一种光刻胶颗粒度测试装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于光刻胶测试技术领域，且公开了一种光刻胶颗粒度测试装置及方法

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶颗粒度测试装置及方法


[0001]本专利技术属于光刻胶测试
，具体为一种光刻胶颗粒度测试装置及方法
。

技术介绍

[0002]光刻胶是一种特殊的光敏材料，通常用于微电子制造中的半导体工艺
、
光学器件制造等领域
。
它是一种在光照下会发生化学反应的材料，可以通过控制光刻胶的曝光
、
显影等过程，实现对微型结构的精细加工
。
光刻胶通常由聚合物
、
光敏剂
、
溶剂等组成，不同类型的光刻胶具有不同的特性，如分辨率
、
粘附力
、
耐蚀性等，可以根据具体需求进行选择
。
在微电子制造中，光刻胶是制造芯片
、
集成电路等微型元件的重要材料
。
光刻胶在使用时必须对其颗粒度进行测试方可满足半导体制造的需求
。
[0003]由于光刻胶需要在制造前现场制备，导致每次制备后都需要对其颗粒度进行测试，目前针对光刻胶颗粒度的测试装置主要采用激光粒度仪
、
光散射粒度仪等
。
这些仪器可以通过激光或光散射原理，对光刻胶的颗粒大小进行测量和分析，受制于成本目前主要使用的为光散射粒度仪，常规的光散射粒度仪主要针对管道内部的光刻胶进行颗粒度进行测试，常规的操作方法主要是将待测试的光刻胶通入管道的内部并使用测试仪进行测试，但通入管道内部的光刻胶由于流速和管径的问题导致管道内部的光刻胶在较长时间内处于震荡状态并处于不稳定状态，需要较长时间的静止方可进行测试，对测试精度造成了一定的影响
。
[0004]在针对光刻胶颗粒度的测试过程中为了有效的对管道内部的光刻胶进行测试则必须对管道内部的杂质进行去除，现有技术中一般会使用光刻胶事先对管道的内部进行润洗，虽然这种操作方式可对管道的内部进行清洁，但为了有效的对管道内部进行清洁，普遍会使用较多的光刻胶进行润洗作业，且这部分光刻胶将无法再次使用，所以如何使用较少的光刻胶对管道内部进行润洗是至关重要的
。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种光刻胶颗粒度测试装置及方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种光刻胶颗粒度测试装置，包括机架，所述机架的上方设有光散射粒度仪，所述机架安装在光散射粒度仪的左右两侧，所述光散射粒度仪的输入端固定连通有测试管，所述测试管的底端设有暂存管，所述暂存管为水平横向放置且与光散射粒度仪相互平行，所述暂存管顶端的中部与测试管之间相连通，所述暂存管底端的前后两侧均固定连通有清洗管，所述暂存管的前后两端均固定安装有固定管，两个所述固定管相对远离的一端均安装有电磁阀，所述光散射粒度仪的四角位置上均设有立柱，所述机架的前后两端与立柱的顶端相连接，所述立柱每两个为一组且对称分布在固定管的左右两侧，每组所述立柱之间的底端固定安装有底板，每个所述底板的下方设有调节组件，所述调节组件的一端与清洗管之间相连通；
所述固定管内腔的上下两端均活动安装有挡板，两个所述挡板相对远离的一端均固定安装有延长杆，所述延长杆远离挡板的一端贯穿固定管的外侧面且固定连接有位于固定管上下两端的活动板
。
[0007]在使用前，首先通过外部机架或外部底座将其与立柱和调节组件之间相连接，并关闭电磁阀的阀门，同时接通装置的电源，并将调节组件与外部的光刻胶管道之间相连接，完成测试前的准备
。
[0008]作为本专利技术进一步的技术方案，所述挡板相对固定管上下位移，所述活动板的左右两端均固定安装有导向块，所述立柱的内侧面均开设有导向槽，所述活动板通过导向块与导向槽之间活动卡接
。
[0009]作为本专利技术进一步的技术方案，所述活动板的左右两端均固定安装有螺纹套，两个所述活动板之间的左右两侧均活动套接有螺纹杆，所述螺纹杆与螺纹套中间螺纹套接，所述螺纹杆的中部固定套接有限位套
。
[0010]作为本专利技术进一步的技术方案，所述螺纹杆的外侧面且远离限位套两端的螺纹方向相反且与之对应的螺纹套内部的螺纹槽螺纹方向相同，所述立柱的上下两端通过耳板与螺纹杆之间活动连接，所述螺纹杆相对立柱转动
。
[0011]作为本专利技术进一步的技术方案，所述底板底端的中部活动连接有主动齿轮，所述螺纹杆的底端均活动连接有从动齿轮，两个所述从动齿轮位于主动齿轮的左右两侧且与主动齿轮之间啮合连接
。
[0012]暂存管的内部可安装摄像头用来观察光刻胶的稳定状态，当完成暂存管管道内部的润洗后，可将两个电磁阀与外部的光刻胶管道之间进行并联，并开启两个电磁阀确保光刻胶能进入暂存管的内部，当光刻胶通过管道进入暂存管的内部时，此时可通过观察光刻胶的激荡状态对前后两个固定管进行调整，此时通过开启调节组件即可驱动主动齿轮旋转，此时左右两个从动齿轮随之旋转并带动两个螺纹杆旋转，此时在导向块和导向槽的导向作用下即可带动两个活动板相对靠近或远离，此时两个挡板即可相对靠近或远离，此时固定管的内径即可被调整，此时两个固定管端部的液体压力随之被调整，通过两端固定管的内径调整，使得暂存管内部的光刻胶与外部光刻胶管道内部的压力保持平衡，使得光刻胶处于稳定状态，方便对其颗粒度进行测量
。
[0013]通过设置有可变内径的固定管，以及调节组件的作用，通过调节组件的主动作用实现固定管内径的调整，进而实现端口压力的调节，通过压力的调节平衡液体在进入不同管道内因压力变化导致的激荡现象，通过主动作用使得液体快速趋于稳定，避免传统使用静置方法导致的测试较长的问题，可快速实现光刻胶的稳定降低对测试结果的影响
