感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、液晶显示装置以及有机EL显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种放射线灵敏度高且预烘烤裕度及耐干燥性优异的感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、液晶显示装置以及有机EL显示装置。一种感放射线性组合物，含有：(A

【技术实现步骤摘要】
感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、液晶显示装置以及有机EL显示装置


[0001]本专利技术涉及一种感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、液晶显示装置以及有机EL显示装置。

技术介绍

[0002]液晶显示装置或有机电致发光(electroluminescence，EL)显示装置等显示装置所具有的硬化膜(例如，层间绝缘膜或间隔物、保护膜等)通常是使用包含聚合体成分与感放射线性化合物(例如，光酸产生剂或光聚合引发剂等)及溶剂的感放射线性组合物来形成(例如，参照专利文献1～专利文献3)。作为通过感放射线性组合物来形成具有图案的硬化膜的方法，广泛使用如下方法：将感放射线性组合物涂布于基板上，通过加热(预烘烤)而自基板上的感放射线性组合物中去除溶剂后，介隔掩模照射放射线，在放射线照射后与显影液接触，然后，进行加热(后烘烤)而使其硬化的方法。
[0003][现有技术文献][0004][专利文献][0005][专利文献1]日本专利特开2017
‑
107024号公报
[0006][专利文献2]国际公开第2011/065215本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种感放射线性组合物，含有：(A
‑
1)聚合体，选自由包含具有下述式(1)所表示的基或酸解离性基的结构单元(I)的聚合体及硅氧烷聚合物所组成的群组中的至少一种；(B
‑
1)光酸产生剂；以及(D)溶剂，所述(D)溶剂包含沸点为180℃以上且汉森溶解度参数的氢键项δH为3.0以上且13.0以下的溶剂(D1)；式(1)中，R1、R2及R3分别独立地为氢原子、卤素原子、羟基、碳数1～6的烷氧基、碳数1～10的烷基或苯基；其中，R1、R2及R3中的一个以上为碳数1～6的烷氧基；“*”表示键结键。2.根据权利要求1所述的感放射线性组合物，其中所述(D)溶剂包含相对于所述(D)溶剂的总量而为0.1质量％以上且10质量％以下的所述溶剂(D1)。3.根据权利要求1所述的感放射线性组合物，其中所述溶剂(D1)的沸点为200℃以上且所述氢键项δH为3.0以上且10.5以下。4.根据权利要求1所述的感放射线性组合物，其中所述溶剂(D1)为具有环状结构的化合物。5.根据权利要求1所述的感放射线性组合物，其中所述溶剂(D1)为选自由二氢萜品醇、(S)
‑4‑
甲基
‑
1,3
‑
二氧杂环戊烷
‑2‑
酮、二乙二醇单丁醚、二丙二醇甲醚乙酸酯及三乙二醇单丁醚所组成的群组中的至少一种。6.根据权利要求1所述的感放射线性组合物，其中所述(D)溶剂还包含沸点为160℃以下的溶剂(D2)。7.根据权利要求1所述的感放射线性组合物，其中所述(A
‑
1)聚合体还包含具有交联性基的结构单元，或者所述感放射线性组合物还包含与所述(A
‑
1)聚合体不同且含有具有交联性基的结构单元的聚合体。8.根据权利要求7所述的感放射线性组合物，其中所述交联性基为选自由氧杂环丙基、氧杂环丁基及乙烯性不饱和基所组成的群组中的至少一种。9.根据权利要求1所述的感放射线性组合物，其中所述式(1)所表示的基与芳香环基或链状烃基键结。10.根据权利要求1所述的感放射线性组合物，其中具有所述式(1)所表示的基的结构单元具有选自由下述式(3
‑
1)所表示的基、下述式(3
‑
2)所表示的基及下述式(3
‑
3)所表示的基所组成的群组中的至少一种；
式(3
‑
1)、式(3
‑
2)及式(3
‑
3)中，A1及A2分别独立地为卤素原子、羟基、碳数1～6的烷基或碳数1～6的烷氧基；n1为0～4的整数；n...

【专利技术属性】
技术研发人员：桥本律，成子朗人，浅冈高英，三村时生，
申请(专利权)人：JSR株式会社，
类型：发明
国别省市：