一种高纯氧冷箱制造技术

本实用新型专利技术涉及一种高纯氧冷箱，包括冷箱筒体

【技术实现步骤摘要】
一种高纯氧冷箱


[0001]本技术涉及压力容器领域，更具体地，涉及一种高纯氧冷箱
。

技术介绍

[0002]随着科技的进步，芯片半导体的需求量越来越大，同时国家对于半导体行业“卡脖子”领域的积极攻关，国内越来越多的半导体企业加大研发和投资力度，高纯氮
、
高纯氧等电子大宗气体也迎来了良好的发展机会
。
与空分装置不同，制氮机对气体供应的稳定性有很高要求，稳定性一方面在于气体纯度的稳定性，一方面在于气体供应量的稳定性
。
因此制氮机的设计必须将稳定性和可靠性放到首位
。
[0003]现有的一种生产高纯氧的装置，目前制氮机的高纯氧塔通常与主塔放在一个冷箱内，如果是高纯氧塔本身的原因无法产生合格的产品，对塔器的检查需要整个冷箱内全部设置停机，冷箱扒砂，会影响制氮机的运行
。
在冷箱的设计上，目前的空分及制氮机基本都是梁柱结构方冷箱，长细比大的冷箱，需要增加型钢的截面来保证冷箱的抗弯强度
。
现场安装的冷箱，需要比较大的场地用于冷箱
、
管道预制
、
材料存放，施工现场环境差，施工周期受环境影响较大
。