。
[0014]当完成暂存管与外部光刻胶管道之间的压力平衡时，此时确保暂存管内部的液面到达预定水平，此时通过关闭两个电磁阀的阀门使得外部的光刻胶无法进入暂存管的内部且暂存管内部的光刻胶无法流出，此时即可通过拆除外部管道，使得稳定状态下的光刻胶暂存至暂存管的内部，此时即可通过光散射粒度仪和测试管对光刻胶的颗粒度进行测试，完成颗粒度测试
。
[0015]通过设置对可变内径的固定管以及暂存管与外部管道之间配合，通过在压力平衡后通过拆除外部管道实现稳定状态下光刻胶的暂存，进而对静止稳定状态下的光刻胶进行多次颗粒度测试，避免外部管道内光刻胶的流动对测量过程的影响，可尽可能消除光刻胶
的流动对测试结果的影响，提高测试精度
。
[0016]作为本专利技术进一步的技术方案，所述调节组件包括动力罐，所述动力罐位于主动齿轮的下方，所述动力罐内腔的中部活动连接有主轴，所述主轴的顶端贯穿动力罐的顶端且通过电磁离合器与主动齿轮底端的中部相连接
。
[0017]作为本专利技术进一步的技术方案，所述主轴的外侧面固定套接有位于动力罐内部的叶轮，所述动力罐的底端固定连接有固定架，所述固定架的顶端固定安装有伺服电机，所述主轴的底端贯穿动力罐的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种光刻胶颗粒度测试装置，包括机架（1），其特征在于：所述机架（1）的上方设有光散射粒度仪（2），所述机架（1）安装在光散射粒度仪（2）的左右两侧，所述光散射粒度仪（2）的输入端固定连通有测试管（3），所述测试管（3）的底端设有暂存管（4），所述暂存管（4）为水平横向放置且与光散射粒度仪（2）相互平行，所述暂存管（4）顶端的中部与测试管（3）之间相连通，所述暂存管（4）底端的前后两侧均固定连通有清洗管（
17
），所述暂存管（4）的前后两端均固定安装有固定管（
12
），两个所述固定管（
12
）相对远离的一端均安装有电磁阀（
13
），所述光散射粒度仪（2）的四角位置上均设有立柱（5），所述机架（1）的前后两端与立柱（5）的顶端相连接，所述立柱（5）每两个为一组且对称分布在固定管（
12
）的左右两侧，每组所述立柱（5）之间的底端固定安装有底板（
18
），每个所述底板（
18
）的下方设有调节组件（
16
），所述调节组件（
16
）的一端与清洗管（
17
）之间相连通；所述固定管（
12
）内腔的上下两端均活动安装有挡板（
15
），两个所述挡板（
15
）相对远离的一端均固定安装有延长杆（
14
），所述延长杆（
14
）远离挡板（
15
）的一端贯穿固定管（
12
）的外侧面且固定连接有位于固定管（
12
）上下两端的活动板（8）
。2.
根据权利要求1所述的一种光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于：所述挡板（
15
）相对固定管（
12
）上下位移，所述活动板（8）的左右两端均固定安装有导向块（7），所述立柱（5）的内侧面均开设有导向槽（6），所述活动板（8）通过导向块（7）与导向槽（6）之间活动卡接
。3.
根据权利要求1所述的一种光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于：所述活动板（8）的左右两端均固定安装有螺纹套（9），两个所述活动板（8）之间的左右两侧均活动套接有螺纹杆（
10
），所述螺纹杆（
10
）与螺纹套（9）中间螺纹套接，所述螺纹杆（
10
）的中部固定套接有限位套（
11
）
。4.
根据权利要求3所述的一种光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于：所述螺纹杆（
10
）的外侧面且远离限位套（
11
）两端的螺纹方向相反且与之对应的螺纹套（9）内部的螺纹槽螺纹方向相同，所述立柱（5）的上下两端通过耳板与螺纹杆（
10
）之间活动连接，所述螺纹杆（
10
）相对立柱（5）转动
。5.
根据权利要求3所述的一种光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于：所述底板（
18
）底端的中部活动连接有主动齿轮（
19
），所述螺纹杆（
10
）的底端均活动连接有从动齿轮（
20
），两个所述从动齿轮（
20
）位于主动齿轮（
19
）的左右两侧且与主动齿轮（
19
）之间啮合连接
。6.
根据权利要求5所述的一种光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于：所述调节组件（
16
）包括动力罐（
161
），所述动力罐（
161
）位于主动齿轮（
19
）的下方，所述动力罐（
161
）内腔的中部活动连接有主轴（
162
），所述主轴（
162
）的顶端贯穿动力罐（
161
）的顶端且通过电磁离合器与主动齿轮（
19
）底端的中部相连接
。7.
根据权利要求6所述的一种光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于：所述主轴（
162
）的外侧面固定套接有位于动力罐（
161
）内部的叶轮（
163
），所述动力罐（
161
）的底端固定连接有固定架（
164
）...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯石川，沈燕，
申请(专利权)人：上海艾深斯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：