一种三氟化氮间歇精馏设备制造技术

本申请属于三氟化氮精馏的领域，涉及三氟化氮精馏设备，尤其涉及一种三氟化氮间歇精馏设备，包括底架

【技术实现步骤摘要】
一种三氟化氮间歇精馏设备


[0001]本申请属于三氟化氮精馏的领域，涉及三氟化氮精馏设备，具体涉及一种三氟化氮间歇精馏设备
。

技术介绍

[0002]三氟化氮
(NF3)
在常温下是一种无色
、
无臭
、
性质稳定的气体，也是一种强氧化剂
。
三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性
(
对氧化硅和硅
)
，它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造
、
高能激光器方面得到了大量的运用
。
[0003]关于三氟化氮的合成，已有较多专利作出公开，诸如授权公告号为
CN103508428B
的中国专利技术专利中公开了一种以四氟化硅和氮气生产氮化硅和三氟化氮的设备及工艺，授权公告号为
CN102605384B
的专利技术专利公开了一种用于安全生产三氟化氮的电解设备
、
系统和方法，均是生产合成三氟化氮的现有方法
。
[0004]在实际生产中，需要对合成后的三氟化氮进行精馏等纯化处理，也有部分专利对三氟化氮纯化处理作出公开，诸如公告号为
CN1268412C
的专利公开了一种纯化三氟化氮气体的方法，公告号为
CN207537148U
公开了一种三氟化氮的纯化装置
。
[0005]然而，就目前现有的三氟化氮精馏设备而言，结构较为简单，即使部分三氟化氮精馏设备包括杂质过滤清理装置，但是也存在杂质堆积
、
不便清理的问题，冷凝装置也有堵塞的可能，工作效率较低，可能影响实际生产
。

