一种半导体生产用静电消除设备制造技术

本发明专利技术涉及半导体生产技术领域，具体为一种半导体生产用静电消除设备，包括底板和放置块，所述放置块固定连接于底板的顶部，所述放置块的顶部设置有消除组件，所述放置块的顶部设置有清洁组件，所述消除组件由限位单元和调节单元组成，限位单元位于放置块的内部，调节单元位于底板的顶部

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产用静电消除设备


[0001]本专利技术涉及半导体生产
，具体为一种半导体生产用静电消除设备
。

技术介绍

[0002]半导体是一种能够生产芯片的材料，半导体芯片广泛运用于现在的芯片生产行业，为了防止芯片被静电损坏，现在生产芯片的车间会进行防尘处理，但是难免会有灰尘进入车间，由于芯片的外形较小，带静电的灰尘容易吸附在芯片上，而芯片的外表面有很多的布线，带静电的灰尘在芯片外表面积累较多的静电容易击穿芯片，最后造成芯片损毁报废
。
[0003]中国专利公告号
CN212967626U
中公开了一种半导体生产用静电消除装置，通过将半导体芯片排列整齐的放在放置盒的顶部，每个半导体芯片顶部正上方都有导电橡胶垫，然后打开电机带动螺纹杆旋转，进而带动气箱上下移动，使气箱底部的导电橡胶垫底部和半导体芯片顶部外沿贴合接触，半导体芯片上积累的电荷被导电橡胶垫转移至接地线接地消除，达到快速消除半导体芯片上的静电的作用
。
[0004]上述申请中的静电消除装置在使用时，主要通过启动电机，使得螺纹杆旋转，此时气箱便会在螺纹套的作用下进行移动，直至气箱底部的导电橡胶垫与半导体芯片的顶部抵接，此时半导体芯片上积累的电荷被导电橡胶垫转移至接地线接地消除，从而进行静电消除；但是上述申请中的消除装置，并未对半导体芯片设置限位结构，导致半导体芯片放置于放置盒的顶部后，无外力施加限位，导致电子运转时，会带动放置盒震动，此时半导体芯片便会在放置盒的顶部产生移动，使得半导体芯片与导电橡胶垫无法紧密贴合，因此存在一定的局限性
。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种半导体生产用静电消除设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种半导体生产用静电消除设备，包括底板和放置块，所述放置块固定连接于底板的顶部，所述放置块的顶部设置有消除组件，所述放置块的顶部设置有清洁组件
。
[0007]所述消除组件由限位单元和调节单元组成，限位单元位于放置块的内部，调节单元位于底板的顶部
。
[0008]限位单元包括框架
、
卡杆
、
半导体器件
、
夹板
、
伸缩杆和弹簧，所述框架安装于放置块的顶部，所述卡杆固定连接于框架的顶部，所述放置块的内部开设有内槽，所述半导体器件安装于内槽的内部，所述夹板安装于内槽的内部，所述伸缩杆安装于放置块的内部，所述弹簧固定连接于伸缩杆的外壁
。
[0009]调节单元包括支框
、
活动板
、
导电橡胶板
、
螺纹柱和接地导线，所述支框固定连接于底板的顶部，所述活动板设置于支框的外部，所述导电橡胶板固定连接于活动板的底部，所述螺纹柱安装于活动板的顶部，所述接地导线固定连接于活动板的顶部
。
[0010]所述清洁组件包括电机
、
螺纹杆
、
出气仓
、
连接板
、
外环
、
传动件
、
折叠管
、
四通阀
、
连接管和气泵，所述电机固定连接于支框的外壁，所述螺纹杆安装于支框的外壁，所述出气仓设置于放置块的上方，所述连接板固定连接于出气仓的外壁，所述外环套设于螺纹杆的外壁，所述传动件安装于螺纹杆的一端，所述折叠管固定连接于出气仓的顶部，所述四通阀固定连接于折叠管远离出气仓的一端，所述连接管固定连接于四通阀的底部，所述气泵固定连接于连接管远离四通阀的一端
。
[0011]优选的，所述卡杆的一端延伸至内槽的内部，所述夹板的外壁与内槽的内壁滑动连接，夹板可以在内槽的内部进行移动，所述夹板的外壁与半导体器件的外壁抵接，夹板可以对半导体器件起到夹紧固定的效果，所述卡杆的外壁与夹板的外壁抵接，卡杆可以对夹板起到限位的效果
。
[0012]优选的，所述伸缩杆的一端贯穿放置块的内壁，并延伸至内槽的内部，所述伸缩杆的一端与放置块被贯穿的内壁滑动连接，所述伸缩杆延伸至内槽内部的一端与夹板的外壁固定连接
。
[0013]优选的，所述导电橡胶板的底部与半导体器件的顶部抵接，导电橡胶板的存在，可以将半导体器件内部的静电电荷引导出半导体器件，从而进行静电消除，所述螺纹柱的底端与活动板的顶部转动连接，螺纹柱可以在活动板的顶部进行旋转
。
