检测承载装置及台阶仪制造方法及图纸

本申请涉及一种检测承载装置及台阶仪，检测承载装置包括：样品台

【技术实现步骤摘要】
检测承载装置及台阶仪


[0001]本申请涉及检测仪器
，特别是涉及一种检测承载装置及台阶仪
。

技术介绍

[0002]台阶仪是一种可用于对材料表面进行纳米级形貌表征的检测仪器，目前广泛应用于电子器件
、
半导体
、
电池
、
高亮度发光二管以及其他材料科学领域
。
现有的台阶仪通常包括探头和探针，探针夹持安装于探头上
。
当探针沿被测表面滑过时，被测表面上的微小峰谷可使探针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动，即探针可相对探头伸缩运动；探针的运动情况就反映了被测表面的轮廓
。
[0003]台阶仪一般还设置有显微镜部件和检测载台
。
样品放置在检测载台上
。
显微镜部件用于辅助观察检测载台上的样品
。
为实现显微镜部件的调焦操作，让显微镜部件的焦点对准样品，台阶仪一般在显微部件与支撑架体之间设置升降调节结构，以调整显微镜部件的焦点与样品之间的距离
。
然而，由于不同样品的厚度不一致，当前后检测的样品的厚度差异较大时，除需要利用升降调节结构调整显微部件的高度外，台阶仪的其他检测部件也需要同时进行较大幅度的高度调整，以适应两种样品表面明显的高度变化，不利于保证台阶仪的检测效率
。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对设置在显微部件与支撑架体之间的升降调节结构仅能对显微镜部件的焦点相对样品的距离进行调节，无法起到额外的用途r/>、
不利于提高台阶仪的紧凑性或效率的问题，提供一种检测承载装置及台阶仪
。
[0005]一种检测承载装置，安装于基面，所述检测承载装置处于主摄像件的下方，包括：
[0006]样品台，用于放置待检样品；所述样品台处于所述主摄像件的下方；
[0007]移动扫描台，连接于所述样品台与所述基面之间；所述移动扫描台用于在所述待检样品的扫描检测阶段带动所述样品台沿预定方向相对所述基面移动；及
[0008]Z
轴升降调节台，连接于所述样品台与所述基面之间；所述
Z
轴升降调节台用于带动所述样品台沿竖直方向相对所述主摄像件升降移动
。
[0009]上述检测承载装置，待检样品放置于样品台，样品台处于主摄像件的下方
。
在将待检样品放置到样品台上后，在扫描检测阶段，移动扫描台带动样品台相对基面精确移动，结合探针的活动，从而能获得待检样品的轮廓特征
。
在扫描检测阶段前，由于
Z
轴升降调节台连接于样品台与基面之间，
Z
轴升降调节台通过调整样品台相对于基面的高度，能调整待检样品与主摄像件焦点之间的距离
。
通过
Z
轴升降调节台带动样品台升降调节移动，还能够使不同待检样品的上表面的高度统一保持于指定的高度，从而能避免台阶仪的其他检测部件需要进行较大幅度的高度调整，有利于保证台阶仪的检测效率
。
[0010]在其中一个实施例中，所述
Z
轴升降调节台及所述移动扫描台依次连接在所述样品台与所述基面之间
。
[0011]在其中一个实施例中，所述
Z
轴升降调节台包括连接于所述基面的
Z
轴座体
、
沿所述竖直方向滑动连接于所述
Z
轴座体的升降板
、
沿水平方向滑动连接于所述
Z
轴座体的斜推块及连接于所述
Z
轴座体的平移驱动件；所述升降板连接于所述样品台；所述平移驱动件用于驱动所述斜推块相对所述
Z
轴座体移动；所述升降板与所述斜推块之间沿斜向路径相对滑动设置
。
[0012]在其中一个实施例中，所述斜向路径与预定平面之间的夹角小于
45
度
。
[0013]在其中一个实施例中，所述
Z
轴升降调节台还包括斜向滑轨，所述斜向滑轨连接在所述斜推块与所述升降板之间，所述斜向滑轨平行于所述斜向路径
。
[0014]在其中一个实施例中，所述
Z
轴升降调节台还包括竖向滑轨，所述竖向滑轨平行于所述竖直方向；所述竖向滑轨连接于所述升降板与所述
Z
轴座体之间
。
[0015]在其中一个实施例中，所述样品台设有若干吸孔，所述吸孔用于对所述待检样品施加真空吸力
。
[0016]一种台阶仪，包括检测承载装置
。
[0017]在其中一个实施例中，所述台阶仪还包括主摄像件，所述主摄像件设置于所述检测承载装置上方；所述主摄像件用于获取所述样品台上的待检样品的影像信息
。
[0018]在其中一个实施例中，所述台阶仪还包括微动力台及连接于所述微动力台的探针；所述微动力台用于带动所述探针相对所述待检样品移动，直至所述探针与所述待检样品接触
。
附图说明
[0019]图1为本申请的一实施例的台阶仪的立体示意图
。
[0020]图2为图1所示的台阶仪的局部分解示意图，工作台已局部隐藏
。
[0021]图3为图2所示的台阶仪的
A
处放大图
。
[0022]图4为图2所示的台阶仪中的检测承载装置的分解示意图
。
[0023]图5为图4所示的台阶仪中的
Z
轴升降调节台的分解示意图
。
[0024]图6为图4所示的台阶仪中的
Z
轴升降调节台在另一角度的分解示意图
。
[0025]附图标记：
100、
台阶仪；
20、
检测承载装置；
21、
样品台；
211、
吸孔；
212、
旋转座体；
213、
样品载板；
214、
旋转驱动件；
22、
初步调节台；
23、
移动扫描台；
230、
基板；
231、
滑动板；
232、
侧板；
233、
同步带；
24、Z
轴升降调节台；
241、Z
轴座体；
242、
升降板；
243、
斜推块；
244、
平移驱动件；
245、
传动模组；
246、
斜向滑轨；
247、
竖向滑轨；
248、
水平滑轨；
30、
主摄像件；
31、
感光端；
40、
工作台；
41、
支架；
42、
基面；
50、
微动力台；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种检测承载装置，安装于基面，所述检测承载装置处于主摄像件的下方，其特征在于，包括：样品台，用于放置待检样品；所述样品台处于所述主摄像件的下方；移动扫描台，连接于所述样品台与所述基面之间；所述移动扫描台用于在所述待检样品的扫描检测阶段带动所述样品台沿预定方向相对所述基面移动；及
Z
轴升降调节台，连接于所述样品台与所述基面之间；所述
Z
轴升降调节台用于带动所述样品台沿竖直方向相对所述主摄像件升降移动
。2.
根据权利要求1所述的检测承载装置，其特征在于，所述
Z
轴升降调节台及所述移动扫描台依次连接在所述样品台与所述基面之间
。3.
根据权利要求1所述的检测承载装置，其特征在于，所述
Z
轴升降调节台包括连接于所述基面的
Z
轴座体
、
沿所述竖直方向滑动连接于所述
Z
轴座体的升降板
、
沿水平方向滑动连接于所述
Z
轴座体的斜推块及连接于所述
Z
轴座体的平移驱动件；所述升降板连接于所述样品台；所述平移驱动件用于驱动所述斜推块相对所述
Z
轴座体移动；所述升降板与所述斜推块之间沿斜向路径相对滑动设置
。4.<...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈瑶，程元元，李智斌，周泳，
申请(专利权)人：松山湖材料实验室，
类型：新型
国别省市：