一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置，包括：太阳轮轴；太阳轮座，其固接于所述太阳轮轴上；传扭套，其固接于所述太阳轮座的外部，且与所述太阳轮座之间形成有环形间隙；外螺母，其固接于所述太阳轮座的底部，用于螺纹连接内螺母；太阳轮，其与所述内螺母相固接，且所述太阳轮的顶部具有延伸环，所述延伸环容置于所述环形间隙中；以及转动驱动机构，其底部可拆卸的嵌于所述太阳轮座中，且用于驱动所述太阳轮转动

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置


[0001]本专利技术涉及双面抛光机
，具体是一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置
。

技术介绍

[0002]在晶圆抛光时，需要用到双面抛光机，而双面抛光机在使用过程中，游星轮放置在下抛光盘上并与齿圈和太阳轮啮合，由于抛光盘的高度位置恒定不动，这将导致游星轮与太阳轮啮合位置也是恒定的，随着加工时间的推移，长时间同一位置啮合，将导致太阳轮啮合部位磨损，游星轮一般很薄，厚度一般从零点零几毫米到几毫米，实际应用大部分集中在零点几毫米厚度范围内，而太阳轮厚度一般有几十毫米，长时间同一位置啮合，太阳轮很快就会被磨出沟槽
。
[0003]为了延长太阳轮的使用寿命，要避免太阳轮与游星轮在同一高度位置啮合，因此，太阳轮轮高度要可以调节，尽量让太阳轮高度尺寸全部参与啮合，这将大大延长太阳轮的使用寿命；而现有的太阳轮高度调节装置往往为人工拆卸一些部件后对其进行高度调节，较为繁琐，且调节精度低
。
[0004]因此，需要开发一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置以解决上述问题
。

