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物理气相沉积PVD设备制造技术
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文档序号:39635544
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本实用新型公开一种物理气相沉积PVD设备,涉及材料加工技术领域。所述物理气相沉积PVD设备包括设备主体、转运装置以及夹持装置;所述设备主体形成有用于卷材加工的密闭腔体,所述密闭腔体内设有放置靶材的上料位,以及处理靶材的工作位;所述转运装置设...
该专利属于美的集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过美的集团股份有限公司授权不得商用。
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