技术实现思路

[0006]为了优化现有的三氟化氮精馏设备过滤装置中杂质不便清理
、
冷凝装置易堵塞的技术问题，本申请提供一种三氟化氮间歇精馏设备
。
[0007]本申请提供的一种三氟化氮间歇精馏设备采用如下的技术方案：
[0008]一种三氟化氮间歇精馏设备，包括底架
、
筒体和支架，筒体固定连接在底架上，且上方设有盖体，盖体上设有注液管，注液管上安装有输液管，输液管下部与水泵的出液端接通；支架安装在底架上，且位于筒体右侧；还包括安装在底架上的过滤装置；过滤装置包括支撑架
、
过滤箱
、
转动柱
、
支板和集污槽，支撑架和过滤箱均固定连接在底架上；转动柱轴接在过滤箱内，支板固定安装在支撑架的左侧，集污槽固定在过滤箱的前端；过滤箱中还设有对过滤箱内部清理的刮除机构
。
[0009]在一个具体的可实施方案中，所述支板上安装有齿轮箱，齿轮箱上安装有三号电机，转动柱安装在齿轮箱上，并且转动柱的左端安装有链轮，过滤箱的下端固定有底槽，底槽上设有排放口
。
[0010]在一个具体的可实施方案中，所述转动柱上固定有固定座，固定座为
U
型结构，固定座上安装有四组导杆，导杆的下端安装有隔板，四组导杆上安装有中间板，中间板滑动在
四组导杆上，固定座上安装有两组二号液压杆，二号液压杆的活塞杆与中间板连接，四组导杆上安装有弹簧，弹簧位于中间板与隔板之间
。
[0011]在一个具体的可实施方案中，所述隔板的左右两端安装有侧板，两组侧板上轴接有轴接架，轴接架与侧板之间安装有三号液压杆，刮除机构包括清理辊，清理辊安装在两组轴接架之间；侧板上安装有橡胶柱，橡胶柱与轴接架接触，并且轴接架上轴接有刮板，刮板的左右两端固定有固定头，轴接架上螺纹拧接有两组调节螺栓，固定头位于两组调节螺栓之间
。
[0012]在一个具体的可实施方案中，所述集污槽内部轴接有输送轮，输送轮的左端安装有链轮，输送轮上的链轮与转动柱左端的链轮之间安装有链条，集污槽的下端设有排放管
。
[0013]在一个具体的可实施方案中，所述筒体的内部固定有内筒，内筒的下端设有排放管，筒体的内壁上安装有加热环，加热环与内筒接触，筒体的内壁与加热环之间设有隔温层，内筒的上端固定有铰接座，盖体上固定有安装座，安装座的下端与铰接座转动连接，安装座上固定有连接座，连接座与筒体之间安装有一号液压杆，一号液压杆的上下端分别与连接座
、
筒体转动连接
。
[0014]在一个具体的可实施方案中，所述盖体上安装有喷淋管，喷淋管轴接在盖体上，喷淋管的右侧安装有测温器，并且盖体的下端固定有轴接筒，轴接筒内部轴接有转动杆，转动杆的上端安装有皮带轮，安装座的上端通过螺栓安装有二号电机，二号电机的转轴上安装有皮带轮，二号电机转轴上的皮带轮与转动杆上端的皮带轮之间安装有连接带，盖体下端固定有密封圈
。
[0015]在一个具体的可实施方案中，所述轴接筒上固定有三组固定杆，三组固定杆的下端安装有安装架，安装架内部安装有搅动轮，搅动轮安装在转动杆上，转动杆的下端安装有转动架，转动架上安装有搅拌板，且盖体上设有透气管，支架的上端安装有两组冷凝器，冷凝器连接有进气管，盖体上的透气管与进气管接通，进气管上安装有两组控制阀
。
[0016]在一个具体的可实施方案中，所述冷凝器上端设有出气管，冷凝器的下端连接有出液管，出液管和进气管均为三通结构，出液管上安装有两组控制阀，且冷凝器上安装有气压表
。
[0017]本申请包括以下有益技术效果：
[0018]本申请的两组侧板上轴接有轴接架，轴接架与侧板之间安装有三号液压杆，两组轴接架之间安装有清理辊，使用时通过控制二号液压杆和三号液压杆伸缩使清理辊与过滤箱的内壁接触，控制三号电机转动使其带动转动柱转动，从而能够使清理辊在过滤箱上的内壁上转动，能够对过滤箱内壁上的杂质进行清理并输送至集污槽内，集污槽内部轴接有输送轮，输送轮的左端安装有链轮，输送轮上的链轮与转动柱左端的链轮之间安装有链条，集污槽的下端设有排放管，转动柱转动的同时能够通过链条带动输送轮转动，实现对杂质的输送和排放，使用方便
。
[0019]此外，本专利技术设有两组冷凝器，使用时通过两组冷凝器对气体进行冷凝，气体中夹杂杂质分子，在其中一组冷凝器堵塞时，两组冷凝器的设置能够使设备正常运行，只需关闭堵塞支路的控制阀并对其进行维修即可
。
附图说明
[0020]图1是本申请实施例的三氟化氮间歇精馏设备的整体结构示意图
。
[0021]图2是本申请实施例的三氟化氮间歇精馏设备后端的结构示意图
。
[0022]图3是本申请实施例的三氟化氮间歇精馏设备的图2的
A
处的放大结构示意图
。
[0023]图4是本申请实施例的三氟化氮间歇精馏设备的图1的
B
处的放大结构示意图
。
[0024]图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种三氟化氮间歇精馏设备，其特征在于：包括底架
(1)、
筒体
(2)
和支架
(3)
，筒体
(2)
固定连接在底架
(1)
上，且上方设有盖体
(23)
，盖体
(23)
上设有注液管，注液管上安装有输液管
(236)
，输液管
(236)
下部与水泵
(12)
的出液端接通；支架
(3)
安装在底架
(1)
上，且位于筒体
(2)
右侧；还包括安装在底架
(1)
上的过滤装置
(33)
；过滤装置
(33)
包括支撑架
(331)、
过滤箱
(332)、
转动柱
(333)、
支板
(334)
和集污槽
(335)
，支撑架
(331)
和过滤箱
(332)
均固定连接在底架
(1)
上；转动柱
(333)
轴接在过滤箱
(332)
内，支板
(334)
固定安装在支撑架
(331)
的左侧，集污槽
(335)
固定在过滤箱
(332)
的前端；过滤箱
(332)
中还设有对过滤箱
(332)
内部清理的刮除机构
。2.
根据权利要求1所述的一种三氟化氮间歇精馏设备，其特征在于：所述支板
(334)
上安装有齿轮箱
(3341)
，齿轮箱
(3341)
上安装有三号电机
(3342)
，转动柱
(333)
安装在齿轮箱
(3341)
上，并且转动柱
(333)
的左端安装有链轮，过滤箱
(332)
的下端固定有底槽
(3321)
，底槽
(3321)
上设有排放口
。3.
根据权利要求2所述的一种三氟化氮间歇精馏设备，其特征在于：所述转动柱
(333)
上固定有固定座
(336)
，固定座
(336)
为
U
型结构，固定座
(336)
上安装有四组导杆
(3361)
，导杆
(3361)
的下端安装有隔板
(337)
，四组导杆
(3361)
上安装有中间板
(3362)
，中间板
(3362)
滑动在四组导杆
(3361)
上，固定座
(336)
上安装有两组二号液压杆
(3363)
，二号液压杆
(3363)
的活塞杆与中间板
(3362)
连接，四组导杆
(3361)
上安装有弹簧，弹簧位于中间板
(3362)
与隔板
(337)
之间
。4.
根据权利要求3所述的一种三氟化氮间歇精馏设备，其特征在于：所述隔板
(337)
的左右两端安装有侧板
(3371)
，两组侧板
(3371)
上轴接有轴接架
(3372)
，轴接架
(3372)
与侧板
(3371)
之间安装有三号液压杆
(3374)
，刮除机构包括清理辊
(3373)
，清理辊
(3373)
安装在两组轴接架
(3372)
之间；侧板
(3371)
上安装有橡胶柱，橡胶柱与轴接架
(3372)
接触，并且轴接架
(3372)
上轴接有刮板
(3375)
，刮板
(3375)
的左右两端固定有固定头
(3376)
，轴接架
(3372)
上螺纹拧接有两组调节螺栓，固定头

【专利技术属性】
技术研发人员：徐海云，鲁毅，周琪琪，张乾程，田金金，代丹枫，张腾博，陈良，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：