【技术实现步骤摘要】
一种超纯水恒温节能控制装置
[0001]本技术涉及超纯水装置
,具体是一种超纯水恒温节能控制装置
。
技术介绍
[0002]超纯水,即纯度极高的水,集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗
、
光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等,此外,其他固态电子器件
、
厚膜和薄膜电路
、
印刷电路
、
真空管等的制作也都要使用超纯水
。
而使用超纯水的设备对水温度要求非常严格
。
[0003]现有的可参考授公告号为:
CN202813792U
的中国技术专利,其公开了一种超纯水恒温节能控制装置,通过配合利用
PID
控制仪
、
可控硅整流器
、
水位计
、
电加热棒和热传感器,在使用过程中,往
PID
控制仪内预先设定温度限值,通过热传感器把实时水温度传送给
PID
控制仪,通过运算得出一个加热速率值模拟量,通过数模转换为数字量,反馈到可控硅整流器,可控硅整流器根据反馈信息控制电加热棒对水进行加热,使得水的温度维持在设定温度附近,本技术充分利用了
PID
控制仪的调节功能,供水温度稳定性高
、
应用简单
、
成本低
、
节能
、
占地面积小,可以有效解决传统加热系统的一系列问题
。
[0004]但是上述的超
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种超纯水恒温节能控制装置,其特征在于,包括:加热箱
(1)
,固定连接于所述加热箱
(1)
顶端左侧中部位置的进水口
(2)
,固定连接于所述加热箱
(1)
后端壁下方的出水口
(3)、
设置于所述加热箱
(1)
内部的清洁机构
(4)、
设置于所述加热箱
(1)
后端上方的加热机构
(5)、
设置于所述加热箱
(1)
左侧的辅助机构
(6)、
设置于所述进水口
(2)
上方的纯度测试机构
(7)
;所述清洁机构
(4)
包括:固定安装于所述加热箱
(1)
顶端中心处的电机
(401)、
固定连接于所述电机
(401)
输出端的转动轴
(402)、
且转动轴
(402)
的一端贯穿至加热箱
(1)
的内部并与加热箱
(1)
内部底端经过轴承转动连接
、
固定连接于所述转动轴
(402)
外表面上部的第一刮杆
(403)、
设置于所述第一刮杆
(403)
一侧的第一清洁刷
(404)、
固定连接于所述转动轴
(402)
外表面下方的第二刮杆
(405)、
设置于所述第二刮杆
(405)
底端的第二清洁刷
(406)。2.
根据权利要求1所述的一种超纯水恒温节能控制装置,其特征在于,所述加热机构
(5)
包括:固定设置于所述转动轴
(402)
外表面中部的加热棒
(501)、
固定安装于所述加热箱
(1)
内部顶端偏右侧的温度传感器
(502)、
...
【专利技术属性】
技术研发人员:王雪云,
申请(专利权)人:杭州保恒恒温技术有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。