一种安全性高的退火炉制造技术

本实用新型专利技术提供一种安全性高的退火炉，涉及退火炉技术领域，包括底座，所述底座的顶端滑动连接有退火炉本体，所述退火炉本体的外表面安装有温度传感器，所述退火炉本体的顶端安装有控制器，所述退火炉本体的外表面一侧开设有观察槽，所述底座的顶端均固定安装有固定块与滑轨，所述滑轨的顶端滑动连接有放置板，所述放置板的外表面一侧固定安装有把手，所述放置板的顶端固定安装有防护栏，所述放置板的底端固定安装有滑轮，所述退火炉本体的内表面安装有加热管，所述底座的顶端开设有卡槽，所述卡槽的内侧滑动连接有卡块，本实用新型专利技术中，通过在退火炉上加装了防护栏，使退火炉的安全性得到提升，提高了退火炉的工作效率

【技术实现步骤摘要】
一种安全性高的退火炉


[0001]本技术涉及退火炉
，尤其涉及一种安全性高的退火炉
。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底
。
[0003]公开号
CN207632838U
公开了一种退火炉，包括炉体，所述炉体的底部设有支撑腿，所述支撑腿的底部设有防滑垫，所述炉体的一侧设有开口，所述开口处设有炉门，所述炉门一侧设有转轴，所述转轴与所述开口一侧活动连接，所述炉门的另一侧设有若干个压块，所述炉体上设有与所述压块相配合的弹性件，所述炉体内部设有炉膛，所述炉体与所述炉膛之间设有保温内衬，所述保温内衬的底部及两侧各设有若干组滚动机构，所述滚动机构包括固定板，所述固定板与所述保温内衬固定连接，所述固定板的下方设有滚轮架，所述滚轮架上设有滚轮，所述炉体内部壳体上设有与所述滚动机构相匹配的滑道
。
虽然该装置结构简单，保温内衬方便安装拆卸，操作方便快捷，但是没有在该装置上设置防护结构，在使用退火炉的过程中，物料容易从支撑板上滑落，从而影响退火炉的正常使用，具有安全隐患，并且该装置的密封性会影响退火炉的工作效率，所以需要进行改进
。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种安全性高的退火炉
。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种安全性高的退火炉，包括底座，所述底座的顶端滑动连接有退火炉本体，所述退火炉本体的外表面安装有温度传感器，所述退火炉本体的顶端安装有控制器，所述底座的顶端均固定安装有固定块与滑轨，所述滑轨的顶端滑动连接有放置板，所述放置板的顶端固定安装有防护栏，所述放置板的底端固定安装有滑轮，所述退火炉本体的内表面安装有加热管，所述底座的顶端开设有卡槽，所述卡槽的内侧滑动连接有卡块
。
[0006]为了方便对退火炉的内部进行观察，本技术改进有，所述退火炉本体的外表面一侧开设有观察槽
。
[0007]为了方便对放置板进行固定，本技术改进有，所述固定块的外表面一侧
、
放置板的外表面一侧与放置板的外表面另一侧
、
退火炉本体的外表面一侧均固定安装有磁块，所述磁块之间互相吸附
。
[0008]为了方便放置板的移动，本技术改进有，所述放置板的外表面一侧固定安装有把手
。
[0009]为了方便提高退火炉的密封性，本技术改进有，所述底座的顶端固定安装有
密封块，所述密封块为橡胶材质
。
[0010]为了方便拉杆的移动，本技术改进有，所述卡块的外表面一侧开设有固定槽，所述底座的外表面两侧均开设有滑槽，所述滑槽的内侧滑动连接有拉杆
。
[0011]为了方便对拉杆进行限位，本技术改进有，所述滑槽的内表面一端固定安装有限位块，所述拉杆的外表面一端固定安装有顶块，所述顶块的外表面一端固定安装有弹簧
。
[0012]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于：
[0013]1、
本技术中，在使用退火炉的过程中，通过设置了底座
、
