高自动化晶圆贴膜设备制造技术

本发明专利技术涉及晶圆贴膜设备技术领域，涉及一种高自动化晶圆贴膜设备，自动化晶圆贴膜设备，包括基座和机架，机架上设置有对模体形成输送和卷收的膜输送机构，基座内部设置有水平驱动机构和安装台，水平驱动机构驱使安装台移入或移出基座内部，安装台上设置有升降机构和贴膜台，升降机构驱使贴膜台靠近或远离膜体的覆膜端，机架上设置有导向机构，导向机构上传动设置有驱使模体与贴膜台紧密贴合的贴膜机构，贴膜机构的上方设置有对贴膜台上的模体形成剪裁，使其与膜输送机构上的模体形成分离的旋转切割机构，贴膜机构的一侧传动设置有消除模体因剪裁造成的空洞部位的塌陷的模体整形机构，本发明专利技术自动化程度高，操作简单，贴膜效率更高

【技术实现步骤摘要】
高自动化晶圆贴膜设备


[0001]本专利技术属于晶圆贴膜设备
，具体为高自动化晶圆贴膜设备
。

技术介绍

[0002]现有晶圆在加工过程中需要对晶圆进行贴膜，其过程中通常使用8英寸或
12
英寸的晶圆贴膜机，其多为手动晶圆贴膜，其工作过程需要工作人员将铁环
、
晶圆放置在贴膜台的凹槽上，有工作人员手动拉动模体对铁环和晶圆形成覆盖，再拉动贴膜轮往复移动，使模体对铁环和晶圆形成覆膜，再盖上晶圆贴膜机的上盖，手动转动剪裁把手，沿铁环周缘形成模体的剪裁，再通过贴膜轮处的切断刀对模体形成切断，工作人员在将覆膜完成的铁环和晶圆取下，并将切断剩余的模体从贴膜台上撕下，其操作复杂，自动化程度低，在连续的作业下，工作人员劳动强度大，贴膜效率较低
。

