一种用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备及方法技术

本发明专利技术提供一种用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备及方法，包括夹具体以及与夹具配套使用的工作台体，夹具体中设有中空腔室，所述夹具体具有若干圆周均匀分布的小孔，且小孔中还具有连接中空腔室的抽真空通道，通过对中空腔室抽真空的方式完成夹具体的小孔对待抛光轴承挡片的装夹，所述夹具体外轮廓为轮齿结构，所述工作台体为具有内齿轮结构的抛光台，传动装置与抛光台相连

【技术实现步骤摘要】
一种用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备及方法


[0001]本专利技术涉及机械零件加工
，尤其涉及一种大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备及方法
。

技术介绍

[0002]轴承广泛应用于各类机械设备中，是机械设备正常运转的重要零件之一
。
在机械设备中，轴承起着减小摩擦
、
支撑等作用，性能优异的轴承不仅能大大降低摩擦损耗，还能增加机械设备的使用寿命
。
[0003]轴承挡片作为与轴承搭配使用的重要零部件之一，其加工精度的高低直接影响轴承的使用性能
。
微小轴承挡片的抛光存在挡片难以夹持
、
无法大批量生产加工的问题，因此亟需设计一种带有微小型轴承挡片专用夹具的大批量加工抛光设备来解决上述问题
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决上述实际加工中存在的问题，进而提出的一种用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备及方法
。
[0005]本专利技术采用的技术手段如下：
[0006]一种用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备，包括夹具体以及与夹具配套使用的工作台体，夹具体中设有中空腔室，所述夹具体具有若干圆周均匀分布的小孔，且小孔中还具有连接中空腔室的抽真空通道，通过对中空腔室抽真空的方式完成夹具体的小孔对待抛光轴承挡片的装夹，所述夹具体外轮廓为轮齿结构，所述工作台体为具有内齿轮结构的抛光台，传动装置与抛光台相连
。
[0007]进一步地，所述工作台体中间部分为中空圆柱体，中间部分与工作台体外壁构成抛光设备废料仓
。
[0008]进一步地，抛光台工作面靠近轮齿处具有环形排水槽，排水槽中具有若干排水孔，排水孔的输出端与废料仓相连
。
[0009]进一步地，抛光台中间部分具有通孔，圆柱滚子轴承过盈装配在通孔处，传动装置主轴部分通过抛光台通孔与圆柱滚子轴承配合，再通过联轴器与高精度电机的电机轴相连接，传动装置齿轮部分置于抛光台上
。
[0010]进一步地，所述夹具体外部设有阀门接口，夹具体通过该阀门接口与球阀连接，所述阀门另一端与气泵连接，通过气泵将所述夹具体中空腔室抽至真空
。
[0011]进一步地，所述工作台体后侧外壁连接可伸缩式桌板，用于放置抛光用具，同侧开有排水口
。
[0012]进一步地，所述抛光台底面设计有圆环形凹槽，与承接所述抛光台的中空圆柱体薄壁相契合，用以安装定位以及减少所述抛光台转动时产生的摩擦
。
[0013]本专利技术还提供了一种用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备的使
用方法，包括如下步骤：
[0014]S1
：将夹具体与阀门连接，并检查气密性是否良好；
[0015]S2
：将待加工挡片放置在所述夹具体的小孔中，挡片厚度略微超出小孔深度，超出部分在挡片待加工余量范围之间；
[0016]S3
：将所述阀门另一端与气泵连接，通过气泵将所述夹具体的中空腔室抽至真空，以达到将挡片牢牢吸附在所述夹具体小孔中的目的，且可靠吸附时间满足实际加工时间要求；
[0017]S4
：将安装完毕的所述夹具体放置在抛光台上，所述抛光台
、
所述夹具体以及所述传动装置三者轮齿相互啮合，形成差动轮系结构，根据差动轮系运动规律，所述夹具体自转的同时也可以绕中心轮传动装置公转，进行挡片的单面抛光；
[0018]S5
：待挡片一端面抛好后，将所述夹具体与另一相同夹具体对接，使挡片与另一所述夹具体小孔一一对应；
[0019]S6
：打开阀门，将吸附挡片的所述夹具体恢复到夹持前的状态，再将另一相同夹具体重复上述
S1
和
S3
的步骤，从而使挡片吸附在另一相同夹具体上；
