半导体晶棒的弧度检测装置制造方法及图纸

本申请提供可提高棱边弧度检测准确率以及检测效率的半导体晶棒的弧度检测装置。弧度检测装置包括：载物台，用于承载半导体晶棒；检测单元，包括：滑动组件，设置于载物台，测量支架，与滑动组件滑动连接以相对滑动组件沿半导体晶棒的长度方向直线滑动，并与载物台形成半导体晶棒的容置空间，弧度传感器，设置于测量支架，用于测量半导体晶棒的棱边弧度；驱动控制单元，设置于载物台，包括驱动器以及控制器，驱动器与测量支架连接且驱动测量支架相对滑动组件沿半导体晶棒的长度方向直线滑动，控制器与驱动器及弧度传感器均电连接，控制器控制驱动器驱动测量支架到达弧度测量点，并控制弧度传感器在弧度测量点检测半导体晶棒的棱边弧度。弧度。弧度。

【技术实现步骤摘要】
半导体晶棒的弧度检测装置


[0001]本申请涉及半导体晶棒检测设备
，尤其涉及一种半导体晶棒的弧度检测装置。

技术介绍

[0002]半导体晶棒是半导体元器件生产过程中重要的中间材料。随着单晶硅方棒的重量以及长度不断增加，对半导体晶棒成品检验时检测人员搬运以及翻转晶棒的劳动强度高，人工检测效率以及准确率较低，容易对半导体晶棒的棱边弧度进行漏检误检。
[0003]因此，亟需一种新的半导体晶棒的弧度检测装置。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供一种半导体晶棒的弧度检测装置，包括：
[0005]载物台，载物台用于承载半导体晶棒；
[0006]检测单元，包括：
[0007]滑动组件，设置于载物台，
[0008]测量支架，与滑动组件滑动连接以相对滑动组件沿半导体晶棒的长度方向直线滑动，并与载物台形成半导体晶棒的容置空间，
[0009]弧度传感器，设置于测量支架，用于测量半导体晶棒的棱边弧度；
[0010]驱动控制单元，设置于载物台，驱动控制单元包括驱动器以及控制器，驱动器与测量支架连接且驱动测量支架相对滑动组件沿半导体晶棒的长度方向直线滑动，控制器与驱动器及弧度传感器均电连接，控制器用于控制驱动器驱动测量支架到达弧度测量点，并控制弧度传感器在弧度测量点检测半导体晶棒的棱边弧度。
[0011]本申请实施例提供的半导体晶棒的弧度检测装置，载物台用于承载半导体晶棒，检测单元与驱动控制单元配合实现对放置在载物台上半导体晶棒的棱边弧度进行自动化高效检测。本申请提供的半导体晶棒的弧度检测装置减少了检测过程中人工搬运次数，降低了劳动强度，提高了对半导体晶棒的棱边弧度检测准确率以及检测效率，降低了对半导体晶棒的棱边弧度误检漏检的几率。
[0012]在本申请一些可选的实施例中，检测单元还包括：
[0013]长度传感器，设置于测量支架并与控制器电连接，长度传感器用于检测载物台是否放置半导体晶棒，还用于检测半导体晶棒的长度，其中，
[0014]控制器根据检测所得的半导体晶棒的长度确定弧度测量点，并控制驱动器驱动测量支架移动至弧度测量点。
[0015]在本申请一些可选的实施例中，滑动组件包括间隔设置的两个平行直线滑轨，
[0016]驱动器包括设置于两个直线滑轨之间的丝杠以及驱动丝杠转动的电机，
[0017]测量支架与直线滑轨滑动连接，电机通过丝杠转动驱动测量支架沿直线滑轨滑动。
[0018]在本申请一些可选的实施例中，所述测量支架包括支座以及与支座固定连接的测量臂，
[0019]其中，支座与直线滑轨滑动连接，测量臂包括底端与支座连接并竖直延伸的竖直臂以及从竖直臂的顶端横向延伸至载物台上方的壁主体，臂主体的延伸方向与直线滑轨的延伸方向相垂直并且弧度传感器设置在壁主体上。
[0020]在本申请一些可选的实施例中，弧度传感器包括滑动设置于臂主体上的第一子弧度传感器和第二子弧度传感器，第一子弧度传感器和第二子弧度传感器在臂主体的延伸方向上相对设置，且第一子弧度传感器的第一探测方向与第二子弧度传感器的第二探测方向相交，长度传感器设置于臂主体，并位于第一子弧度传感器和第二子弧度传感器之间。
[0021]在本申请一些可选的实施例中，竖直臂与支座通过升降机构连接以相对于支座可升降。
[0022]在本申请一些可选的实施例中，载物台包括：
[0023]载物板，包括用于布设驱动控制单元的控制器件集成区和用于布设检测单元的半导体晶棒检测区，半导体晶棒检测区设置有保护层，保护层设置于载物板的载物面，保持层包括多个并排间隔设置的塑料条形板。
