用于激光材料加工的组件制造技术

一种用于激光材料加工的组件具有至少激光束源(5)、分束装置(6)、带有多个声光调制器(4)的调制装置以及动态光束偏转装置(9)。通过分束装置(6)将准直激光束(10)二维地分成多个子光束(1)，所述子光束至少在第一维度上彼此不平行地延伸。在分束装置(6)和调制装置之间布置用于使子光束(1)在所述第一维度上平行的光学组件。所述光学组件具有多个棱镜(12)的组件，该组件设计并且布置为使得所述子光束(1)在穿过所述棱镜(12)时分别通过两次折射在所述第一维度上彼此平行地定向。由此子光束(1)的准直在声光调制器(4)中保持不变，从而使在声光调制器(4)中的调制能够以最大效率进行。这种组件由此也能够以紧凑的结构形式实现。这种组件由此也能够以紧凑的结构形式实现。这种组件由此也能够以紧凑的结构形式实现。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于激光材料加工的组件


[0001]本专利技术涉及一种用于激光材料加工的组件，其至少具有：激光束源，所述激光束源发射准直激光束；分束装置，所述分束装置将准直激光束二维地分成多个子光束；调制装置，所述调制装置用于彼此无关地调制各个子光束；以及动态光束偏转装置，借助所述动态光束偏转装置能够将子光束在两个彼此垂直的方向上动态地偏转并且可以引导到加工平面上。
[0002]激光被使用在材料加工的多个
中，例如用于表面结构化、用于接合或切割或者也被使用在增材制造的领域中。可供激光材料加工使用的激光束源，特别是用于超短脉冲的激光辐射的激光束源被提供越来越高的功率。然而由材料决定地限制了用于工件上的激光光斑的最大功率。为了高效地利用高的激光功率，总功率因此通常被分配给多个子光束。通过呈由多个行和列构成的矩阵形式的、激光光斑的二维布置还可以进行快速的材料加工。这为了获得加工过程的灵活性而要求单独地接通和阻断每个单个的子光束的可能性。为此通常使用声光调制器(AOM)。光束偏转的切换速度和衍射效率在声光调制器中强烈地与光束直径、光束到声光调制器的晶体上的入射角以及光束本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于激光材料加工的组件，所述组件至少具有：
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激光束源(5)，所述激光束源发射准直激光束(10)；
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分束装置(6)，所述分束装置将所述准直激光束(10)二维地分成多个子光束(1)，所述子光束至少在第一维度上彼此不平行地延伸；
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第一光学组件，所述第一光学组件将所述子光束(1)在所述第一维度上彼此平行地定向；
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调制装置，所述调制装置具有多个声光调制器(4)，所述声光调制器在所述第一维度上多通道地设计，并且借助所述声光调制器可以彼此无关地调制各个子光束(1)；和
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动态光束偏转装置(9)，借助所述动态光束偏转装置能够将所述子光束(1)在两个彼此垂直的方向上动态地偏转并且引导到加工平面上，
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其中，所述第一光学组件具有多个第一棱镜(12)，所述第一棱镜设计并且布置为使得所述子光束(1)在穿过所述第一棱镜(12)时分别通过两次折射而在所述第一维度上彼此平行地定向。2.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，所述第一棱镜(12)在形成第一棱镜堆(11)的情况下刚性地彼此连接。3.根据权利要求1或2所述的组件，其特征在于，所述第一光学组件也具有优选地无焦的第一望远镜(13)，通过所述第一望远镜减小所述子光束(1)的光束直径。4.根据权利要求1至3中任一项所述的组件，其特征在于，所述动态光束偏转装置(9)具有围绕彼此垂直的轴线能摆动的两个镜子(20，21)。5.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：亚琛工业大学，
类型：发明
国别省市：