测温装置及工艺腔体制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种测温装置及工艺腔体，测温装置包括温度探针、夹持结构、伸缩结构和驱动结构；夹持结构与伸缩结构顶部固定连接，伸缩结构内部设有贯通通道；温度探针与夹持结构固定连接，并自贯通通道贯穿伸缩结构；驱动结构与伸缩结构固定连接，以驱动伸缩结构进行伸缩运动，进而带动温度探针同步进行伸缩运动。温度探针自贯通通道贯穿伸缩结构，驱动结构带动伸缩结构进行伸缩运动，夹持结构在伸缩结构的带动下同步进行伸缩运动；温度探针与夹持结构固定连接，温度探针在夹持结构的带动下同步进行伸缩运动，使得测温装置安装在工艺腔室后能够控制温度探针接触工艺腔室内的基板或悬空在靠近基板表面位置以准确测量或反映基板表面的温度。映基板表面的温度。映基板表面的温度。

【技术实现步骤摘要】
测温装置及工艺腔体


[0001]本技术涉及太阳能电池制造
，尤其涉及一种测温装置及工艺腔体。

技术介绍

[0002]太阳能电池制造工艺过程中，镀膜工艺对太阳能电池性能具有决定性影响，镀膜工艺中一般在采用沉积反应进行镀膜，反应温度的稳定性对沉积反应至关重要。由于镀膜工艺是在密闭空间内进行的带压气相沉积反应，为确保反应过程的气密性和压力稳定性，多采用间接测量方式监控。
[0003]现有技术中通常采用安装在载台上的温度传感器回传载台温度，或者通过红外探测设备获取反应腔体内的温度，以上方法中直接进行温度测量的区域均非进行镀膜反应的基板的表面温度，对于对温度要求较高的沉积反应而言，例如钙钛矿太阳能电池的镀膜反应，会造成较大的温度控制误差，从而影响镀膜质量。
[0004]因此，有必要提供一种新型的测温装置及工艺腔体以解决现有技术中存在的上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种测温装置，能准确测量反应腔室内基板表面区域或临近基板表面区域的温度。
[0006]为实现上述目的，本技术的所述测温装置，包括温度探针、夹持结构、伸缩结构和驱动结构；所述夹持结构与所述伸缩结构顶部固定连接，所述伸缩结构内部设有贯通通道；所述温度探针与所述夹持结构固定连接，并自所述贯通通道贯穿所述伸缩结构；所述驱动结构与所述伸缩结构固定连接，以驱动所述伸缩结构进行伸缩运动，进而带动所述温度探针同步进行所述伸缩运动。
[0007]本技术的所述测温装置的有益效果在于：
[0008]所述伸缩结构内部设有贯通通道，所述温度探针自所述贯通通道贯穿所述伸缩结构，所述驱动结构带动所述伸缩结构进行伸缩运动，所述夹持结构与所述伸缩结构顶部固定连接，所述夹持结构在所述伸缩结构的带动下同步进行所述伸缩运动；所述温度探针与所述夹持结构固定连接，所述温度探针在所述夹持结构的带动下同步进行所述伸缩运动，使得测温装置安装在工艺腔室后能够控制温度探针接触工艺腔室内的基板或悬空在靠近基板表面位置以准确测量或反映所述基板表面的温度。
[0009]可选地，所述伸缩结构包括依次固定连接的中空的顶部连接件、中空的中部弹性件和中空的底部固定件，所述夹持结构与所述顶部连接件固定连接。
[0010]可选地，所述中部弹性件包括波纹管，以在所述伸缩结构进行伸缩运动时压缩或回弹。
[0011]可选地，还包括导向结构，所述导向结构包括滑动部和与所述滑动部滑动适配的滑轨部，所述滑动部与所述驱动结构固定连接，以使所述驱动结构带动所述滑动部在所述
滑轨部上滑动。
[0012]可选地，所述滑动部远离所述驱动结构的一侧与所述顶部连接件固定连接，以使所述滑动部通过带动所述顶部连接件朝向或远离所述底部固定件，进而带动所述中部弹性件进行伸缩运动。
[0013]可选地，还包括悬设于所述滑动部上方的上限位结构，以限制所述中部弹性件进行伸展运动的极限位置。
[0014]可选地，所述上限位结构与所述滑轨部固定连接，所述上限位结构设于所述滑动部的运动路径上并朝向所述滑动部凸出，以在所述上限位结构与所述滑动部接触后阻止所述中部弹性件伸展。
[0015]可选地，所述上限位结构活动设置于所述滑轨部以朝向所述滑动部调节凸出长度。
[0016]可选地，还包括悬设于所述底部固定件上方的下限位结构，所述下限位结构与所述滑动部固定连接，以限制所述中部弹性件进行压缩运动的极限位置。
[0017]可选地，所述下限位结构包括第一接触部和第二接触部，所述第一接触部设置在所述滑动部的运动路径上并朝向所述底部固定件凸出，并配置为在所述第一接触部与所述底部固定件接触后能够在所述滑动部的带动下发生可恢复形变，所述第二接触部与所述第一接触部相邻，并固定在所述滑动部底部，所述第二接触部相较于所述第一接触部更远离所述底部固定件。