[0024]在本申请一些可选的实施例中，检测单元中还包括限位结构，
[0025]限位结构位设置在底座上，并具有与半导体晶棒的侧面紧贴的定位面，定位面。
[0026]在本申请一些可选的实施例中，限位结构包括多个沿半导体晶棒的长度方向间隔排布的限位墩块，各限位墩块均具有定位面；或者，
[0027]限位结构为矩形板，矩形板沿半导体晶棒的长度方向延伸并且矩形板的一侧面为定位面。
[0028]在本申请一些可选的实施例中，半导体晶棒的弧度检测装置进一步包括：显示控制面板，显示控制面板与控制器电连接以用于输入控制指令，显示控制面板与弧度传感器电连接以显示检测结果。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0030]图1是本申请提供的半导体晶棒的弧度检测装置一实施例的正视图；
[0031]图2是本申请提供的半导体晶棒的弧度检测装置一实施例的俯视图；
[0032]图3是本申请提供的半导体晶棒的弧度检测装置一实施例的右视图；
[0033]图4是本申请提供的半导体晶棒的弧度检测装置一实施例的俯视图。
[0034]附图标记说明：
[0035]载物台
‑
1；载物板
‑
11；塑料条形板
‑
111；底座
‑
12；支撑柱
‑
121；
[0036]滑动组件
‑
21；直线滑轨
‑
211；滑块
‑
212；
[0037]测量支架
‑
22；支座
‑
221；测量臂
‑
222；臂主体
‑
2221；竖直臂
‑
2222；第一子弧度传感器
‑
23；第二子弧度传感器
‑
24；
[0038]电机
‑
31；控制仓
‑
32；丝杠
‑
32
[0039]长度传感器
‑
4；
[0040]限位结构
‑
5；定位面
‑
51；限位墩块
‑
52；
[0041]半导体晶棒
‑
6；
[0042]控制器件集成区
‑
A；半导体晶棒检测区
‑
B；第一探测方向
‑
X；第二探测方向
‑
Y；
[0043]半导体晶棒的长度方向
‑
Z。
具体实施方式
[0044]下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0045]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体晶棒的弧度检测装置，其特征在于，包括：载物台，所述载物台用于承载半导体晶棒；检测单元，包括：滑动组件，设置于所述载物台，测量支架，与所述滑动组件滑动连接以相对所述滑动组件沿所述半导体晶棒的长度方向直线滑动，并与所述载物台形成半导体晶棒的容置空间，弧度传感器，设置于所述测量支架，用于测量半导体晶棒的棱边弧度；驱动控制单元，设置于所述载物台，所述驱动控制单元包括驱动器以及控制器，所述驱动器与所述测量支架连接且驱动所述测量支架相对所述滑动组件沿所述半导体晶棒的长度方向直线滑动，所述控制器与所述驱动器及所述弧度传感器均电连接，所述控制器用于控制所述驱动器驱动所述测量支架到达弧度测量点，并控制所述弧度传感器在所述弧度测量点检测所述半导体晶棒的棱边弧度。2.根据权利要求1所述的半导体晶棒的弧度检测装置，其特征在于，所述检测单元还包括：长度传感器，设置于所述测量支架并与所述控制器电连接，所述长度传感器用于检测所述载物台是否放置半导体晶棒，还用于检测半导体晶棒的长度，其中，所述控制器根据检测所得的所述半导体晶棒的长度确定所述弧度测量点，并控制所述驱动器驱动所述测量支架移动至所述弧度测量点。3.根据权利要求2所述的半导体晶棒的弧度检测装置，其特征在于，所述滑动组件包括间隔设置的两个平行直线滑轨，所述驱动器包括设置于两个所述直线滑轨之间的丝杠以及驱动所述丝杠转动的电机，所述测量支架与所述直线滑轨滑动连接，所述电机通过所述丝杠转动驱动所述测量支架沿所述直线滑轨滑动。4.根据权利要求3所述的半导体晶棒的弧度检测装置，其特征在于，所述测量支架包括支座以及与支座固定连接的测量臂，其中，所述支座与所述直线滑轨滑动连接，所述测量臂包括底端与所述支座连接并竖直延伸的竖直臂以及从所述竖直臂的顶端横向延伸至所述载物台上方的壁主体，所述臂主体的延伸...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏传军，曹国良，刘通，
申请(专利权)人：包头晶澳太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：