一种氦气净化设备及净化方法技术

本发明专利技术涉及氦气净化技术领域，公开了一种氦气净化设备及净化方法，氦气净化设备包括支架

【技术实现步骤摘要】
一种氦气净化设备及净化方法


[0001]本专利技术涉及氦气净化
，特别是涉及一种氦气净化设备及净化方法
。

技术介绍

[0002]氦气在电子半导体行业中可以实现零部件的快速冷却，从而提高生产率，还能控制热传递速率，改善生产效率并减少缺陷，目前半导体芯片行业中对于氦气的杂质指标已经提高到十亿分之一的浓度标准，而传统行业中仅提出了百万分之一的浓度标准，氦气纯化技术是采用金属吸气反应原理，通过活性元素或表面化学反应从气体流中除去杂质气体原子和分子，采用高性能吸气剂纯化材料，通过化学反应的方法在
300℃
高温下将气体中的水
、
氧
、
一氧化碳
、
二氧化碳
、
氢气
、
甲烷
、
氮气等杂质高效去除到
PPB
级别以下，成功以纯度为
99.999
％的氦气为原料，提纯到
99.9999999
％，具备为我国半导体与集成电路
、
显示面板等行业长期稳定供应
PPB
级超纯氦气的能力，然而氦气在应用领域中最终都随着工业废气一起排出，造成了大量的资源浪费，不符合人们日益增长的节能环保需求，目前，虽然有一些氦气回收系统能够回收氦气，但是回收后氦气的纯度无法保证，回收后的氦气还需要进行纯化才能再次使用，而氦气的纯化也十分麻烦，成本较高
。
[0003]现有技术公开了一种氦气回收装置，涉及氦气回收
；而该技术包括底板，底板的上表面固定设有回收箱，回收箱上连接有气泵，底板的下表面固定设有支撑腿，支撑腿设有四个，回收箱上连接有进气管，进气管上连接有网板过滤组件，进气管上连接有活性炭过滤组件，网板过滤组件包括矩形槽与矩形框，矩形槽开设在进气管上，矩形槽内开设有卡槽，矩形框可活动插设在进气管内，该技术可通过打开气泵通过进气管将氦气导入到回收箱内，氦气在进入到回收箱之前，可先通过矩形框内的滤网对较大的灰尘颗粒，毛絮等进行过滤，在活性炭箱内的活性炭对氦气中的杂质进行去除，提升氦气的回收纯度
。
该现有技术存在氦气提纯过程中过滤网堵塞会影响提纯效率和提纯效果的问题
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是：提供一种氦气净化设备及净化方法，实现氦气高纯度的净化，提高提取氦气的纯净度，以及提高氦气净化的速率
。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术提供了一种氦气净化设备，包括：支架
、
净化壳体
、
转轴
、
储氦板
、
喷水板和加热板，所述净化壳体位于所述支架上，所述净化壳体包括底盘
、
套壳和顶盖，所述净化壳体中设有吸附区域
、
清洗区域和释放区域，所述底盘上对应吸附区域处设有进气口，所述底盘上对应清洗区域处设有排水口，所述底盘上对应释放区域处设有出气口，所述转轴位于所述净化壳体上，且所述转轴与所述净化壳体转动连接，所述储氦板数量为三个，所述三个储氦板沿着所述转轴周向均匀间隔设置，每个所述储氦板的两侧外表面均设有一个过滤板，所述顶盖上与所述清洗区域对应的位置处设有喷水板，且所述喷水板的数量与所述过滤板一致，所述顶盖上与所述释放区域对应的位置处设有加热板，且所述加热板的数量与所述过滤板一致，所述支架上设有第一移动组件和第二移动组件，所述
第一移动组件能带动所述喷水板移动
、
并穿过顶盖插入所述储氦板和所述过滤板之间，所述第二移动组件能带动所述加热板移动
、
并穿过顶盖插入所述储氦板和所述过滤板之间
。
[0006]优选的，所述进气口上装设有进气机构，所述排水口上装设有排水机构，所述出气口上装设有出气机构，所述进气机构为进气单向电磁阀，所述排水机构为排水单向电磁阀，所述出气机构为出气条口
。
