物理气相沉积PVD设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种物理气相沉积PVD设备，涉及材料加工技术领域。所述物理气相沉积PVD设备包括设备主体、转运装置以及夹持装置；所述设备主体形成有用于卷材加工的密闭腔体，所述密闭腔体内设有放置靶材的上料位，以及处理靶材的工作位；所述转运装置设于所述密闭腔体内，所述夹持装置连接所述转运装置，所述夹持装置用于取放靶材，所述转运装置用于带动所述夹持装置在所述密闭腔体内进行水平和/或竖向移动，以将靶材由上料位转运至工作位。本实用新型专利技术技术方案可以实现靶材的自动化更换，极大的节省人工，提高上料效率以及安全性。提高上料效率以及安全性。提高上料效率以及安全性。

【技术实现步骤摘要】
物理气相沉积PVD设备


[0001]本技术涉及材料加工
，特别涉及一种物理气相沉积PVD设备。

技术介绍

[0002]PVD物理气相沉积：指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能。以用于对太阳能基板涂覆薄膜料卷的物理气相沉积PVD设备为例，在现有设备中，设备单面开腔，太阳能基板即卷材设置在设备的门体上，薄膜料卷即靶材设置在设备的腔体内，通过门体密封腔体，再抽真空，让靶材的薄膜料卷喷溅到卷材上，实现太阳能基板的镀膜。但靶材的薄膜料卷用完，需要人工添加新的薄膜料卷，操作困难；人工操作劳动强度大，同时原料膜重量较重，人工操作费力且危险性大。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的是提供一种物理气相沉积PVD设备，旨在解决现有物理气相沉积PVD设备靶材上料效率低的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提出的物理气相沉积PVD设备，包括：
[0005]设备主体，所述设备主体形成有用于卷材加工的密闭腔体，所述密闭腔体内设有放置靶材的上料位，以及处理靶材的工作位；
[0006]转运装置，设于所述密闭腔体内；以及
[0007]夹持装置，连接所述转运装置，所述夹持装置用于取放靶材，所述转运装置用于带动所述夹持装置在所述密闭腔体内进行水平和/或竖向移动，以将靶材由上料位转运至工作位。
[0008]在一实施例中，所述转运装置包括用于带动所述夹持装置沿竖向移动的竖向移动机构以及用于带动所述竖向移动机构沿水平方向移动的水平移动机构，所述夹持装置安装于所述竖向移动机构，所述竖向移动机构安装于所述水平移动机构。
[0009]在一实施例中，所述水平移动机构包括导向件、沿所述导向件可横向移动的连杆以及沿所述连杆可纵向移动的驱动板，所述竖向移动机构包括沿所述驱动板可升降移动的升降箱，所述夹持装置连接所述升降箱。
[0010]在一实施例中，所述导向件包括两相对设置的横梁，两所述横梁上设有横向设置的滑槽，所述滑槽内设有滑块以及驱动连接所述滑块的电动伸缩杆，所述电动伸缩杆用于带动所述滑块在滑槽内横向移动，所述连杆通过两所述滑槽内的滑块滑动连接所述横梁。
[0011]在一实施例中，两所述滑块之间转动连接有与所述连杆并排设置的螺纹杆，两所述滑块中的一者上安装有与所述螺纹杆驱动连接的第一驱动电机，所述驱动板滑动连接所述连杆且与所述螺纹杆螺纹连接。
[0012]在一实施例中，所述驱动板上设有第二驱动电机、与所述第二驱动电机驱动连接
的螺纹柱，以及滑动连接所述驱动板且与所述螺纹柱螺纹连接的升降块，所述第二驱动电机用于带动所述升降块沿所述螺纹柱升降移动，所述升降箱体通过所述升降块滑动连接所述驱动板。
[0013]在一实施例中，所述驱动板上设有竖向设置的升降槽，所述第二驱动电机和螺纹柱设于所述升降槽内，所述升降块滑动连接于所述升降槽内。
[0014]在一实施例中，所述夹持装置包括转动连接所述升降箱的固定环、在所述固定环径向上相对设置的两夹持板，以及设于所述固定环上且分别驱动连接两所述夹持板的气缸，两所述夹持板可朝相互靠近或相互远离的方向移动。
[0015]在一实施例中，所述固定环外周面上连接有沿其径向设置的横轴，所述固定环通过所述横轴转动连接所述升降箱，所述升降箱上设有驱动连接所述横轴的第三驱动电机，所述固定环可绕其横向轴线周向转动。
