一种用于PECVD设备的座电极取放工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于PECVD设备的座电极取放工装，包括：把手、拉扣、支撑杆、拉索和用于夹持座电极的弹性夹持部，支撑杆的一端与把手连接，支撑杆的另一端与弹性夹持部连接，拉扣与支撑杆铰接，拉索的一端与拉扣连接，拉索的另一端与弹性夹持部连接；通过把手和支撑杆将弹性夹持部经PECVD设备的反应腔室放置到座电极上，拨动拉扣，拉索带动弹性夹持部夹紧或松开座电极。本实用新型专利技术具有结构紧凑、操作简单且夹持可靠性高等优点，解决了因座电极距离炉口位置较远、炉尾拆装操作复杂而导致座电极拆装效率低、容易造成反应腔体损坏等问题，提高了座电极的维护效率，也提高了PECVD设备的运行稳定性。的运行稳定性。的运行稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于PECVD设备的座电极取放工装


[0001]本技术属于夹具工装
，具体涉及一种用于PECVD设备的座电极取放工装。

技术介绍

[0002]在管式PECVD设备的运行过程中，金属座电极处容易长膜，使用一段时间以后，座电极处的导电性变差，需要定期维护。在对管式PECVD设备的炉口座电极和炉尾座电极进行维护时，主要是在炉门开启或是将炉尾拆除后，利用工装夹具将前座电极和后座电极活动块从反应腔室中取出，将座电极活动块表面绝缘膜打磨处理完成后，再用工装夹具将座电极活动块插入反应腔室相应位置。由于炉尾结构较为复杂，拆除耗时较长，且反复拆装炉尾，容易造成反应腔室的密封性能降低。此外，又由于后座电极到炉口的距离较长，工装夹具不便于抓取夹紧后座电极，容易对反应腔室造成损坏。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑、操作简单且夹持可靠性高的用于PECVD设备的座电极取放工装。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0005]一种用于PECVD设备的座电极取放工装，包括：把手、拉扣、支撑杆、拉索和用于夹持座电极的弹性夹持部，所述支撑杆的一端与把手连接，支撑杆的另一端与弹性夹持部连接，所述拉扣与支撑杆铰接，所述拉索的一端与拉扣连接，拉索的另一端与弹性夹持部连接；通过把手和支撑杆将弹性夹持部经PECVD设备的反应腔室放置到座电极上，拨动拉扣，拉索带动弹性夹持部夹紧或松开座电极。
[0006]作为本技术的进一步改进，所述弹性夹持部包括：弹性复位件、夹持件、连接座和压紧块；所述支撑杆的端部与夹持件的顶部连接，所述夹持件沿竖直方向贯穿连接座，所述压紧块的一端与拉索连接，压紧块的另一端通过弹性复位件与连接座连接；拨动拉扣，拉索带动压紧块压紧或松开弹性复位件，使得连接座压紧或松开夹持件，实现夹持件的底部夹紧或松开座电极。
[0007]作为本技术的进一步改进，所述连接座包括第一连接座和第二连接座，所述第一连接座与第二连接座通过第一螺钉进行连接，所述夹持件的上部沿竖直方向贯穿第一连接座、第二连接座和第一螺钉围合成的空间。
[0008]作为本技术的进一步改进，所述第一连接座呈“L”字型结构，所述第一连接座的水平端与压紧块的端部之间设有弹性复位件，第二螺钉沿竖直方向依次贯穿压紧块的端部、弹性复位件和第一连接座的水平端，实现压紧块的端部与第一连接座的水平端弹性连接。
[0009]作为本技术的进一步改进，所述第一连接座的竖直端两侧分别通过第三螺钉与压紧块的两侧部铰接。
[0010]作为本技术的进一步改进，所述拉索上还穿设有多个套筒，所述套筒用于辅助拉索定位。
[0011]作为本技术的进一步改进，所述支撑杆的端部与把手进行螺纹连接。
[0012]作为本技术的进一步改进，所述拉索为钢丝绳。
[0013]作为本技术的进一步改进，所述弹性复位件为弹簧。
[0014]作为本技术的进一步改进，所述夹持件底部并排设有两个钩爪，所述钩爪与座电极顶部的沟槽相匹配。
[0015]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0016]本技术的用于PECVD设备的座电极取放工装，通过将支撑杆的一端与把手连接，支撑杆的另一端与用于夹持座电极的弹性夹持部连接，在支撑杆上铰接拉扣，设置拉索分别连接拉扣和弹性夹持部，即得到了结构紧凑、操作便捷的座电极取放工装；需要取出座电极时，操作人员抬起把手，将弹性夹持部经PECVD设备的炉尾法兰上的观察窗或是炉口伸入反应腔室内，并放置到座电极上方，拨动拉扣，拉索带动弹性夹持部夹紧座电极，随后拖动座电极沿着陶瓷杆移动到观察窗或是炉口附近，即可将座电极拆除。反向操作，即可实现座电极安装。有效解决了因座电极距离炉口位置较远或是炉尾拆装操作复杂而导致座电极拆装效率低、容易造成反应腔体损坏等问题，提高了座电极的维护效率，也提高了PECVD设备的运行稳定性。
