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本申请提供可提高棱边弧度检测准确率以及检测效率的半导体晶棒的弧度检测装置。弧度检测装置包括：载物台，用于承载半导体晶棒；检测单元，包括：滑动组件，设置于载物台，测量支架，与滑动组件滑动连接以相对滑动组件沿半导体晶棒的长度方向直线滑动，并与载...
该专利属于包头晶澳太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过包头晶澳太阳能科技有限公司授权不得商用。

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