[0020]S7
：重复
S4
步骤，以达到挡片双面抛光的效果
。
[0021]较现有技术相比，本专利技术具有以下优点：
(1)
本专利技术解决了微小轴承挡片抛光时难以夹持的问题；
(2)
本专利技术所述夹具体小孔分布均匀且数量众多，使得所述夹具体可一次性装夹
300
～
400
甚至更多微小型轴承挡片，满足了轴承挡片大批量加工的生产需求；
(3)
本专利技术能够实现轴承挡片双面抛光的目标，减少了实际抛光过程中的加工工序；
(4)
两夹具体交接过程简单准确，大大缩短工件装夹时间，有效提高加工效率；
(5)
所述夹具体整体结构紧凑，安装方便
、
使用可靠
。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做以简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0023]图1为本专利技术实施例用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械设备的立体示意图
。
[0024]图2为本专利技术实施例用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械设备的剖面图
。
[0025]图3为本专利技术实施例夹具体的正视图
。
[0026]图4为本专利技术实施例夹具体的剖面视图
。
[0027]图5为本专利技术实施例抛光台的前视图
。
[0028]图6为本专利技术实施例抛光台后视图
。
[0029]1、
夹具体；
2、
抛光台；
3、
传动装置；
4、
工作台外壁箱体；
5、
球阀；
6、
伸缩桌板；
7、
设备总排水口；
8、
地脚；
9、
圆柱滚子轴承；
10、
联轴器；
11、
高精度电机；
12、
中空圆柱台体；
13、
抛光台排水槽；
14、
抛光台通孔；
15、
抛光台排水孔；
16、
抛光台底面圆环形凹槽；
17、
挡片装夹孔；
18、
夹具体中空腔室；
19、
中空腔室连接通道
。
具体实施方式
[0030]需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合
。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术
。
[0031]为使本专利技术实施例的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备，其特征在于，包括夹具体以及与夹具配套使用的工作台体，夹具体中设有中空腔室，所述夹具体具有若干圆周均匀分布的小孔，且小孔中还具有连接中空腔室的抽真空通道，通过对中空腔室抽真空的方式完成夹具体的小孔对待抛光轴承挡片的装夹，所述夹具体外轮廓为轮齿结构，所述工作台体为具有内齿轮结构的抛光台，传动装置与抛光台相连
。2.
根据权利要求1所述的用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备，其特征在于，所述工作台体中间部分为中空圆柱体，中间部分与工作台体外壁构成抛光设备废料仓
。3.
根据权利要求1所述的用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备，其特征在于，抛光台工作面靠近轮齿处具有环形排水槽，排水槽中具有若干排水孔，排水孔的输出端与废料仓相连
。4.
根据权利要求1所述的用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备，其特征在于，抛光台中间部分具有通孔，圆柱滚子轴承过盈装配在通孔处，传动装置主轴部分通过抛光台通孔与圆柱滚子轴承配合，再通过联轴器与高精度电机的电机轴相连接，传动装置齿轮部分置于抛光台上
。5.
根据权利要求1所述的用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备，其特征在于，所述夹具体外部设有阀门接口，夹具体通过该阀门接口与球阀连接，所述阀门另一端与气泵连接，通过气泵将所述夹具体中空腔室抽至真空
。6.
根据权利要求1所述的用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备，其特征在于，所述工作台体后侧外壁连接可伸缩式桌板，用于放置抛光用具，同侧开有排水口
。7....

【专利技术属性】
技术研发人员：孟凡宁，张振宇，周红秀，石春景，冯俊元，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：