[0007]优选的，还包括条形板和第二弹性件，所述底盘包括底壳，所述底壳位于所述底盘的底端，所述出气口位于所述底壳上，所述出气口与所述条形板的一端插接，所述条形板的另一端穿过所述底壳至所述净化壳体的外部，所述第二弹性件一端与所述底壳接触，且所述第二弹性件另一端与所述条形板接触
。
[0008]优选的，所述套壳的内部设有旋转环，所述旋转环与所述套壳内壁接触，所述转轴的外壁和所述旋转环的内壁分别设有第一卡接部和第二卡接部，所述第一卡接部和所述第二卡接部用来与所述储氦板的侧边卡接
。
[0009]优选的，所述第一卡接部与所述活动框架对应的侧边之间连接设有第一柔性密封条，所述第二卡接部与所述延伸板之间连接设有第二柔性密封条
。
[0010]优选的，所述过滤板的外圈设有活动框架，所述过滤板与所述活动框架连接，所述转轴的两端设有内圈圆环，所述旋转环的两端设有外圈圆环，所述活动框架的上端两侧和下端两侧均设有卡口，且所述活动框架的上端两侧和下端两侧的卡扣均分别与所述内圈圆环和所述外圈圆环滑动连接
。
[0011]优选的，所述活动框架的上端中部设有延伸柱，所述延伸柱轴向与所述活动框架的宽度方向垂直，所述顶盖上设有环口，所述环口与所述延伸柱滑动连接，所述延伸柱的端部设有倾斜端面向所述储氦板的斜坡，所述斜坡用于所述喷水板和所述加热板下移时沿其滑动
。
[0012]优选的，所述活动框架靠近所述旋转环的一侧设有延伸板，所述延伸板与第二卡接部之间设有第一弹性件，所述第一弹性件一端与所述延伸板接触，所述第一弹性件另一端与所述第二卡接部接触
。
[0013]优选的，所述顶盖上设有多个穿口，每个所述喷水板和每个所述加热板均分别能够通过所述穿口穿过顶盖插入所述储氦板和所述过滤板之间
。
[0014]优选的，所述底盘的底部且位于所述出气条口的位置处固定设有底壳，所述出气条口位于所述底壳中，所述底壳上开设有排气口，所述出气条口中插设有与其契合的条形板，所述条形板的两端朝着所述底壳的方向延伸设有穿过所述底壳向外延伸的导向杆，所述底壳上开设有供所述导向杆穿过的导向口，所述底壳与所述条形板之间固定连接有套设在所述导向杆上的第二弹性件
。
[0015]优选的，所述条形板的两端朝向所述释放区域内延伸设有凸块，当所述加热板插入所述过滤板和储氦板之间且移动到位后，所述加热板抵压所述凸块促使所述条形板移开所述出气条口使得所述出气条口处于打开状态
。
[0016]优选的，所述第一移动组件和所述第二移动组件均包括边框
、
导轨
、
直线驱动器和连杆，所述喷水板和所述加热板的上端均设有边框，所述顶盖的上表面设有立柱，所述立柱垂直设置且轴向与所述转轴轴向平行，所述边框上设有弧形条，所述弧形条与所述立柱连接，所述顶盖上垂直设有导轨，且所述导轨与所述边框滑动连接，所述直线驱动器的输出端
与所述连杆的一端连接，所述连杆的另一端与所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种氦气净化设备，包括：支架
(1)、
净化壳体
(2)、
转轴
(3)、
储氦板
(4)、
喷水板
(6)
和加热板
(7)
，所述净化壳体
(2)
位于所述支架
(1)
上，所述净化壳体
(2)
包括底盘
(21)、
套壳
(22)
和顶盖
(23)
，所述净化壳体
(2)
中设有吸附区域
(221)、
清洗区域
(222)
和释放区域
(223)
，所述底盘
(21)
上对应吸附区域
(221)
处设有进气口，所述底盘
(21)
上对应清洗区域
(222)
处设有排水口，所述底盘
(21)
上对应释放区域
(223)
处设有出气口，所述转轴
(3)
位于所述净化壳体
(2)
上，且所述转轴
(3)
与所述净化壳体
(2)
转动连接，所述储氦板
(4)
数量为三个，所述三个储氦板
(4)
沿着所述转轴
(3)
周向均匀间隔设置，每个所述储氦板