技术实现思路

[0003]本专利技术所要解决的技术问题是针对上述缺陷，提供一种高自动化晶圆贴膜设备，自动化程度高，操作简单，贴膜效率更高
。
[0004]本专利技术解决其技术问题采用的技术方案如下：高自动化晶圆贴膜设备，包括基座，以及设置在基座上表面的机架，所述机架上设置有对模体形成输送和卷收的膜输送机构，所述基座内部设置有水平驱动机构，以及与水平驱动机构传动连接的安装台，所述水平驱动机构驱使安装台移入或移出基座内部，所述安装台上设置有升降机构以及设置在升降机构驱动端的贴膜台，所述升降机构驱使贴膜台靠近或远离膜体的覆膜端，所述机架上，位于膜体的上方设置有导向机构，所述导向机构上传动设置有驱使模体与贴膜台紧密贴合的贴膜机构，所述机架上，位于贴膜机构的上方设置有对贴膜台上的模体形成剪裁，使其与膜输送机构上的模体形成分离的旋转切割机构，所述导向机构上，位于贴膜机构的一侧传动设置有消除模体因剪裁造成的空洞部位的塌陷的模体整形机构
。
[0005]进一步的，所述水平驱动机构包括安装壳体
、
调节螺杆
、
第一电机
、
带动件，所述安装壳体水平方向设置在基座内部的底端，所述安装壳体上表面开设有限位滑槽，所述调节螺杆转动设置在安装壳体内部，所述第一电机设置在安装壳体一端，所述第一电机的驱动端与调节螺杆相连接，所述带动件的底端贯穿限位滑槽与调节螺杆螺纹连接，所述带动件的顶端与安装台的底端固定连接
。
[0006]进一步的，所述升降机构包括至少一个第一升降件，所述第一升降件设置在安装台上，所述贴膜台底端与第一升降件的驱动端固定连接，第一升降件驱使贴膜台上下往复移动
。
[0007]进一步的，所述贴膜台上设置装载晶圆和铁环的放置槽
。
[0008]进一步的，所述承载台与贴膜台之间设置有驱使贴膜台形成转动的贴膜台驱动机构，所述放置槽等分圆周设置在贴膜台上表面，所述贴膜驱动机构包括第二电机和旋转台，所述第二电机设置在承载台上，所述旋转台设置在第二电机的驱动端，所述第一升降件设
置在旋转台上，所述第二电机驱使旋转台绕自身轴心转动，带动贴膜台形成转动，驱使贴膜台上等分圆周的多个放置槽与模体依次对应
。
[0009]进一步的，所述导向机构包括导轨和光轴，所述导轨前后对称的设置在机架上，所述导轨内部，沿导轨长度方向开设有导向槽，所述光轴对称设置在导向槽两端的内壁上
。
[0010]进一步的，所述贴膜机构包括第一安装架
、
第二升降件
、
第二安装架
、
压轮
、
第一滚轮
、
第三电机，所述第一安装架由两呈垂直向下状态的竖直段和设置在两竖直段之间并连接两竖直段的水平段组成，所述第二升降件设置在第一安装架顶端，所述第二安装架设置在第一安装架的水平段的底端，所述第二安装架与第一安装架结构相同，所述第二安装架的竖直段与第一安装架的竖直段之间间隔布置，所述第二升降件的驱动端贯穿第一安装架的水平段与第二安装架固定连接，所述压轮转动设置在第二安装架上，所述压轮的底端低于所述第二安装架的竖直段的底面，所述第二升降件驱使第二安装架上下移动，带动压轮靠近或远离模体的上表面，所述第一滚轮对称转动设置在第一安装架的竖直段的外侧，所述第一滚轮外表面开设有与光轴相匹配的环形凹槽，所述第三电机设置在第一安装架一侧的竖直段的内侧，第三电机的驱动端与第一滚轮相连接
。
[0011]进一步的，所述旋转切割机构包括安装板
、
第三升降件
、
第四电机
、
第三安装架
、
第二滚轮
、
切割轮所述安装板设置在机架上，所述第三升降件设置在安装板顶端，所述第四电机设置在安装板下方，所述第三升降件的驱动端贯穿安装板与第四电机固定连接，驱使第四电机上下往复移动，所述第三安装架设置在第四电机的驱动端，所述第二滚轮设置在第三安装架一侧，切割轮设置在第三安装架另一侧
。
[0012]进一步的，所述模体整形机构包括第四安装架
、
水平驱动件
、
连接件
、
连接板
、
气动夹爪
、
第三滚轮，所述第四安装架也有两呈垂直向下状态的竖直段和设置在两竖直段之间，并连接两竖直段的水平段组成，所述第四安装架的上表面堆成开设有滑槽，所述水平驱动件
、
连接件
、
连接板
、
气动夹爪均为两个，两个所述水平驱动件设置在两所述滑槽的一侧，两所述连接件分别贯穿两滑槽延伸至第四安装架的水平段的底端，所述水平驱动件的驱动端与连接件相连接，两水平驱动件驱使两连接件相互靠近或远离，两所述连接板分别设置在两连接件的底端，所述两气动夹爪分别设置在两连接板的底端，且两气动夹爪呈镜像布置，气动夹爪有由气缸和两夹爪组成，气缸驱动两夹爪相互靠近和远离，两夹爪上下对称布置，所述膜输送机构的模体穿过两夹爪，所述第三滚轮设置在夹爪远离气缸的一端，所述第四安装架的两竖直段的外侧转动设置有第四滚轮，所述第四滚轮的外表面也设置有与光轴相匹配环形凹槽，所述第四安装架的一侧的竖直段的内侧设置有与第四滚轮传动连接的第五电机
。
