优选地一种方案，在步骤
S2
中，隔膜泵将氨水罐内的氨水增压至
21
‑
23bar。
[0021]优选地一种方案，在步骤
S3
中，预热器的热源由提浓塔底采出提供
。
[0022]优选地一种方案，在步骤
S4
中，控制提浓塔塔顶操作压力为
17.2
‑
17.4bar
，操作温度控制在
44
‑
46℃
；塔釜操作压力为
17.2
‑
17.4bar
，操作温度控制在
205
‑
210℃。
[0023]优选地一种方案，在步骤
S6
中，工业液氨通过隔膜泵加压到
19.5
‑
21.5bar
后输送至脱轻塔内
。
[0024]优选地一种方案，在步骤
S7
中，脱轻塔的工作压力控制在
18.5
‑
19.5bar。
[0025]优选地一种方案，在步骤
S10
中，脱重塔的工作压力控制在
16
‑
18bar。
[0026]优选地一种方案，在步骤
S5、S7
和
S11
中，塔顶冷凝器由循环水作为冷源；其中，提浓塔的塔釜再沸器热源由导热油装置提供，温度控制在0‑
300℃
，而脱轻塔和脱重塔的塔釜再沸器热源由热水提供
。
[0027]优选地一种方案，在步骤
S11
中，脱重塔的塔釜含有水
、
油
、
重金属的液氨通过压差自流进入去氨水吸收系统
。
[0028]由于上述技术方案的运用，本申请与现有技术相比的有益效果在于：
[0029]本申请提供的一种氨水回收提纯制超纯氨工艺，通过一系列的工艺流程以及相应配套系统的配合使用，实现了从原料氨水
、
中间产品工业液氨到最终产品
7N
超纯氨的整套生产制备，相对的简化了工艺的制备流程，在制备过程中，采用更加环保节能的循环水进行冷却，预热器的热源由在提浓塔底部采出提供，脱轻塔
、
脱重塔的塔底再沸器利用热水作为热源，充分利用整套系统自身产品的能量进行循环，大大的降低了生产的能耗，降低了生产的成本，同时，制备的
7N
超纯氨能够更好的满足产品标准，有利于提供企业的生产力和竞争力
。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0031]图1为本专利技术的氨水回收提纯制超纯氨工艺的流程示意图
。
具体实施方式<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种氨水回收提纯制超纯氨工艺，其特征在于，包括如下步骤：
S1
，将常温常压下的氨水原料装入氨水罐内备用；
S2
，用隔膜泵将氨水罐内的氨水增压至
20
‑
24bar
；
S3
，将增压后的氨水输送至预热器预热，温度预热至
120
‑
140℃
；
S4
，将预热后的氨水输送至提浓塔内，控制提浓塔塔顶操作压力为
17.1
‑
17.5bar
，操作温度控制在
43
‑
47℃
；塔釜操作压力为
17.2
‑
17.5bar
，操作温度控制在
200
‑
210℃
；
S5
，将提浓塔内物料气相经塔顶冷凝器冷凝后，一部分液相回流，另一部分纯度合格的工业液氨采出备用；
S6
，将工业液氨通过隔膜泵加压后输送至脱轻塔内；
S7
，脱轻塔对工业液氨经过加压分离后，再经过塔顶冷凝器冷凝；
S8
，将塔顶冷凝后的不凝气从塔顶采出去氨水吸收系统；冷凝后的液相进入回流罐，通过回流罐自流返回脱轻塔；
S9
，脱轻塔塔底采出含有重组分的液氨，并通过压差进入脱重塔；
S10
，脱重塔将液氨进行加压分离，脱出液氨中的重组分；
S11
，脱重塔中塔顶气相经过塔顶冷凝器冷凝，冷凝后液相流入脱重塔的回流罐中，通过回流罐一部分自流回至脱重塔内，一部分作为合格的超纯氨产品经过产品冷却器冷却降温后经
0.01um、0.001um
产品过滤器过滤固体颗粒物杂质后分两路，一路直接充装至包装容器内，一路至产品储罐内储存；
S12
，将产品进行收纳
、
入库
。2.
如权利要求1所述的氨水回收提纯制超纯氨工艺，其特征在于，在步骤
S1
中，氨水原料的浓度选择
18
‑
24

【专利技术属性】
技术研发人员：宗立冬，严海峰，
申请(专利权)人：苏州瑞海气体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：