技术实现思路

[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置，包括：
[0006]太阳轮轴；
[0007]太阳轮座，其固接于所述太阳轮轴上；
[0008]传扭套，其固接于所述太阳轮座的外部，且与所述太阳轮座之间形成有环形间隙；
[0009]外螺母，其固接于所述太阳轮座的底部，用于螺纹连接内螺母；
[0010]太阳轮，其与所述内螺母相固接，且所述太阳轮的顶部具有延伸环，所述延伸环容置于所述环形间隙中；以及
[0011]转动驱动机构，其底部可拆卸的嵌于所述太阳轮座中，且用于驱动所述太阳轮转动
。
[0012]进一步，作为优选，所述传扭套上开设有周向等间距设置的多个长圆槽，所述太阳轮上固接有周向等间距设置的多个传扭块，所述传扭块中采用弹簧可复位的插接有传扭螺钉，在弹簧作用下，所述传扭螺钉能够插接于所述长圆槽中
。
[0013]进一步，作为优选，所述延伸环与太阳轮座之间的基孔制配合为
H7/g6。
[0014]进一步，作为优选，所述传扭套能够对太阳轮形成上限位，所述太阳轮座能够对内螺母形成上限位
。
[0015]进一步，作为优选，所述转动驱动机构包括：
[0016]卡盘，其可拆卸的卡接于所述太阳轮座中，且所述卡盘的内部设置有第一电机；
[0017]基板，其由所述第一电机驱动；以及
[0018]多个对应于所述传扭块的夹板，所述夹板上设置有用于夹持所述传扭块的爪体，所述夹板上开设有对应于所述传扭螺钉的让位通槽，所述让位通槽的一侧设置有磁吸器
。
[0019]进一步，作为优选，所述传扭块为矩形结构，所述爪体为弧形结构，所述弧形结构的弧长大于所述传扭块的长度，所述爪体的表面粘附有增阻垫
。
[0020]进一步，作为优选，所述夹板上开设有滑槽，用于限位滑动连接所述爪体，所述爪体与所述滑槽之间设置有弹性复位垫，初始阶段，所述爪体位于所述滑槽的中部
。
[0021]进一步，作为优选，所述转动驱动机构还包括：
[0022]转板，其转动设置于所述基板上，且由第二电机驱动；
[0023]多个对应于传扭块的转臂，其一端与转板铰接；以及
[0024]多个对应于转臂的滑轨，用于滑动连接移动臂，所述移动臂铰接至所述转臂上，所述移动臂还与所述夹板相连
。
[0025]进一步，作为优选，所述卡盘的表面固定有卡块，所述太阳轮座的内表面开设有对应于所述卡块的卡槽
。
[0026]与现有技术相比，本专利技术提供了一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置，具备以下有益效果：
[0027]本专利技术实施例中，双面抛光机太阳轮具备高度调节功能，可以避免集中一个位置啮合导致局部过度磨损而缩短寿命；本专利技术实施例中，太阳轮高度调节采用了螺母结构，通过旋转与太阳轮固结的内螺母，使太阳轮高度位置发生变化，调节精度高，调节方便，不需要拆除太阳轮等零件即可调整；而由于螺母存在间隙，为了消除间隙带来的不利影响，本专利技术实施例中，延伸环与太阳轮座之间可构成导向装置，保证太阳轮自身精度，确保太阳轮与游星轮能正确啮合
。
附图说明
[0028]图1为一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置的立体结构示意图；
[0029]图2为图1的下半部分立体结构示意图；
[0030]图3为图1的下半部分平面结构示意图；
[0031]图4为图1的上半部分立体结构示意图；
[0032]图5为图1的上半部分平面示意图；
[0033]图中：
1、
太阳轮；
2、
内螺母；
3、
外螺母；
4、
传扭套；
5、
太阳轮座；
6、
太阳轮轴；
7、
传扭螺钉；
8、
传扭块；
9、
游星轮；
10、
长圆槽；
11、
夹板；
12、
爪体；
13、
磁吸器；
14、
卡盘；
15、
基板；
16、
转板；
17、
转臂；
18、
移动臂；
19、
卡块；
20、
滑轨；
21、
让位通槽；
22、
第二电机；
23、
滑槽
。
具体实施方式
[0034]实施例：请参照图1‑5，本专利技术实施例中，提供了一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置，包括：
[0035]太阳轮轴6；
[0036]太阳轮座5，其固接于所述太阳轮轴6上；
[0037]传扭套4，其固接于所述太阳轮座5的外部，且与所述太阳轮座5之间形成有环形间
隙；
[0038]外螺母3，其固接于所述太阳轮座5的底部，用于螺纹连接内螺母2；
[0039]太阳轮1，其与所述内螺母2相固接，且所述太阳轮1的顶部具有延伸环，所述延伸环容置于所述环形间隙中；以及
[0040]转动驱动机构，其底部可拆卸的嵌于所述太阳轮座5中，且用于驱动所述太阳轮1转动
。
[0041]本实施例中，通过驱动所述太阳轮1相对于外螺母3转动，即可使得所述内螺母2同步转动，而内螺母2与外螺母3螺纹相连，因此，在转动内螺母2的同时，内螺母相对外螺母3在轴向上也产生了移动；
[0042]也即，在驱动所述太阳轮1相对于外螺母3转动的过程中，即可实现对太阳轮1的轴向位置调节，也即高度调节，这种调节避免了太阳轮与游星轮9长时间在同一高度位置啮合，有利于延长太阳轮的使用寿命
。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置，其特征在于：包括：太阳轮轴（6）；太阳轮座（5），其固接于所述太阳轮轴（6）上；传扭套（4），其固接于所述太阳轮座（5）的外部，且与所述太阳轮座（5）之间形成有环形间隙；外螺母（3），其固接于所述太阳轮座（5）的底部，用于螺纹连接内螺母（2）；太阳轮（1），其与所述内螺母（2）相固接，且所述太阳轮（1）的顶部具有延伸环，所述延伸环容置于所述环形间隙中；以及转动驱动机构，其底部可拆卸的嵌于所述太阳轮座（5）中，且用于驱动所述太阳轮（1）转动
。2.
根据权利要求1所述的一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置，其特征在于：所述传扭套（4）上开设有周向等间距设置的多个长圆槽（
10
），所述太阳轮（1）上固接有周向等间距设置的多个传扭块（8），所述传扭块（8）中采用弹簧可复位的插接有传扭螺钉（7），在弹簧作用下，所述传扭螺钉（7）能够插接于所述长圆槽（
10
）中
。3.
根据权利要求1所述的一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置，其特征在于：所述延伸环与太阳轮座（5）之间的基孔制配合为
H7/g6。4.
根据权利要求1所述的一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置，其特征在于：所述传扭套（4）能够对太阳轮（1）形成上限位，所述太阳轮座（5）能够对内螺母形成上限位
。5.
根据权利要求2所述的一种晶圆双面抛光机的太阳轮高度调节装置，其特征在于：所述转动驱动机构包括：卡盘（
14
），其可拆卸的卡接于所述太阳轮座（5）中，且所述卡盘（
14
）的内部设置有第一电机；基板（
15
），其由所述第一电机驱动；以及多个对应于所述传扭块（8）的夹板（
11
），所述夹板（
11
）上设置有用于夹持所述传扭块（8）的爪体（
12
），所述夹板（
11
）上开设有对应于所述传扭螺钉（7）的让位通槽（
21
），所述让位通槽（
21<...

【专利技术属性】
技术研发人员：任明元，梁春，刘文平，强彦东，张景斌，文科，
申请(专利权)人：苏州博宏源机械制造有限公司，
类型：发明
国别省市：