【技术实现步骤摘要】
一种实验室废气处理系统及方法
[0001]本专利技术涉及废气处理
,具体来说,涉及一种实验室废气处理系统及方法
。
技术介绍
[0002]实验室在日常实验过程中会产生各种有害酸性气体,酸性有害气体直接排入大气会对大气造成严重污染,因此通常需要通过设置废气处理系统对酸性气体进行处理后,再排入大气
。
[0003]相关技术中,硅烷作为一种提供硅组分的气体源,反应性和自燃性强烈,有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量,毒性很大,同时实验室的制程中硅烷和氨气反应会产生氢气,因此实验室的制程尾气是一种流量不大的高危险性的气体,如果将直接排入中央废气处理系统,将有很高的爆炸或燃烧风险,
[0004]因此,亟需实验室废气处理系统及方法,将高危尾气就地处理,消除其可燃或爆炸危险性以后再外排至中央废气处理系统
。
[0005]针对相关技术中的问题,目前尚未提出有效的解决方案
。
技术实现思路
[0006]针对相关技术中的问题,本专利技术提出一种实验室废气处理系统及方法,以克服现有相关技术所存在的上述技术问题
。
[0007]本专利技术的技术方案是这样实现的:
[0008]本专利技术一方面:
[0009]一种实验室废气处理系统,包括:等离子室
、
氧化室
、
循环水槽和填料洗涤塔,其中;
[0010]所述等离子室的输入端用于接收来自实验室的原料废气,且所述等离子发生器的输出端与所述氧化室的 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种实验室废气处理系统,其特征在于,包括:等离子室
(3)、
氧化室
(4)、
循环水槽
(5)
和填料洗涤塔
(7)
,其中;所述等离子室
(3)
的输入端用于接收来自实验室的原料废气
(1)
,且所述等离子发生器
(2)
的输出端与所述氧化室
(4)
的输入端连接;所述氧化室
(4)
的输出端与所述循环水槽
(5)
连接,所述循环水槽
(5)
用于对所述氧化室
(4)
的烟气进行冷却和过滤,且所述氧化室
(4)
进行外夹套循环水冷却;所述循环水槽
(5)
内设有循环水泵
(14)
,且所述循环水槽
(5)
与所述填料洗涤塔
(7)
连通;所述填料洗涤塔
(7)
内设有喷淋层
(8)
和除雾层
(9)
,所述喷淋层
(8)
通过喷淋管线与所述循环水泵
(14)
连接,且原料废气
(1)
通过喷淋层
(8)
流向除雾层
(9)
并通过填料洗涤塔
(7)
的气体出口
(10)
流出
。2.
根据权利要求1所述的实验室废气处理系统,其特征在于,所述等离子室
(3)
内设有等离子发生器
(2)
,且所述等离子室
(3)
顶端设有若干组用于原料废气
(1)
流入的导气盘
。3.
根据权利要求1所述的实验室废气处理系统,其特征在于,所述循环水槽
(5)
和所述填料洗涤塔
(7)
之间连接有旋风分离器
(6)。4.
根据权利要求3所述的实验室废气处理系统,其特征在于,所述循环水槽
(5)
还连接加药箱
(12)
,所述加药箱
(12)
连接有加药泵
(13)
,所述加药泵
(13)
电性连接控制器
(11)。5.
根据...
【专利技术属性】
技术研发人员:林波,孙平,
申请(专利权)人:苏州汉特环保工程有限公司,
类型:发明
国别省市:
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