一种多端输出薄膜气敏传感器制造技术

本发明专利技术公开一种多端输出薄膜气敏传感器，同时集成电导信号拾取电极和电容信号拾取电极来获取气体敏感膜上的信号。所述的电导信号拾取电极可以获取气体敏感膜上的电导信号，环形叉指电容信号拾取电极可以获取气体敏感膜上的电容信号。所述环形叉指电容信号拾取电极同时可以作为加热丝，电极上通过电流时产生的电导热可对气体敏感膜进行加热。该气敏传感器集成电导信号和电容信号拾取电极，可同时对电导敏感型和电容敏感型气体进行检测，气敏的选择性和检测精度得到极大的增强。环形叉指电容电极加热，使得吸附的气体短时间内脱附，传感器得以快速恢复到初态，提高传感器的稳定性。同时这种新结构的传感器制造工艺简单，重复性好，灵敏度高，功耗低，生产成本低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种传感器，特别涉及一种多端输出薄膜气敏传感器。
技术介绍
气敏传感器，又称气体传感器，是指利用各种化学、物理效应将气体成分、浓度按照一定的规律转换成电信号输出的传感器件，是化学传感器中最活跃的一种，广泛应用于 环保、医疗、卫生、煤矿安全、工业、军事等领域，用来检测和鉴别易燃、易爆、有毒气体、工业 废气、汽车尾气和环境保护气体等。常见的薄膜气敏传感器，输出为某一种电参量输出，比如电导或者电容等。有些气 体在气敏材料吸附后引起材料的电导发生明显变化，而有些气体则引起材料的电容有很大 变化。因此在进行器件设计时，常常需要考虑被测气体和材料特性。本专利技术在同一个器件 结构上同时设计两种电参量输出，对于电导型气体和材料可以提取其主要电导参量，同时 提取其次要电容参量作为补充。而对于电容型气体和材料可以提取其主要电容参量，同时 提取其次要电导参量作为补充。在后端数据辨识系统中，可以通过两种主要参量和次要参 量，来准确识别气体种类和浓度值。本专利技术的意义在于通过多数据获取来确定唯一变量，可以实现高精度、高可靠性测量。
技术实现思路
本专利技术实现一种多端输出薄膜气敏传感器，采用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多端输出薄膜气敏传感器，包括传感器的绝缘衬底（９）、薄膜电极层（１１）、气体敏感膜（１０），其特征在于，以绝缘材料作为传感器的绝缘衬底（９），通过直流磁控溅射在绝缘衬底上淀积金属薄膜，接着采用光刻工艺形成薄膜电极层（１１），在薄膜电极层（１１）上面设置气体敏感膜（１０）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李昕，左曙，刘卫华，贺永宁，朱长纯，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：87[中国|西安]