一种废气处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术的实施例提供一种废气处理装置，涉及废气处理领域

【技术实现步骤摘要】
一种废气处理装置


[0001]本专利技术涉及废气处理领域，具体而言，涉及一种废气处理装置
。

技术介绍

[0002]半导体行业在生产过程中会产生多种有毒有害气体，目前通常采用电热分解法
、
燃气燃烧式及吸附式等对有毒有害气体进行净化处理
。
[0003]然而现有的废气处理设备在长时间运行后会因为废气中的粉尘大量累积而导致管路及设备内部气体流通不顺畅甚至堵塞，不仅影响废气处理效率，还会缩短设备的维护周期，从而增加生产成本
。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供了一种废气处理装置，其能够避免洗气管因废气中的粘稠粉尘因温度降低而发生硬化，避免造成管路堵塞，并且能够对冲洗段的内壁进行清洗，以对附着于内壁上的粉尘
、
杂质等颗粒物进行洗刷，以达到防腐和降温处理的目的
。
[0005]本专利技术的实施例可以这样实现：
[0006]第一方面，本专利技术提供一种废气处理装置，包括洗气管
、
加热件以及洗气组件；
[0007]所述洗气管包括保温段和冲洗段，所述保温段的一端与所述冲洗段连接，另一端用于通入废气；
[0008]所述加热件设置于所述保温段外，用于向所述保温段加热；
[0009]所述洗气组件设置于所述冲洗段内，用于喷淋所述冲洗段
。
[0010]在上述实施例中，通过在保温段设置加热件以加热管路，同时起到保温的作用，以防止废气中的粘稠粉尘因温度降低而发生硬化，避免造成管路堵塞；通过在冲洗段内设置洗气组件以对冲洗段进行喷淋，既可以对冲洗段的内壁进行清洗，以对附着于内壁上的粉尘
、
杂质等颗粒物进行洗刷，又可以达到防腐和降温处理的目的，还能够使得废气中的固体颗粒及酸性物质快速溶于水中，从而有效预防了管路内部的堵塞问题
。
[0011]在可选的实施方式中，所述洗气组件为溢流件，所述溢流件设置有溢流间隙，所述溢流间隙用于向所述冲洗段的内壁喷淋并形成水膜
。
[0012]在上述实施例中，水流通过溢流间隙流进冲洗段内形成水幕，并在冲洗段的内壁形成水膜，以冲洗粉尘同时避免腐蚀
。
[0013]在可选的实施方式中，所述加热件缠绕于所述保温段的外壁
。
[0014]在上述实施例中，加热件为带状，加热件可以采用电加热的方式进行加热，因此，通过将加热件缠绕于保温段的外壁，可使得加热件对保温段的加热效果更好，且加热均匀，使得保温段的内部维持在较高温度的环境，从而有效防止粘稠粉尘堵塞洗气管
。
[0015]在可选的实施方式中，所述洗气组件为水洗管，所述洗气组件的一端设置有进液口，另一端位于所述冲洗段内并设置有至少两个出液孔
。
[0016]在上述实施例中，洗气组件的端部均匀分布有至少两个出液孔，通过向进液口注
水可使得水经由洗气组件从至少两个出液孔朝向洗气管均匀地喷射，从而实现废气中的颗粒物质及酸性物质溶于水，并对洗气管的部分内壁以及附着于内壁上的粉尘
、
杂质等颗粒物进行洗刷，从而有效地达到清洗
、
降温以及防腐的作用
。
[0017]在可选的实施方式中，所述洗气组件开设有至少两个出液孔的端部还设置有导流盖，所述导流盖用于使从所述出液孔喷出的水形成水帘
。
[0018]在上述实施例中，将导流盖设置在洗气组件开设有出液孔一端的顶部，以对从出液孔喷出的水起到缓冲和导流作用，从而使得水流形成水帘，以使废气和水充分接触，并冲刷洗气管的内壁
。
[0019]在可选的实施方式中，所述洗气组件包括进液段和至少两个出液段，所述至少两个出液段均与所述进液段连接，所述进液口设置于所述进液段，所述至少两个出液段均设置有所述至少两个出液孔；
[0020]所述洗气管的数量为至少两个，所述至少两个出液段一一对应地设置于所述至少两个洗气管的所述冲洗段内
。
[0021]在上述实施例中，通过设置至少两个洗气管，以提高废气的处理效率，同时在至少两个洗气管的冲洗段内均设置有一个出液段，以确保对每个洗气管进行喷淋
。
[0022]在可选的实施方式中，所述废气处理装置还包括储液箱，所述储液箱设置有进气口，所述洗气管与所述储液箱的所述进气口连通
。
