【技术实现步骤摘要】
本技术涉及超纯氨制备，具体涉及一种工业氨提纯制超纯氨装置。
技术介绍
1、超纯氨是微电子氮化硅和氮化镓掩蔽膜的主要材料，是光电子领域、半导体、发光二极管行业的重要原材料，其纯度对器件产品的使用寿命、材料的电学性能和光学性能具有直接的影响，随着科技的发展和社会对于电子产品、新型节能照明器件、清洁能源的需求日益增大，对于超纯氨的纯度要求也越来越高。
2、超高纯氨的制取一般都是采用工业液氨通过吸附、精馏、过滤等物理化学方法来除去氨中各种轻组分杂质、高沸物、水和金属杂质等，工艺过程比较复杂，能耗消耗大，对于设备要求较高，不利于生产效率的提高，不利于生产成本的降低，基于上述问题，企业研发了一款工业氨提纯制超纯氨装置，使生成能耗降低、成本降低以及效率提升。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种工业氨提纯制超纯氨装置，以解决现有技术中的问题。
2、为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种工业氨提纯制超纯氨装置，包括工业氨缓冲罐、脱轻塔、脱重塔、产品冷却器和成品罐；
3、所述缓冲罐通过进料隔膜泵与所述脱轻塔连接；
4、所述进料隔膜泵与所述脱轻塔之间还串联设有两组并联设置的过滤器；每组所述过滤器包括一个10um的过滤器和一个1um的过滤器；
5、所述脱轻塔的顶部依次串联设置有第一冷凝器及第一回收罐；
6、所述脱轻塔的底部与所述脱重塔连接；
7、所述脱重塔的顶部依次串联设置有第二冷凝器及第二回收罐；
<...【技术保护点】
1.一种工业氨提纯制超纯氨装置，其特征在于：包括工业氨缓冲罐、脱轻塔、脱重塔、产品冷却器和成品罐；
2.如权利要求1所述的一种工业氨提纯制超纯氨装置，其特征在于：所述进料隔膜泵并联设置有两个，且与所述工业氨缓冲罐和脱轻塔串联连接。
3.如权利要求1所述的一种工业氨提纯制超纯氨装置，其特征在于：所述脱轻塔与脱重塔一侧均还设有再沸器；所述再沸器采用70℃热水作为热源提供热量。
4.如权利要求1所述的一种工业氨提纯制超纯氨装置，其特征在于：所述第一冷凝器、第二冷凝器和产品冷却器一侧均还连接有去氨水装置。
5.如权利要求4所述的一种工业氨提纯制超纯氨装置，其特征在于：所述第一冷凝器、第二冷凝器和产品冷却器均由循环水作为冷源。
6.如权利要求1所述的一种工业氨提纯制超纯氨装置，其特征在于：所述成品罐一侧还设有升压汽化器；所述升压汽化器采用70℃热水作为热源提供热量。
【技术特征摘要】
1.一种工业氨提纯制超纯氨装置，其特征在于：包括工业氨缓冲罐、脱轻塔、脱重塔、产品冷却器和成品罐；
2.如权利要求1所述的一种工业氨提纯制超纯氨装置，其特征在于：所述进料隔膜泵并联设置有两个，且与所述工业氨缓冲罐和脱轻塔串联连接。
3.如权利要求1所述的一种工业氨提纯制超纯氨装置，其特征在于：所述脱轻塔与脱重塔一侧均还设有再沸器；所述再沸器采用70℃热水作为热源提供热量。
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【专利技术属性】
技术研发人员：宗立冬，严海峰，
申请(专利权)人：苏州瑞海气体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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