用于硼扩设备的推拉舟系统及硼扩设备技术方案

本发明专利技术提供了一种用于硼扩设备的推拉舟系统及硼扩设备，该推拉舟系统包括固定传动结构

【技术实现步骤摘要】
用于硼扩设备的推拉舟系统及硼扩设备


[0001]本专利技术涉及硼扩设备的
，尤其涉及一种用于硼扩设备的推拉舟系统及硼扩设备
。

技术介绍

[0002]硼扩设备是
TOP Con
电池的整个工艺流程的重要设备之一
。TOP Con
电池是光伏晶硅电池的一种
。
[0003]现有小管径硼扩设备，使用单排舟推拉舟系统，即托举碳化硅桨，桨上搭载单排石英舟，石英舟上已经插入电池硅片，将整套物料平移输送至圆筒炉体内进行硼扩工艺，待工艺结束后将整套物料输送回原位的系统
。
现有主流小管径内径为
400。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为现有的单排舟推拉舟系统较难满足产能需求，且因产能需求增加，对于单排舟推拉舟系统结构的稳定性和安全性也有了进一步的需求
。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是使推拉舟系统能够满足产能需求，增加产能，且提高推拉舟系统结构的稳定性和安全性，以达到满足推拉舟系统结构的稳定性和安全性需求
。
[0006]为实现上述目的，第一方面，本专利技术提供一种用于硼扩设备的推拉舟系统，包括固定传动结构
、
多排式石英舟以及多个碳化硅桨；所述多排式石英舟用于搭载硅片，且所述多排式石英舟同时承载在多个所述碳化硅桨上；所述固定传动结构用于输送所述碳化硅桨；所述固定传动结构包括承载板和加强支撑组件；所述承载板设置在所述加强支撑组件上；多个所述碳化硅桨均设置在所述承载板上
。
[0007]优选的，所述固定传动结构还包括滑台模组；所述加强支撑组件包括托架固定板
、
加强筋以及加强支撑座；所述托架固定板滑动设置在所述滑台模组上；所述加强筋和所述加强支撑座连接托架固定板，所述加强筋和所述加强支撑座共同支撑所述承载板
。
[0008]优选的，所述加强支撑组件还包括托架第一调节板和托架固定调节板；所述承载板为托架第二调节板；所述加强筋和加强支撑座通过托架第一调节板连接托架固定板；所述加强筋和加强支撑座固定设置在托架第一调节板上；所述托架第一调节板与所述托架固定板之间通过相对位移可调结构进行固定；所述托架第二调节板通过托架固定调节板连接托架第一调节板；所述托架固定调节板固定连接托架第一调节板；所述托架第二调节板与托架固定调节板之间通过相对位移可调结构进行固定
。
[0009]优选的，该系统还包括调节结构；所述调节结构包括多组升降组件；各组所述升降组件包括丝杆副
、
丝母座
、
转动驱动件
、
安装座
、
转动固定座以及立板；所述丝母座固定连接滑台模组的背板；所述丝母座与丝杆副的螺母固定连接；所述丝杆副的丝杆和丝杆副的螺母螺纹连接；所述转动驱动件的驱动端连接丝杆副的丝杆的一端；所述丝杆副的丝杆的另一端转动连接转动固定座；所述转动驱动件设置在转动安装座上；所述安装座和转动固定
座通过立板固定连接；各组所述升降组件上分别设置有联轴器；相邻所述升降组件上的联轴器之间连接有连接杆
。
[0010]优选的，所述调节结构还包括导向组件；所述导向组件包括导向件
、
连接固定座
、
导向固定块以及升降导轨；所述导向件套设在升降导轨上；所述导向件和升降导轨滑动连接；所述导向件与连接固定座之间通过相对位移可调结构进行固定；所述连接固定座固定连接滑台模组的背板；所述导向固定块用于将导向件锁定在所述升降导轨上
。
[0011]优选的，所述调节结构还包括检测组件；所述检测组件包括调节杆
、
调节杆座
、
旋转块
、
传感器安装板以及传感器；所述调节杆座与滑台模组之间通过相对位移可调结构进行固定；所述调节杆与调节杆座之间通过相对位移可调结构进行固定；所述旋转块与调节杆之间通过相对旋转可调结构进行固定；所述传感器安装板固定连接旋转块；所述传感器设置在传感器安装板上，且传感器用于检测多排式石英舟是否到位
。
[0012]优选的，该系统还包括炉门桨固定结构；所述炉门桨固定结构包括桨固定结构；所述桨固定结构包括炉门
、
炉门管
、
波纹管
、
垫板以及多组支撑调节结构；所述支撑调节结构包括多个卡块；所述炉门位于碳化硅桨上；所述炉门管的一端设置在炉门背离多排式石英舟的侧面；所述炉门管的另一端连接波纹管；所述炉门管和波纹管套设在碳化硅桨上，且波纹管与碳化硅桨之间通过垫板连接；每组所述支撑调节结构中，多个卡块共同将垫板和碳化硅桨卡接在一起
。
[0013]优选的，所述炉门桨固定结构还包括炉门固定结构；所述炉门固定结构包括调节轴
、
炉门调节板
、
轴向挡圈
、
挡圈固定块以及弹性件；所述调节轴连接炉门背离多排式石英舟的侧面；所述调节轴滑动穿设炉门调节板；所述炉门调节板固定设置在承载板上；所述挡圈固定块固定设置在调节轴上，且挡圈固定块位于炉门调节板和炉门之间；所述轴向挡圈滑动穿设调节轴，且轴向挡圈位于挡圈固定块与炉门调节板之间；所述弹性件滑动穿设调节轴，且弹性件位于轴向挡圈与炉门调节板之间；所述挡圈固定块上设置有用于驱动轴向挡圈调节弹性件弹力的调节件
