【技术实现步骤摘要】
光路调节装置及二维声光偏转装置
[0001]本申请涉及激光微加工领域领域，尤其涉及一种光路调节装置
。
技术介绍
[0002]随着激光微加工领域的高速发展，目前大多数的激光微加工系统及相关设备，由于其稳定性较差以及加工精度的限制，已不能满足在超高精度超快激光微加工的需求了
。
[0003]声光偏转器能改变激光的角度，提高光路的稳定性，提高加工精度
。
市面上的声光偏转器没有一个较为完整的调节装置，仅有简单的调节安装介绍，而一个完整的二维声光偏转装置对整个光路系统有着较为关键的作用
。
[0004]因此，急需要一种能够对两个声光偏转器的位置进行精确调节的光路调节装置及二维声光偏转装置来克服上述的缺陷
。
技术实现思路
[0005]本申请实施例的一目的在于提供一种能够对二维声光偏转装置进行精确调节的光路调节装置
。
[0006]本申请实施例的另一目的在于提供一种能够对两个声光偏转器的位置进行精确调节的二维声光偏转装置来克服上述的缺陷
[0007]为实现上述目的，本申请实施例提供一种光路调节装置，其适用于二维声光偏转装置的光路调节，所述二维声光偏转装置包括沿光路方向依次设置的第一声光偏转器及第二声光偏转器，所述光路调节装置包括装配台
、
供所述第一声光偏转器装配其上的第一调节装置及供所述第二声光偏转器装配其上的第二调节装置；所述装配台的
X
轴方向为光路方向，所述装配台的
X
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种光路调节装置，适用于二维声光偏转装置的光路调节，所述二维声光偏转装置包括沿光路方向依次设置的第一声光偏转器及第二声光偏转器，其中，所述光路调节装置包括：一装配台，所述装配台的
X
轴方向为光路方向，所述装配台的
X
轴方向
、Y
轴方向
、Z
轴方向彼此垂直；一供所述第一声光偏转器装配其上的第一调节装置，所述第一调节装置装配于所述装配台，所述第一调节装置可在操作下改变所述第一声光偏转器沿所述装配台的
Y
轴方向和
Z
轴方向位移的相对位置，所述第一调节装置还可在操作下改变所述第一声光偏转器绕所述装配台的
Y
轴方向和
Z
轴方向旋转的相对位置；以及一供所述第二声光偏转器装配其上的第二调节装置，所述第二调节装置装配于所述装配台，所述第二调节装置可在操作下改变所述第二声光偏转器沿所述装配台的
Y
轴方向和
Z
轴方向位移的相对位置，所述第二调节装置还可在操作下改变所述第一声光偏转器绕所述装配台的
Y
轴方向和
Z
轴方向旋转的相对位置；其中，所述第一调节装置
、
第二调节装置沿所述装配台的
X
轴方向依次设置
。2.
如权利要求1所述的光路调节装置，其中，所述第一调节装置包含：一可在操作驱使所述第一声光偏转器沿所述装配台的
Y
轴方向位移的第一
Y
轴位移组件；一可在操作驱使所述第一声光偏转器沿所述装配台的
Z
轴方向位移的第一
Z
轴位移组件；一可在操作下驱使所述第一声光偏转器绕所述装配台的
Y
轴方向旋转的第一
Y
轴旋转组件；以及一可在操作下驱使所述第一声光偏转器绕所述装配台的
Z
轴方向旋转的第一
Z
轴旋转组件；其中，所述第一
Y
轴位移组件
、
第一
Z
轴位移组件
、
第一
Y
轴旋转组件和第一
Z
轴旋转组件按一定顺序依次装配连接
。3.
如权利要求2所述的光路调节装置，其中，所述第一
Y
轴位移组件固定端固定于所述装配台，所述第一
Z
轴旋转组件的固定端装配于所述第一
Y
轴位移组件的活动端，所述第一
Z
轴位移组件的固定端装配于所述第一
Z
轴旋转组件的活动端，所述第一
Y
轴旋转组件的固定端装配于所述第一
Z
轴位移组件的活动端，所述第一
Y
轴旋转组件的活动端用于供所述第一声光偏转器装配连接
。4.
如权利要求3所述的光路调节装置，其中，所述第一调节装置还包含平行设置的第一
L
型连接板和第二
L
型连接板，所述装配台
、
第一
Y
轴位移组件
、
第一
Z
轴旋转组件
、
第一
L
型连接板和第二
L
型连接板沿所述装配台的
Z
轴方向依次设置，所述第二
L
型连接板
、
第一
Y
旋转组件和第一
Z
轴位移组件沿所述装配台的
Y
轴方向依次设置；所述第一
L
型连接板的一端与所述第一
Z
轴位移组件的固定端固定连接，所述第一
L
型连接板的另一端与所述第一
Z
轴旋转组件的活动端固定连接；所述第二
L
型连接板的一端与所述第一
Y
轴旋转组件的活动...
【专利技术属性】
技术研发人员：张溢循，高垒，朱建海，林小波，杨小君，
申请(专利权)人：广东中科微精光子制造科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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