[0018]可选地，所述第一接触部包括弹性件，所述弹性件与所述滑动部底部固定连接。
[0019]可选地，所述下限位结构活动设置于所述滑动部的底部以朝向所述底部固定件调节凸出长度。
[0020]本技术还提供了一种工艺腔体，包括腔体本体和如上所述的测温装置，所述腔体本体与所述伸缩结构底部固定连接，所述腔体本体上设置有导通管道，所述导通管道和所述贯通通道连通。
[0021]本技术的所述工艺腔体的有益效果在于：
[0022]所述腔体本体与所述伸缩结构底部固定连接，述腔体本体上设置有导通管道，所述导通管道和所述贯通通道连通，使所述工艺腔体内环境和所述测温装置内一致，保证不会破坏反应腔室气密性。
附图说明
[0023]图1为本技术提供的实施例测温装置的整体结构第一角度示意图；
[0024]图2为本技术提供的实施例测温装置的剖视图；
[0025]图3为图2中A处的详细图；
[0026]图4为本技术提供的实施例测温装置的整体结构第二角度示意图；
[0027]图5为图2中B处的详细图。
具体实施方式
[0028]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本
技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
[0029]针对现有技术存在的问题，本技术的实施例提供了一种测温装置，所述测温装置，包括温度探针、夹持结构、伸缩结构和驱动结构；所述夹持结构与所述伸缩结构顶部固定连接，所述伸缩结构内部设有贯通通道；所述温度探针与所述夹持结构固定连接，并自所述贯通通道贯穿所述伸缩结构；所述驱动结构与所述伸缩结构固定连接，以驱动所述伸缩结构进行伸缩运动，进而带动所述温度探针同步进行所述伸缩运动。未标示的结构过多，参图看不到哪个是哪个，尽可能标注，少部分不标注的也要能够参图结合上下位确认下来
[0030]本技术的所述测温装置的优点在于：
[0031]所述伸缩结构内部设有贯通通道，所述温度探针自所述贯通通道贯穿所述伸缩结构，所述驱动结构带动所述伸缩结构进行伸缩运动，所述夹持结构与所述伸缩结构顶部固定连接，所述夹持结构在所述伸缩结构的带动下同步进行所述伸缩运动；所述温度探针与所述夹持结构固定连接，所述温度探针在所述夹持结构的带动下同步进行所述伸缩运动，使得测温装置安装在工艺腔室后能够控制温度探针接触工艺腔室内的基板或悬空在靠近基板表面位置以准确测量或反映所述基板表面的温度。
[0032]一些实施例中，所述驱动结构为气缸，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测温装置，其特征在于，包括温度探针、夹持结构、伸缩结构和驱动结构；所述夹持结构与所述伸缩结构顶部固定连接，所述伸缩结构内部设有贯通通道；所述温度探针与所述夹持结构固定连接，并自所述贯通通道贯穿所述伸缩结构；所述驱动结构与所述伸缩结构固定连接，以驱动所述伸缩结构进行伸缩运动，进而带动所述温度探针同步进行所述伸缩运动。2.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于，所述伸缩结构包括依次固定连接的中空的顶部连接件、中空的中部弹性件和中空的底部固定件，所述夹持结构与所述顶部连接件固定连接。3.根据权利要求2所述的测温装置，其特征在于，所述中部弹性件包括波纹管，以在所述伸缩结构进行伸缩运动时压缩或回弹。4.根据权利要求2所述的测温装置，其特征在于，还包括导向结构，所述导向结构包括滑动部和与所述滑动部滑动适配的滑轨部，所述滑动部与所述驱动结构固定连接，以使所述驱动结构带动所述滑动部在所述滑轨部上滑动。5.根据权利要求4所述的测温装置，其特征在于，所述滑动部远离所述驱动结构的一侧与所述顶部连接件固定连接，以使所述滑动部通过带动所述顶部连接件朝向或远离所述底部固定件，进而带动所述中部弹性件进行伸缩运动。6.根据权利要求5所述的测温装置，其特征在于，还包括悬设于所述滑动部上方的上限位结构，以限制所述中部弹性件进行伸展运动的极限位置。7.根据权利要求6所述的测温装置，其特征在于，所述上限位结构与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆勇，胡超，
申请(专利权)人：理想晶延半导体设备上海股份有限公司，
类型：新型
国别省市：