大尺寸片状蓝宝石晶体的生长方法技术

本发明专利技术涉及蓝宝石晶体的制造技术，具体是一种大尺寸片状蓝宝石晶体的生长方法。其晶体生长过程在单晶生长炉内进行，炉内设置坩埚和导模，晶体生长过程依次包括蓝宝石原料加热、引晶、放肩、等径提拉及冷却步骤；所述单晶生长炉中设置可通入和排出保护气体的保护气体进出气系统和可控制炉内压力的压力控制系统；在蓝宝石原料加热、引晶、放肩、等径提拉步骤中在炉内通入保护气体，通过保护气体进出气系统使炉内保护气体形成流动气体，其进气流量为０．１－５０ｓｌｐｍ，同时通过压力控制系统使炉内压压力为１００ｐａ－９０ｋｐａ。本发明专利技术能够直接生长形成较大尺寸的片状蓝宝石晶体、制造工序简单、材料利用率高、制造成本低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蓝宝石晶体的制造技术，具体是一种大尺寸片状蓝宝石晶体的生长方 法。
技术介绍
蓝宝石(a -氧化铝)晶体材料是无色透明单晶材料。由于蓝宝石晶体与氮化镓 具有相似结构，与硅的热膨胀系数相近以及有很好的抗紫外线性能，因此在LED、SOS集成 电路、卫星空间技术等方面得到广泛应用。蓝宝石晶体在可见光到5. 6um光谱范围内具有良好的透过性能被用于许多测量 分析仪器的光学窗口材料。蓝宝石晶体的各向异性，被应用于波导激光腔体、声表面波滤波 器、延迟线、超声波传导元件；蓝宝石晶体的硬度(莫氏度9)仅次于金刚石，他具有硬度和 强度高、抗磨损、耐高温能力强的特点以及化学性质稳定，耐酸碱腐蚀等一系列特性，被广 泛应用于高功率激光窗口、耐高温、高压、耐高速摩擦、耐强腐蚀等容器或真空容器的观察 窗和光学窗口以及投影仪的散热板等；各种形状的蓝宝石晶体如方形、弧形、三角形、椭圆 形被广泛用于无磁性支撑架，高温绝缘材料，隔离架，扫描仪面板等。而且使用尺寸越来越 大。因此大尺寸的蓝宝石晶体材料是许多行业所急需的材料。目前蓝宝石晶体生长的主要方法有火焰法、提拉法、泡生法、热交换法和导向温 梯法等。上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大尺寸片状蓝宝石晶体的生长方法，其晶体生长过程在单晶生长炉内进行，炉内设置坩埚和导模；晶体生长过程依次包括蓝宝石原料加热、引晶、放肩、等径提拉及冷却步骤；其特征是：所述单晶生长炉中设置可通入和排出保护气体的保护气体进出气系统和可控制炉内压力的压力控制系统；在蓝宝石原料加热、引晶、放肩、等径提拉步骤中在炉内通入保护气体，通过保护气体进出气系统使炉内保护气体形成流动气体，其进气流量为０．１－５０ｓｌｐｍ，同时通过压力控制系统使炉内压压力为１００ｐａ－９０ｋｐａ。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：丁盱洁，
申请(专利权)人：镇江市丹徒区黄墟润蓝晶体制造厂，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]