技术实现思路

[0004]本技术为克服上述现有技术中高纯氧塔通常与主塔放在一个冷箱内问题，提供一种高纯氧冷箱及其高纯氧系统，设置一个可还拆卸的冷箱单独放置高纯氧塔，提高对高纯氧塔的可维护性和供气的稳定性
。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种高纯氧冷箱，包括冷箱筒体
、
连接隔箱
、
高纯氧精馏塔，其中所述冷箱筒体设置有中空腔体且底部封闭，所述高纯氧精馏塔装设在所述冷箱筒体的中空腔体内且固定在所述冷箱筒体的底部，所述高纯氧精馏塔的连接管路位于所述连接隔箱内，所述连接管路通过穿过所述连接隔箱能与制氮机连接
。
[0006]在上述的技术方案中，冷箱筒体安装在土建基础上，高纯氧精馏塔则放置在冷箱筒体的中空内腔，高纯氧精馏塔的管路可以通过连接隔箱连通至制氮机
。
冷箱筒体为圆柱形，可以减少风载，增加冷箱的抗弯强度，即使单独作为一个仅仅放置高纯氧精馏塔的冷箱也具有足够的强度
。
在使用的时候，是多个冷箱同时工作，当其中一个冷箱和一个高纯氧精馏塔发生故障停用，其他的冷箱及其内部高纯氧精馏塔依旧可以继续作业，让制氮机不会停工，确保供气稳定
。
[0007]优选的，冷箱筒体的底部设置有地脚部
。
冷箱筒体通过地脚部固定在土建基础上
。
地脚部通过螺栓与土建基础连接，可以实现整体的拆卸，当损坏的时候只需要对单个的冷箱进行处理，更加便于维护且能够不影响制氮机的运行
。
地脚部可以为圆盘状，也可以为圆环状
。
[0008]优选的，所述冷箱筒体的设置有人孔和
/
或填料装填口
。
工作人员可以通过人孔进
入至冷箱内进行维护作业，填料装填口用于将保温材料投入至冷箱筒体内
。
其中，人孔可以设置在冷箱筒体两端，人孔设置在冷箱筒体的两端是工作人员能够根据需要从冷箱筒体的底端或者顶端进入进行维护
。
填料装填口可以设置与冷箱筒体的两端，位于冷箱筒体两端的填料装填口的作用设置是可以通过位于顶端的填料装填口进行投料，而通过底端的填料装填口泄料
。
其中人孔设置有人孔盖，填料装填口处也设置有封盖
。
[0009]优选的，所述人孔设置于所述冷箱筒体远离所述地脚部一端的顶端；所述冷箱筒体靠近所述地脚部的一端为封闭端
。
至少有一个人孔设置在冷箱筒体的顶端，让工作人员可以从上方进入冷箱筒体内
。
而冷箱筒体的底端是封闭端可以增强冷箱筒体与土建基础处的连接强度
。
[0010]优选的，所述冷箱筒体的材质为钢
。
钢材质让冷箱具有足够的强度承受风力载荷和增加冷箱的抗弯强度
。
[0011]优选的，所述冷箱筒体和所述连接隔箱内均填充保温材料
。
为了更好保持冷箱的内部温度，冷箱筒体和连接隔箱内填充有保温材料，其中冷箱筒体和连接隔箱均可以设置隔层，保温材料填充于隔层内
。
当其中给一个冷箱和一个高纯氧精馏塔发生故障停用，其他的冷箱及其内部高纯氧精馏塔依旧可以继续作业，让制氮机不会停工，确保供气稳定
。
[0012]优选的，所述高纯氧精馏塔的底部设置有连接部，所述连接部与所述冷箱筒体的内底面连接
。
连接部可以通过紧固件
、
铆接或焊接的方式与冷箱筒体的内底面连接，更优选的，为了让高纯氧精馏塔和冷箱筒体具有更高的连接强度，便于将整个高纯氧系统进行拆卸维护，所述连接部与所述冷箱筒体的内底面焊接
。
[0013]优选的，所述高纯氧精馏塔的外表面与所述冷箱筒体内表面的最短距离大于
300mm。
该间隔能够保证高纯氧精馏塔的连接管路能够布置在冷箱筒体内，而进一步的，为了让两者之间的距离便于人员进入观察等，最短距离可以为
10200mm
‑
700mm。
[0014]优选的，所述冷箱筒体的壁厚为
10
‑
1102mm
，高纯氧精馏塔和冷箱筒体整体拆卸安装的时候，该壁厚可以确保整体强度不变形
。
[0015]优选的，包括所述连接隔箱内安装有切断阀，所述切断阀的一端与所述连接管路连接，另一端用于与制氮机连接
。
可以将制氮流程和高纯氧流程隔离，便于在停用或检修拆装高纯氧塔冷箱时，管路的切断和冷箱的分离
。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：冷箱的外形为圆柱形的冷箱筒体，可以以更小的体积容纳单个高纯氧精馏塔，让高纯氧精馏塔和制氮机所在的冷箱进行分离，即使高纯氧精馏塔发生故障也不需要停用制氮机，提高供气的稳定性
。
并且圆柱形的结构可以减少风载
、
增加冷箱的抗弯强度
、
减少冷箱用钢量
。
附图说明
[0017]图1为本技术的冷箱筒体的结构示意图；
[0018]图2为本技术的高纯氧精馏塔的结构示意图；
[0019]图3为本技术的一种高纯氧冷箱的结构示意图
。
具体实施方式
[0020]附图仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制；为了更好说明本实施例，附
图某些部件会有省略
、
放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对于本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的
。
附图中描述位置关系仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制
。
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种高纯氧冷箱，其特征在于，包括冷箱筒体
(1)、
安装于所述冷箱筒体
(1)
上的连接隔箱
(2)、
高纯氧精馏塔
(4)
，其中所述冷箱筒体
(1)
设置有中空腔体且底部封闭，所述高纯氧精馏塔
(4)
装设在所述冷箱筒体
(1)
的中空腔体内且固定在所述冷箱筒体
(1)
的底部，所述连接管路
(401)
通过穿过所述连接隔箱
(2)
能与制氮机连接
。2.
根据权利要求1所述的一种高纯氧冷箱，其特征在于，所述冷箱筒体
(1)
的底部设置有地脚部
(3)。3.
根据权利要求2所述的一种高纯氧冷箱，其特征在于，所述冷箱筒体
(1)
设置有人孔
(101)
和
/
或填料装填口
(102)。4.
根据权利要求3所述的一种高纯氧冷箱，其特征在于，所述人孔
(101)
设置于所述冷箱筒体
(1)
远离所述地脚部
(3)
一端的顶端
。5.
根据权利要求1所述的一种高纯氧冷箱，其特征在于，所述连接隔箱

【专利技术属性】
技术研发人员：邓韬，李伟，胡雪沁，
申请(专利权)人：广州广钢气体能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：