附图说明
[0017]图1为本技术用于PECVD设备的座电极取放工装的结构原理示意图。
[0018]图2为图1中A处的结构原理示意图。
[0019]图3为本技术中座电极取放工装工作时的结构原理示意图。
[0020]图4为图3中B处的结构原理示意图。
[0021]图例说明：1、把手；2、拉扣；3、插销；4、支撑杆；5、拉索；6、套筒；7、弹性复位件；8、夹持件；81、钩爪；9、连接座；91、第一连接座；92、第二连接座；10、压紧块；11、第一螺钉；12、第二螺钉；13、第三螺钉；14、定位螺母；100、炉口法兰；200、炉尾法兰；300、石墨舟；400、陶瓷杆；500、抽气口；600、观察窗；700、后座电极；800、前座电极。
具体实施方式
[0022]以下结合说明书附图和具体优选的实施例对本技术作进一步描述，但并不因此而限制本技术的保护范围。
[0023]实施例
[0024]如图1至图4所示，本技术的用于PECVD设备的座电极取放工装，包括：把手1、拉扣2、支撑杆4、拉索5和用于夹持座电极的弹性夹持部。支撑杆4的一端与把手1进行螺纹连接，即支撑杆4的端部设有外螺纹，把手1的端内设有内螺纹，两者通过螺纹配合进行可拆卸连接；支撑杆4的另一端与弹性夹持部连接。拉扣2通过插销3与支撑杆4铰接，且拉扣2与支撑杆4的铰接处靠近把手1。拉索5的一端与拉扣2连接，拉索5的另一端与弹性夹持部连接。工作时，通过把手1和支撑杆4将弹性夹持部经PECVD设备的反应腔室放置到座电极上，拨动拉扣2，拉索5带动弹性夹持部夹紧或松开座电极。
[0025]如图2所示，本实施例中，弹性夹持部包括：弹性复位件7、夹持件8、连接座9和压紧块10。支撑杆4上远离把手1的端部与夹持件8的顶部进行螺纹连接，即支撑杆4的端部设有内螺纹，夹持件8的顶部设有外螺纹，两者通过螺纹配合进行可拆卸连接。夹持件8沿竖直方向贯穿连接座9，压紧块10的一端与拉索5连接，压紧块10的另一端通过弹性复位件7与连接座9连接。拨动拉扣2，拉索5带动压紧块10压紧或松开弹性复位件7，使得连接座9压紧或松开夹持件8，实现夹持件8的底部夹紧或松开座电极。本实施例中，弹性复位件7为弹簧。可以理解，在其他实施例中，弹性复位件7也可以采用其他形式，例如弹性橡胶块，只要能够实现夹持件8夹紧或松开座电极即可。
[0026]如图2所示，本实施例中，连接座9包括第一连接座91和第二连接座92，第一连接座91与第二连接座92通过两个第一螺钉11进行可拆卸连接，夹持件8的上部沿竖直方向贯穿第一连接座91、第二连接座92和两个第一螺钉11围合成的空间。在夹持件8上还设有定位螺母14，且定位螺母14位于连接座9下方，用于限制夹持件8在竖直方向上的位移，以提高夹持稳定性。
[0027]如图2所示，本实施例中，第一连接座91呈“L”字型结构，压紧块10呈“廿”字型结构，第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于PECVD设备的座电极取放工装，其特征在于，包括：把手(1)、拉扣(2)、支撑杆(4)、拉索(5)和用于夹持座电极的弹性夹持部，所述支撑杆(4)的一端与把手(1)连接，支撑杆(4)的另一端与弹性夹持部连接，所述拉扣(2)与支撑杆(4)铰接，所述拉索(5)的一端与拉扣(2)连接，拉索(5)的另一端与弹性夹持部连接；把手(1)和支撑杆(4)用于将弹性夹持部经PECVD设备的反应腔室放置到座电极上，当拉扣(2)被拨动时，拉索(5)带动弹性夹持部夹紧或松开座电极。2.根据权利要求1所述的用于PECVD设备的座电极取放工装，其特征在于，所述弹性夹持部包括：弹性复位件(7)、夹持件(8)、连接座(9)和压紧块(10)；所述支撑杆(4)的端部与夹持件(8)的顶部连接，所述夹持件(8)沿竖直方向贯穿连接座(9)，所述压紧块(10)的一端与拉索(5)连接，压紧块(10)的另一端通过弹性复位件(7)与连接座(9)连接；当拉扣(2)被拨动时，拉索(5)带动压紧块(10)压紧或松开弹性复位件(7)，使得连接座(9)压紧或松开夹持件(8)，实现夹持件(8)的底部夹紧或松开座电极。3.根据权利要求2所述的用于PECVD设备的座电极取放工装，其特征在于，所述连接座(9)包括第一连接座(91)和第二连接座(92)，所述第一连接座(91)与第二连接座(92)通过第一螺钉(11)进行连接，所述夹持件(8)的上部沿竖直方向贯穿第一连接座(91)、第二连接座(92)...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴云，肖洁，梁浩，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：