一种用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备及方法技术

本发明专利技术提供一种用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备及方法，包括夹具体以及与夹具配套使用的工作台体，夹具体中设有中空腔室，所述夹具体具有若干圆周均匀分布的小孔，且小孔中还具有连接中空腔室的抽真空通道，通过对中空腔室抽真空的方式完成夹具体的小孔对待抛光轴承挡片的装夹，所述夹具体外轮廓为轮齿结构，所述工作台体为具有内齿轮结构的抛光台，传动装置与抛光台相连

【技术实现步骤摘要】
一种用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备及方法


[0001]本专利技术涉及机械零件加工
，尤其涉及一种大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备及方法
。

技术介绍

[0002]轴承广泛应用于各类机械设备中，是机械设备正常运转的重要零件之一
。
在机械设备中，轴承起着减小摩擦
、
支撑等作用，性能优异的轴承不仅能大大降低摩擦损耗，还能增加机械设备的使用寿命
。
[0003]轴承挡片作为与轴承搭配使用的重要零部件之一，其加工精度的高低直接影响轴承的使用性能
。
微小轴承挡片的抛光存在挡片难以夹持
、
无法大批量生产加工的问题，因此亟需设计一种带有微小型轴承挡片专用夹具的大批量加工抛光设备来解决上述问题
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决上述实际加工中存在的问题，进而提出的一种用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备及方法
。
[0005]本专利技术采用的技术手段如下：
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备，其特征在于，包括夹具体以及与夹具配套使用的工作台体，夹具体中设有中空腔室，所述夹具体具有若干圆周均匀分布的小孔，且小孔中还具有连接中空腔室的抽真空通道，通过对中空腔室抽真空的方式完成夹具体的小孔对待抛光轴承挡片的装夹，所述夹具体外轮廓为轮齿结构，所述工作台体为具有内齿轮结构的抛光台，传动装置与抛光台相连
。2.
根据权利要求1所述的用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备，其特征在于，所述工作台体中间部分为中空圆柱体，中间部分与工作台体外壁构成抛光设备废料仓
。3.
根据权利要求1所述的用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备，其特征在于，抛光台工作面靠近轮齿处具有环形排水槽，排水槽中具有若干排水孔，排水孔的输出端与废料仓相连
。4.
根据权利要求1所述的用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备，其特征在于，抛光台中间部分具有通孔，圆柱滚子轴承过盈装配在通孔处，传动装置主轴部分通过抛光台通孔与圆柱滚子轴承配合，再通过联轴器与高精度电机的电机轴相连接，传动装置齿轮部分置于抛光台上
。5.
根据权利要求1所述的用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备，其特征在于，所述夹具体外部设有阀门接口，夹具体通过该阀门接口与球阀连接，所述阀门另一端与气泵连接，通过气泵将所述夹具体中空腔室抽至真空
。6.
根据权利要求1所述的用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备，其特征在于，所述工作台体后侧外壁连接可伸缩式桌板，用于放置抛光用具，同侧开有排水口
。7....

【专利技术属性】
技术研发人员：孟凡宁，张振宇，周红秀，石春景，冯俊元，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：