一种碲化合物旋转靶材的制备方法技术

本发明专利技术属于溅射靶材制备领域，公开了一种碲化合物旋转靶材的制备方法

【技术实现步骤摘要】
一种碲化合物旋转靶材的制备方法


[0001]本专利技术属于溅射靶材制备领域，涉及一种碲化合物旋转靶材的制备方法
。

技术介绍

[0002]碲化合物（
tellurides
）是一类由碲与其他元素形成的化合物
。
它们的化学式通常为
M
x
Te
y
（
M
代表其他金属元素），其中
x
和
y
通常是整数
。
碲化合物在某些方面类似于硫化物和硒化物，常见于矿物中
。
一些常见的碲化合物包括氧化铅碲（
PbTe
）
、
铋碲（
Bi2Te3）
、
锗碲（
GeTe
）
、
锌碲（
ZnTe
）
、
铝碲（
Al2Te3）等
。
这些化合物具有重要的电学
、
热学
、
光学和磁学性质，因此在电子学<br/>、
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种碲化合物旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）将碲化合物粉末装入模具，放入真空热压炉内依次进行冷压和真空加热反应，得碲化合物锭；具体的：冷压压力为
20~30MPa
；真空热压反应为：升温至
350~400℃
，保温
30~45min
，然后升温至
0.5T~0.9T
，热压压力为
60~100Mpa
，保温保压
60~90min
；其中，
T
为碲化合物的熔点；（2）使用加工机床将步骤（1）所得碲化合物锭进行掏孔加工，得旋转靶材圆筒，将旋转靶材圆筒一节一节绑定在背管上，清洗
、
干燥后，得碲化合物旋转靶材
。2.
如权利要求1所述的碲化合物旋转靶材的制备方法，其特征在于，步骤（1）中，真空热压反应为：以
8~15℃/min
升温至
350~400℃
，保温
30~45min

【专利技术属性】
技术研发人员：文崇斌，朱刘，童培云，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：