退火炉本体
、
温度传感器
、
控制器
、
固定块
、
滑轨
、
放置板
、
防护栏
、
滑轮
、
密封块
、
加热管
、
卡槽
、
卡块，能通过温度传感器，实现对于退火炉温度的检测功能，通过固定块，实现对于放置板位置的限位功能，通过滑轨，实现对于滑轮位置的限位功能，通过放置板，实现对于物料的放置功能，通过防护栏，实现对于退火炉的防护功能，通过密封块，实现对于退火炉的密封功能，通过卡槽与卡块，实现对于退火炉位置的限位功能，该结构稳定性强，并通过防护栏使退火炉的安全性得到提升，提高了退火炉的工作效率
。
[0014]2、
本技术中，在使用退火炉的过程中，通过设置了滑槽
、
拉杆
、
顶块
、
弹簧，能通过滑槽，实现对于拉杆位置的移动功能，通过顶块，实现对于弹簧位置的移动功能，该结构稳定性强，并通过拉杆给退火炉的维护提供了便捷，减少了工作人员的工作量
。
附图说明
[0015]图1为本技术提出一种安全性高的退火炉的示意图；
[0016]图2为本技术提出一种安全性高的退火炉的爆炸图；
[0017]图3为本技术提出一种安全性高的退火炉的剖视图；
[0018]图4为本技术提出一种安全性高的退火炉的图3中
A
处放大图
。
[0019]图例说明：
[0020]1、
底座；
2、
退火炉本体；
3、
温度传感器；
4、
控制器；
5、
固定块；
6、
滑轨；
7、
放置板；
8、
防护栏；
9、
滑轮；
10、
密封块；
11、
加热管；
12、
卡槽；
13、
卡块；
14、
滑槽；
15、
拉杆；
16、
顶块；
17、
弹簧
。
具体实施方式
[0021]为了能够更清楚地理解本技术的上述目的
、
特征和优点，下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明
。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合
。
[0022]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制
。
[0023]实施例一
[0024]请参阅图1‑2，本技术提供一种技术方案：一种安全性高的退火炉，包括底座1，底座1的顶端滑动连接有退火炉本体2，退火炉本体2的外表面一侧开设有观察槽，通过观察槽可以对退火炉的内部进行观察，退火炉本体2的外表面安装有温度传感器3，退火炉本
体2的顶端安装有控制器4，底座1的顶端均固定安装有固定块5与滑轨6，通过滑轨6可以对滑轮9进行限位，滑轨6的顶端滑动连接有放置板7，放置板7的外表面一侧固定安装有把手，通过把手方便了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种安全性高的退火炉，包括底座
(1)
，其特征在于：所述底座
(1)
的顶端滑动连接有退火炉本体
(2)
，所述退火炉本体
(2)
的外表面安装有温度传感器
(3)
，所述退火炉本体
(2)
的顶端安装有控制器
(4)
，所述底座
(1)
的顶端均固定安装有固定块
(5)
与滑轨
(6)
，所述滑轨
(6)
的顶端滑动连接有放置板
(7)
，所述放置板
(7)
的顶端固定安装有防护栏
(8)
，所述放置板
(7)
的底端固定安装有滑轮
(9)
，所述退火炉本体
(2)
的内表面安装有加热管
(11)
，所述底座
(1)
的顶端开设有卡槽
(12)
，所述卡槽
(12)
的内侧滑动连接有卡块
(13)。2.
根据权利要求1所述的安全性高的退火炉，其特征在于：所述退火炉本体
(2)
的外表面一侧开设有观察槽
。3.
根据权利要求1所述的安全性高的退火炉，其特征在于：所述固定块
...

【专利技术属性】
技术研发人员：武立伟，许胜雅，王哲，许胜律，
申请(专利权)人：河北硕皓金属制品有限公司，
类型：新型
国别省市：