【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种单晶炉真空管路。
技术介绍
目前，在单晶炉真空管路中，其真空计与抽气管道直接相连接，导致设置在真空管 路旁侧的水管产生的水凝，会直接滴到真空计上，造成真空计报废；另外，真空计与抽气管 道相距太近，在单晶炉清扫时，易碰到真空计，增加对真空计磨损，减少了真空计的使用寿 命。
技术实现思路
本技术的目的是提供能间接提高真空计使用寿命的一种单晶炉真空管路。本技术采取的技术方案是一种单晶炉真空管路，包括真空计与抽气管道，其 特征在于真空计通过软管与抽气管道相接。采用本技术，由于真空计通过软管连接抽气管道，单晶炉中水管产生的水凝 不会直接滴到真空计上，同时，在清扫时不会碰到真空计，因此间接提高了真空计的使用寿 命。附图说明图1是本技术的示意图。具体实施方式下面结合具体的实施例对本技术作进一步说明。参照图1，该单晶炉真空管路包括真空计3与抽气管道4，真空计3通过软管2与 抽气管4相接通，水管1设置在真空管路的侧边，由于软管2使真空计1远离抽气管道4，单 晶炉中水管1产生的水凝不会直接滴到真空计3上，同时，在清扫抽气管道4时不会碰到真 空计3，因此间接提高了真空计3的使用寿命。权利要求一种单晶炉真空管路，包括真空计与抽气管道，其特征在于真空计通过软管与抽气管道相接。专利摘要本技术涉及一种单晶炉真空管路，该单晶炉真空管路包括真空计与抽气管道，真空计通过软管与抽气管道相接。采用本技术，由于真空计通过软管连接抽气管道，单晶炉中水管产生的水凝不会直接滴到真空计上，同时，在清扫时不会碰到真空计，因此间接提高了真空计的使用寿命。文档编号C30B35/00GK201665...
【技术保护点】
一种单晶炉真空管路，包括真空计与抽气管道，其特征在于真空计通过软管与抽气管道相接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郜勇军，郑裕财，夏安阳，
申请(专利权)人：浙江矽盛电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：33[中国|浙江]
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