(4)
的两侧外表面均设有一个过滤板
(5)
，所述顶盖
(23)
上与所述清洗区域
(222)
对应的位置处设有喷水板
(6)
，且所述喷水板
(6)
的数量与所述过滤板
(5)
一致，所述顶盖
(23)
上与所述释放区域
(223)
对应的位置处设有加热板
(7)
，且所述加热板
(7)
的数量与所述过滤板
(5)
一致，所述支架
(1)
上设有第一移动组件
(8)
和第二移动组件
(9)
，所述第一移动组件
(8)
能带动所述喷水板
(6)
移动
、
并穿过顶盖
(23)
插入所述储氦板
(4)
和所述过滤板
(5)
之间，所述第二移动组件
(9)
能带动所述加热板
(7)
移动
、
并穿过顶盖
(23)
插入所述储氦板
(4)
和所述过滤板
(5)
之间
。2.
根据权利要求1所述的一种氦气净化设备，其特征在于，所述进气口上装设有进气机构，所述排水口上装设有排水机构，所述出气口上装设有出气机构，所述进气机构为进气单向电磁阀
(211)
，所述排水机构为排水单向电磁阀
(212)
，所述出气机构为出气条口
(213)。3.
根据权利要求2所述的一种氦气净化设备，其特征在于，还包括条形板
(215)
和第二弹性件
(2152)
，所述底盘
(21)
包括底壳
(214)
，所述底壳
(214)
位于所述底盘
(21)
的底端，所述出气口位于所述底壳
(214)
上，所述出气口与所述条形板
(215)
的一端插接，所述条形板
(215)
的另一端穿过所述底壳
(214)
至所述净化壳体
(2)
的外部，所述第二弹性件
(2152)
一端与所述底壳
(214)
接触，且所述第二弹性件
(2152)
另一端与所述条形板
(215)
接触
。4.
根据权利要求3所述的一种氦气净化设备，其特征在于，所述套壳
(22)
的内部设有旋转环
(31)
，所述旋转环
(31)
与所述套壳
(22)
内壁接触，所述转轴
(3)
的外壁和所述旋转环
(31)
的内壁分别设有第一卡接部
(32)
和第二卡接部
(33)
，所述第一卡接部
(32)
和所述第二卡接部
(33)
用来与所述储氦板
(4)
的侧边卡接
。5.
根据权利要求4所述的一种氦气净化设备，其特征在于，所述第一卡接部
(32)
与所述活动框架
(51)
对应的侧边之间连接设有第一柔性密封条
(513)
，所述第二卡接部
(33)
与所述延伸板
(512)
之间连接设有第二柔性密封条
(514)。6.
根据权利要求5所述的一种氦气净化设备，其特征在于，所述过滤板
(5)
的外圈设有活动框架
(51)
，所述过滤板
(5)
与所述活动框架
(51)
连接，所述转轴
(3)
的两端设有内圈圆环
(52)
，所述旋转环
(31)
的两端设有外圈圆环
(53)
，所述活动框架
(51)
的上端两侧和下端两侧均设有卡口，且所述活动框架
(51)
的上端两侧和下端两侧的卡扣均分别与所述内圈圆环
(52)
和所述外圈圆环
(53)
滑动连接
。7.
根据权利要求6所述的一种氦气净化设备，其特征在于，所述活动框架
(51)
的上端中部设有延伸柱
(511)
，所述延伸柱
(511)
轴向与所述活动框架
(51)
的宽度方向垂直，所述顶盖
(23)
上设有环口，所述环口与所述延伸柱
(511)
滑动连接，所述延伸柱
(511)
的端部设有倾斜端面向所述储氦板
(4)
的斜坡
(5111)
，所述斜坡
(5111)
用于所述喷水板
(6)
和所述加热板
(7)
下移时沿其滑动<...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓韬，许高坡，柳先林，
申请(专利权)人：广州广钢气体能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：