[0013]本专利技术的有益效果是：
[0014]本专利技术通过膜输送机构
、
水平驱动机构
、
安装台
、
升降机构
、
贴膜台
、
导向机构
、
贴膜机构
、
旋转切割组件
、
模体整形机构的配合设置，水平驱动机构驱使安装台
、
贴膜台移动至基座外部，工作人员只需将铁环和晶圆放置在贴膜台上，水平驱动机构再驱使贴膜台和安装台移动至膜输送机构的模体的下方，升降机构驱使贴膜台上升，使贴膜台
、
铁环和晶圆与模体的覆膜端相抵触，贴膜机构沿导向机构移动，使模体与贴膜台
、
铁环
、
晶圆精密贴合，完成贴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
高自动化晶圆贴膜设备，包括基座
(10)
，以及设置在基座
(10)
上表面的机架
(20)
，其特征在于：所述机架
(20)
上设置有对模体
(30)
形成输送和卷收的膜输送机构
(31)
，所述基座
(10)
内部设置有水平驱动机构
(40)
，以及与水平驱动机构
(40)
传动连接的安装台
(41)
，所述水平驱动机构
(40)
驱使安装台
(41)
移入或移出基座
(10)
内部，所述安装台
(41)
上设置有升降机构
(42)
以及设置在升降机构
(42)
驱动端的贴膜台
(43)
，所述升降机构
(42)
驱使贴膜台
(43)
靠近或远离膜体
(30)
的覆膜端，所述机架
(20)
上，位于膜体
(30)
的上方设置有导向机构
(50)
，所述导向机构
(50)
上传动设置有驱使模体
(30)
与贴膜台
(43)
紧密贴合的贴膜机构
(60)
，所述机架
(20)
上，位于贴膜机构
(60)
的上方设置有对贴膜台
(43)
上的模体
(30)
形成剪裁，使其与膜输送机构
(31)
上的模体
(30)
形成分离的旋转切割机构
(70)
，所述导向机构
(50)
上，位于贴膜机构
(60)
的一侧传动设置有消除模体
(30)
因剪裁造成的空洞部位的塌陷的模体整形机构
(80)。2.
根据权利要求1所述高自动化晶圆贴膜设备的，其特征在于：所述水平驱动机构
(40)
包括安装壳体
(4001)、
调节螺杆
(4002)、
第一电机
(4003)、
带动件
(4004)
，所述安装壳体
(4001)
水平方向设置在基座
(10)
内部的底端，所述安装壳体
(4001)
上表面开设有限位滑槽
(4005)
，所述调节螺杆
(4002)
转动设置在安装壳体
(4001)
内部，所述第一电机
(4003)
设置在安装壳体
(4001)
一端，所述第一电机
(4003)
的驱动端与调节螺杆
(4002)
相连接，所述带动件
(4004)
的底端贯穿限位滑槽
(4005)
与调节螺杆
(4002)
螺纹连接，所述带动件
(4004)
的顶端与安装台
(41)
的底端固定连接
。3.
根据权利要求2所述高自动化晶圆贴膜设备的，其特征在于：所述升降机构
(42)
包括至少一个第一升降件
(4201)
所述第一升降件
(4201)
设置在安装台
(41)
上，所述贴膜台
(43)
底端与第一升降件
(4201)
的驱动端固定连接，第一升降件
(4201)
驱使贴膜台
(43)
上下往复移动
。4.
根据权利要求3所述高自动化晶圆贴膜设备的，其特征在于：所述贴膜台
(43)
上设置装载晶圆和铁环的放置槽
(4301)。5.
根据权利要求4所述高自动化晶圆贴膜设备的，其特征在于：所述安装台
(41)
与贴膜台
(43)
之间设置有驱使贴膜台
(43)
形成转动的贴膜台驱动机构，所述放置槽
(4301)
等分圆周设置在贴膜台
(43)
上表面，所述贴膜驱动机构包括第二电机
(4401)
和旋转台
(4402)
，所述第二电机
(4401)
设置在承载台
(4202)
上，所述旋转台
(4402)
设置在第二电机
(4401)
的驱动端，所述第一升降件
(4201)
设置在旋转台
(4402)
上，所述第二电机
(4401)
驱使旋转台
(4402)
绕自身轴心转动，带动贴膜台
(43)
形成转动，驱使贴膜台
(43)
上等分圆周的多个放置槽
(4301)
与模体
(30)
依次对应
。6.
根据权利要求1所述高自动化晶圆贴膜设备的，其特征在于：所述导向机构
(50)
包括导轨
(5001)
和光轴
(5002)
，所述导轨
(5001)
前后对称的设置在机架
(20)
上，所述导轨
(5001)
内部，沿导轨
(5001)
长度方向开设有导向槽
(5003)
，所述光轴
(5002)
对称设置在导向槽
(5003)
两端的内壁上
。7.
根据权利要求1所述高自动化晶圆贴膜设备的，其特征在于：所述贴膜机构
(60)
包括第一安装架
(6...

【专利技术属性】
技术研发人员：李道东，
申请(专利权)人：常州烁晶光电有限公司，
类型：发明
国别省市：