。
[0014]优选的，所述炉门固定结构还包括隔热包以及隔热板；所述隔热板设置在炉门朝向多排式石英舟的侧面；所述隔热包设置在多排式石英舟和隔热板之间
。
[0015]优选的，所述调节轴设置为至少三个，且各所述调节轴呈三角形分布
。
[0016]优选的，所述炉门固定结构还包括限位件
、
炉门支撑板
、
固定轴承以及固定套；所述炉门支撑板固定设置在承载板上；所述调节轴滑动穿设固定轴承；所述固定轴承与炉门支撑板固定连接；所述固定套与炉门调节板固定连接，且炉门调节板通过固定套与调节轴滑动连接；所述固定轴承和固定套固定连接；所述炉门支撑板位于所述炉门调节板上背离所述炉门的一侧；所述限位件固定设置在调节轴上；所述限位件位于所述炉门支撑板上背离所述炉门调节板的一侧，且限位件能够抵接炉门支撑板
。
[0017]第二方面，本专利技术提供一种硼扩设备，包括机架和如第一方面任一所述的用于硼扩设备的推拉舟系统；该推拉舟系统安装在所述机架上
。
[0018]相对于现有技术，本专利技术的有益效果在于：
[0019]1、
本专利技术通过使用多排式石英舟来承载硅片，增加产能，满足产能需求，由于石英舟重量增加，通过加强支撑组件和承载板对碳化硅桨和多排式石英舟进行支撑承载，提高了推拉舟系统结构的稳定性和安全性，达到满足推拉舟系统结构的稳定性和安全性需求；
[0020]2、
本专利技术通过利用杠杆原理的支撑调节结构，炉门管和波纹管套设在碳化硅桨上，垫板设置在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于硼扩设备的推拉舟系统，其特征在于，包括固定传动结构
、
多排式石英舟以及多个碳化硅桨；所述多排式石英舟用于搭载硅片，且所述多排式石英舟同时承载在多个所述碳化硅桨上；所述固定传动结构用于输送所述碳化硅桨；所述固定传动结构包括承载板和加强支撑组件；所述承载板设置在所述加强支撑组件上；多个所述碳化硅桨均设置在所述承载板上
。2.
根据权利要求1所述的用于硼扩设备的推拉舟系统，其特征在于，所述固定传动结构还包括滑台模组
(1)
；所述加强支撑组件包括托架固定板
、
加强筋
(8)
以及加强支撑座；所述托架固定板滑动设置在所述滑台模组
(1)
上；所述加强筋
(8)
和所述加强支撑座连接托架固定板，所述加强筋
(8)
和所述加强支撑座共同支撑所述承载板
。3.
根据权利要求2所述的用于硼扩设备的推拉舟系统，其特征在于，所述加强支撑组件还包括托架第一调节板和托架固定调节板；所述承载板为托架第二调节板；所述加强筋
(8)
和加强支撑座通过托架第一调节板连接托架固定板；所述加强筋
(8)
和加强支撑座固定设置在托架第一调节板上；所述托架第一调节板与所述托架固定板之间通过相对位移可调结构进行固定；所述托架第二调节板通过托架固定调节板连接托架第一调节板；所述托架固定调节板固定连接托架第一调节板；所述托架第二调节板与托架固定调节板之间通过相对位移可调结构进行固定
。4.
根据权利要求2所述的用于硼扩设备的推拉舟系统，其特征在于，该系统还包括调节结构；所述调节结构包括多组升降组件；各组所述升降组件包括丝杆副
、
丝母座
(25)、
转动驱动件
、
安装座
、
转动固定座以及立板
(26)
；所述丝母座
(25)
固定连接滑台模组
(1)
的背板；所述丝母座
(25)
与丝杆副的螺母固定连接；所述丝杆副的丝杆和丝杆副的螺母螺纹连接；所述转动驱动件的驱动端连接丝杆副的丝杆的一端；所述丝杆副的丝杆的另一端转动连接转动固定座；所述转动驱动件设置在转动安装座上；所述安装座和转动固定座通过立板
(26)
固定连接；各组所述升降组件上分别设置有联轴器
(106)
；相邻所述升降组件上的联轴器
(106)
之间连接有连接杆
(105)。5.
根据权利要求4所述的用于硼扩设备的推拉舟系统，其特征在于，所述调节结构还包括导向组件；
所述导向组件包括导向件
、
连接固定座
(16)、
导向固定块以及升降导轨；所述导向件套设在升降导轨上；所述导向件和升降导轨滑动连接；所述导向件与连接固定座
(16)
之间通过相对位移可调结构进行固定；所述连接固定座
(16)
固定连接滑台模组
(1)
的背板；所述导向固定块用于将导向件锁定在所述升降导轨上
。6.
根据权利要求4所述的用于硼扩设备的推拉舟系统，其特征在于，所述调节结构还包括检测组件；所述检测组件包括调节杆
(29)、
调节杆座
(31)、
旋转块
(30)、
传感器安装板
(33)
以及传感器；所述调节杆座
(31)
与滑台模组
(1)
之间通过相对位移可调结构进行固定；所述调节杆
(29)
与调节杆座
(31)
之间通过相对位移可调结构进行固定；所述旋转块
(30)
与调节杆
(29)
之间通过相对旋转可调结构进行固定；所述传感器安装板
(33)
固定连接旋转块
(30)
；所述传感器设置在传感器安装板

【专利技术属性】
技术研发人员：游骅，闫允鲁，刘磊，邹君阳，朱瑞环，
申请(专利权)人：理想晶延半导体设备上海股份有限公司，
类型：发明
国别省市：