[0016]在一实施例中，所述升降箱上转动连接有与所述横轴同向布置的驱动轴，所述第三驱动电机的输出轴连接所述驱动轴，且所述驱动轴外周套设有驱动轮，所述横轴的外周套设有从动轮，所述驱动轮传动连接从动轮，所述驱动轮的外径小于从动轮的外径。
[0017]本技术技术方案通过在设备主体内形成密闭腔体，使得密闭腔体内可以进行抽真空，以满足喷涂的环境要求；通过在所述密闭腔体内设置转运装置以及连接所述转运装置的夹持装置，使得夹持装置在所述转运装置的带动下可以在所述密闭腔体内进行水平或竖向的移动。当对卷材喷涂前，可以通过转运装置将夹持装置移动至靶材上料位处，待夹持装置夹持靶材后，再通过转运装置将夹持装置移动至靶材工作位处，夹持装置释放靶材，以将靶材置于工作位处，继而可实现靶材对卷材的喷涂处理。同理，待工作位处的靶材消耗完全后，可通过转运装置和夹持装置重复地将新的靶材由上料位处转运至工作位处。由此，可实现靶材的自动化更换，相比于人工进行靶材的更换，提高了上料的安全性，且大大提高靶材上料效率；同时，由此进行靶材的更换无需对密闭腔体重新进行抽真空处理，提高了整体沉积喷涂工艺的效率。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0019]图1为本技术物理气相沉积PVD设备一实施例的结构示意图；
[0020]图2为本技术物理气相沉积PVD设备一实施例中横梁的结构示意图；
[0021]图3为图1中物理气相沉积PVD设备另一视角的结构示意图；
[0022]图4为本技术物理气相沉积PVD设备一实施例中驱动板的结构示意图；
[0023]图5为图3中A处的放大示意图；
[0024]图6为本技术物理气相沉积PVD设备一实施例中升降箱的结构示意图。
[0025]附图标号说明：
[0026][0027][0028]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0029]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0030]需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0031]另外，在本技术中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物理气相沉积PVD设备，其特征在于，包括：设备主体，所述设备主体形成有用于卷材加工的密闭腔体，所述密闭腔体内设有放置靶材的上料位，以及处理靶材的工作位；转运装置，设于所述密闭腔体内；以及夹持装置，连接所述转运装置，所述夹持装置用于取放靶材，所述转运装置用于带动所述夹持装置在所述密闭腔体内进行水平和/或竖向移动，以将靶材由上料位转运至工作位。2.如权利要求1所述的物理气相沉积PVD设备，其特征在于，所述转运装置包括用于带动所述夹持装置沿竖向移动的竖向移动机构以及用于带动所述竖向移动机构沿水平方向移动的水平移动机构，所述夹持装置安装于所述竖向移动机构，所述竖向移动机构安装于所述水平移动机构。3.如权利要求2所述的物理气相沉积PVD设备，其特征在于，所述水平移动机构包括导向件、沿所述导向件可横向移动的连杆以及沿所述连杆可纵向移动的驱动板，所述竖向移动机构包括沿所述驱动板可升降移动的升降箱，所述夹持装置连接所述升降箱。4.如权利要求3所述的物理气相沉积PVD设备，其特征在于，所述导向件包括两相对设置的横梁，两所述横梁上设有横向设置的滑槽，所述滑槽内设有滑块以及驱动连接所述滑块的电动伸缩杆，所述电动伸缩杆用于带动所述滑块在滑槽内横向移动，所述连杆通过两所述滑槽内的滑块滑动连接所述横梁。5.如权利要求4所述的物理气相沉积PVD设备，其特征在于，两所述滑块之间转动连接有与所述连杆并排设置的螺纹杆，两所述滑块中的一者上安装有与所述螺纹杆驱动连接的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王磊，洪方，付涛，赵虎，邱阳，岑金良，
申请(专利权)人：美的集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：