[0014]优选的，所述螺纹柱的顶端贯穿支框，并延伸至支框的上方，所述螺纹柱的外壁与支框被贯穿的内壁适配，可以通过旋转的方式活动螺纹柱，使得螺纹柱在螺纹的作用下推动活动板进行移动
。
[0015]优选的，所述螺纹杆的一端贯穿支框，并与电机的输出端连接，电机启动后，可以通过输出端带动螺纹杆进行旋转，所述出气仓的底部开设有出气口，所述外环的内壁与螺纹杆的外壁适配，螺纹杆旋转时，外环可以在螺纹的作用下进行移动
。
[0016]优选的，所述连接板的外壁与外环的外壁固定连接，外环在移动时，可以通过连接板带动出气仓进行移动，所述折叠管与出气仓连通，折叠管内部的高压空气可以输送至出气仓的内部，从而保证对半导体的清洁
。
[0017]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
1.
该半导体生产用静电消除设备，通过设置内槽和夹板，移动框架，卡杆便会在框架的作用下进行移动，并与夹板分离，此时弹簧推动伸缩杆进行移动，伸缩杆在放置块的内部进行滑动，并推动夹板进行移动，直至夹板的外壁与半导体的外壁抵接，从而完成对半导体的安装限位，保证在后续下压的过程中，半导体不会出现位移的现象；由于设置了框架和卡杆，在不使用时，可以通过卡杆和框架对夹板进行限位，从而使得内槽内部的空间显露，方便操作人员进行后续的半导体放置
。
[0018]2.
该半导体生产用静电消除设备，通过设置支框
、
螺纹柱和接地导线，旋转螺纹柱，由于螺纹柱贯穿支框，并与支框的内壁适配，因此当螺纹柱旋转时，便会在螺纹的作用下推动活动板进行移动，使得导电橡胶板的底部与半导体的顶部抵接，从而通过接地导线进行静电消除
。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使
用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0020]图1为本专利技术的整体结构立体示意图；图2为本专利技术的放置块结构顶部示意图；图3为图2中
A
处结构放大示意图；图4为本专利技术的放置块内部结构顶部局部示意图；图5为本专利技术的消除组件结构局部示意图；图6为本专利技术的框架结构侧面示意图；图7为图6中
A
处结构放大示意图；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种半导体生产用静电消除设备，包括底板（1）和放置块（2），所述放置块（2）固定连接于底板（1）的顶部，其特征在于：所述放置块（2）的顶部设置有消除组件（3），所述放置块（2）的顶部设置有清洁组件（4）；所述消除组件（3）由限位单元和调节单元组成，限位单元位于放置块（2）的内部，调节单元位于底板（1）的顶部；限位单元包括框架（
301
）
、
卡杆（
302
）
、
半导体器件（
304
）
、
夹板（
305
）
、
伸缩杆（
306
）和弹簧（
307
），所述框架（
301
）安装于放置块（2）的顶部，所述卡杆（
302
）固定连接于框架（
301
）的顶部，所述放置块（2）的内部开设有内槽（
303
），所述半导体器件（
304
）安装于内槽（
303
）的内部，所述夹板（
305
）安装于内槽（
303
）的内部，所述伸缩杆（
306
）安装于放置块（2）的内部，所述弹簧（
307
）固定连接于伸缩杆（
306
）的外壁；调节单元包括支框（
308
）
、
活动板（
309
）
、
导电橡胶板（
310
）
、
螺纹柱（
311
）和接地导线（
312
），所述支框（
308
）固定连接于底板（1）的顶部，所述活动板（
309
）设置于支框（
308
）的外部，所述导电橡胶板（
310
）固定连接于活动板（
309
）的底部，所述螺纹柱（
311
）安装于活动板（
309
）的顶部，所述接地导线（
312
）固定连接于活动板（
309
）的顶部；清洁组件（4）包括电机（
401
）
、
螺纹杆（
402
）
、
出气仓（
403
）
、
连接板（
404
）
、
外环（
405
）
、
传动件（
406
）
、
折叠管（
407
）
、
四通阀（
408
）
、
连接管（
409
）和气泵（
410
），所述电机（
401
）固定连接于支框（
308
）的外壁，所述螺纹杆（
402
）安装于支框（
308
）的外壁，所述出气仓（
403
）设置于放置块（2）的上方，所述连接板（
404
）固定连接于出气仓（
403...

【专利技术属性】
技术研发人员：许多，
申请(专利权)人：南通莱欧电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：