一种晶圆外观缺陷机器视觉检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆外观缺陷机器视觉检测设备，涉及晶圆检测技术领域，包括下框架，所述下框架上侧设置有上框架，所述上框架内部前侧设置上料工位以及下料工位，所述上料工位以及下料工位为六工位，且上料工位以及下料工位均安装于下框架上，所述上框架内部后侧设置有

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆外观缺陷机器视觉检测设备


[0001]本技术涉及晶圆检测
，尤其涉及一种晶圆外观缺陷机器视觉检测设备
。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨
、
抛光
、
切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆
。
但现有检测设备上料系统效率低，系统界面操作复杂繁琐，无法自动寻找方向，在检测过程中需要借助物理机构进行二次定位，导致检测效率低，产品检测兼容性较差
。
因此本实用提出了一种晶圆外观缺陷机器视觉检测设备，以解决上述
技术介绍
中提到的问题
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆外观缺陷机器视觉检测设备
。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]一种晶圆外观缺陷机器视觉检测设备，包括下框架，所述下框架上侧设置有上框架，所述上框架内部前侧设置上料工位以及下料工位，所述上料工位以及下料工位为六工位，且上料工位以及下料工位均安装于下框架上，所述上框架内部后侧设置有
XY
运动平台，所述
XY
运动平台上设置有晶圆定位冶具，所述
XY
运动平台外部设置有
Z
轴模组安装支架，所述
Z
轴模组安装支架上侧安装有
Z
>轴模组，所述
Z
轴模组前侧安装有相机以及打标头
。
[0006]优选地，所述
XY
运动平台前侧设置有安装于上框架内的上下料机械手
。
[0007]优选地，所述
XY
运动平台与
Z
轴模组安装支架均安装于下框架表面
。
[0008]优选地，所述晶圆定位冶具通过
XY
运动平台前后左右滑动于上框架内，且
Z
轴模组上下滑动于
Z
轴模组安装支架上
。
[0009]优选地，所述
Z
轴模组通过
Z
轴模组安装支架上下滑动于上框架内，且
Z
轴模组前侧下端安装有光源
。
[0010]优选地，所述上框架前侧安装有触摸屏，触摸屏下侧设置有鼠标键盘，且触摸屏上侧设置有显示器
。
[0011]优选地，所述上框架上侧安装有风机过滤单元
。
[0012]优选地，所述上框架上侧一角安装有三色灯，下框架下侧四角均安装有可调节脚轮
。
[0013]相比现有技术，本技术的有益效果为：
[0014]1、
本技术通过设计的
2x6
工位上料系统
、
效率高，算法自动寻找方向，无需物理机构二次定位，检测和打点分开，提高效率，自动生成
map
，包括
OK
和
NOK Wafer die
；
[0015]2、
本技术设置的任意数量的储料机构，不影响设备自动运作，兼容多规格产
品，系统界面简单易操作，具有丰富的检测信息显示
(
包括合格产品数目，废品数目，合格率等信息显示
)。
附图说明
[0016]图1为本技术提出的一种晶圆外观缺陷机器视觉检测设备的结构示意图；
[0017]图2为本技术提出的一种晶圆外观缺陷机器视觉检测设备中上框架内部结构示意图；
[0018]图3为本技术提出的一种晶圆外观缺陷机器视觉检测设备的侧面结构示意图；
[0019]图4为本技术提出的一种晶圆外观缺陷机器视觉检测设备的正面结构示意图；
[0020]图5为本技术提出的一种晶圆外观缺陷机器视觉检测设备的俯视结构示意图
。
[0021]图中：
1、
下框架；
2、
上框架；
3、
鼠标键盘；
4、
触摸屏；
5、
显示器；
6、
三色灯；
7、
风机过滤单元；
8、
下料工位；
9、
上料工位；
10、XY
运动平台；
11、
上下料机械手；
12、
晶圆定位冶具；
13、
光源；
14、Z
轴模组安装支架；
15、
打标头；
16、
相机；
17、Z
轴模组；
18、
可调节脚轮
。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
[0023]参照图1‑5，一种晶圆外观缺陷机器视觉检测设备，包括下框架1，下框架1上侧设置有上框架2，上框架2内部前侧设置上料工位9以及下料工位8，上料工位9以及下料工位8为六工位，且上料工位9以及下料工位8均安装于下框架1上，上框架2内部后侧设置有
XY
运动平台
10
，
XY
运动平台
10
上设置有晶圆定位冶具
12
，
XY
运动平台
10
前侧设置有安装于上框架2内的上下料机械手
11
，人工把晶圆放到上料工位9的六个工位里，按要求摆满，也可少于满仓数量，操作设备回原点，回原点后就可以自动启动设备；
[0024]进一步的是，
XY
运动平台
10
外部设置有
Z
轴模组安装支架
14
，
Z
轴模组安装支架
14
上侧安装有
Z
轴模组
17
，
Z
轴模组
17
前侧安装有相机
16
以及打标头
15
，
XY
运动平台
10
与
Z
轴模组安装支架
14
均安装于下框架2表面，晶圆定位冶具
12
通过
XY
运动平台
10
前后左右滑动于上框架2内，且
Z
轴模组
17
上下滑动于
Z
轴模组安装支架
14
上，
Z
轴模组
17
通过
Z
轴模组安装支架
14
上下滑动于上框本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆外观缺陷机器视觉检测设备，包括下框架
(1)
，其特征在于，所述下框架
(1)
上侧设置有上框架
(2)
，所述上框架
(2)
内部前侧设置上料工位
(9)
以及下料工位
(8)
，所述上料工位
(9)
以及下料工位
(8)
为六工位，且上料工位
(9)
以及下料工位
(8)
均安装于下框架
(1)
上，所述上框架
(2)
内部后侧设置有
XY
运动平台
(10)
，所述
XY
运动平台
(10)
上设置有晶圆定位冶具
(12)
，所述
XY
运动平台
(10)
外部设置有
Z
轴模组安装支架
(14)
，所述
Z
轴模组安装支架
(14)
上侧安装有
Z
轴模组
(17)
，所述
Z
轴模组
(17)
前侧安装有相机
(16)
以及打标头
(15)。2.
根据权利要求1所述的一种晶圆外观缺陷机器视觉检测设备，其特征在于，所述
XY
运动平台
(10)
前侧设置有安装于上框架
(2)
内的上下料机械手
(11)。3.
根据权利要求1所述的一种晶圆外观缺陷机器视觉检测设备，其特征在于，所述
XY
运动平台
(10)
与
Z...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟贤青，袁高，郑振平，
申请(专利权)人：开异智能技术上海有限公司，
类型：新型
国别省市：