[0023]在上述实施例中，储液箱用于承接并储存淋洗后的液体，并且可向储液箱灌注液体，以使得气体从洗气管中流入到储液箱内并与储液箱内的液体接触，以过滤废气中的杂质
。
[0024]在可选的实施方式中，所述储液箱还设置有出气口，且所述储液箱的内部设置有至少一个过滤板，所述过滤板位于所述进气口和所述出气口之间，所述过滤板用于过滤杂质
。
[0025]在上述实施例中，由于在保温段和冲洗段会有粉尘溶于水并进入储液箱，因此在储液箱内设置至少一个过滤板，气体在储液箱内依次经过至少一个过滤板后由出气口排出
。
[0026]在可选的实施方式中，所述废气处理装置还包括进气管，所述进气管与所述保温段连接，用于向所述保温段通入所述废气
。
[0027]在上述实施例中，进气管用于与半导体设备连通，以实现半导体设备产生的废气直接通过进气管输向洗气管
。
[0028]在可选的实施方式中，所述保温段包含耐腐蚀且耐高温的材质；
[0029]和
/
或，所述冲洗段包含防腐蚀且耐酸碱的材质
。
[0030]在上述实施例中，由于保温段需要加热，因此保温段采用耐腐蚀且耐高温的材质，以此提高保温段的耐高温及耐腐蚀能力；由于冲洗段需要进行喷淋，因此冲洗段采用防腐蚀且耐酸碱的材质，以此提高冲洗段的防腐蚀和耐酸碱能力，因而提高洗气管的适应能力以及使用寿命
。
[0031]本专利技术实施例提供的废气处理装置的有益效果包括：通过在保温段设置加热件以加热管路，同时起到保温的作用，以防止废气中的粘稠粉尘因温度降低而发生硬化，避免造成管路堵塞；通过在冲洗段内设置洗气组件以对冲洗段进行喷淋，既可以对冲洗段的内壁
进行清洗，以对附着于内壁上的粉尘
、
杂质等颗粒物进行洗刷，又可以达到防腐和降温处理的目的，还能够使得废气中的固体颗粒及酸性物质快速溶于水中，从而有效预防了管路内部的堵塞问题
。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图
。
[0033]图1为本专利技术实施例提供的废气处理装置正视图；
[0034]图2为本专利技术实施例提供的废气处理装置俯视图；
[0035]图3为本专利技术实施例提供的图2中
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种废气处理装置，其特征在于，包括洗气管
(100)、
加热件
(200)
以及洗气组件
(300)
；所述洗气管
(100)
包括保温段
(110)
和冲洗段
(120)
，所述保温段
(110)
的一端与所述冲洗段
(120)
连接，另一端用于通入废气；所述加热件
(200)
设置于所述保温段
(110)
，用于向所述保温段
(110)
加热；所述洗气组件
(300)
设置于所述冲洗段
(120)
，用于喷淋所述冲洗段
(120)。2.
根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述洗气组件
(300)
为溢流件，所述溢流件设置有溢流间隙，所述溢流间隙用于向所述冲洗段
(120)
的内壁喷淋并形成水膜
。3.
根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述加热件
(200)
缠绕于所述保温段
(110)
的外壁
。4.
根据权利要求1或2所述的废气处理装置，其特征在于，所述洗气组件
(300)
为水洗管，所述水洗管的一端设置有进液口
(311)
，另一端位于所述冲洗段
(120)
内并设置有至少两个出液孔
(321)。5.
根据权利要求4所述的废气处理装置，其特征在于，所述洗气组件
(300)
开设有至少两个出液孔
(321)
的端部还设置有导流盖
(330)
，所述导流盖
(330)
用于使从所述出液孔
(321)
喷出的水形成水帘
。6.
根据权利要求4所述的废气处理装置，其特征在于，所述洗气组件
(300)
包括进液段
(310)
和至少两个出液段
(320)
，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟明，于广游，姜润雨，金丙哲，
申请(专利权)人：上海盛剑半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：