一种碳化硅晶体生长装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种碳化硅晶体生长装置，涉及碳化硅制备技术领域，包括坩埚和锅盖，所述坩埚的顶端有数个密封槽，且坩埚的顶端通过密封槽与锅盖的底端相适配，所述坩埚的顶端外侧固定连接有数个支撑块，且支撑块呈圆形阵列，所述支撑块的顶端设置有压紧机构，且压紧机构的底端与锅盖的顶端活动连接，所述锅盖的底端中心处固定连接有固定块

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅晶体生长装置


[0001]本技术涉及碳化硅制备
，具体是一种碳化硅晶体生长装置
。

技术介绍

[0002]碳化硅，是一种无机物，化学式为
SiC
，是用石英砂
、
石油焦
(
或煤焦
)、
木屑
(
生产绿色碳化硅时需要加食盐
)
等原料通过电阻炉高温冶炼而成
。
碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石
。
在
C、N、B
等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛
、
最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂
。
[0003]目前，碳化硅生长过程中，由于锅盖通常利用自身重力盖在坩埚的顶端，但是在高温下，气化的粉料容易将锅盖微微顶起，从而造成容易存在气化的碳化硅粉料从坩埚以及锅盖之间的缝隙跑出，并且通常采用托盘的方式盛放籽晶，容易造成籽晶部分面积不能进行碳化硅的粘附，为此，需要一种碳化硅晶体生长装置来解决现有的不足
。

技术实现思路

[0004]解决的技术问题
[0005]本技术的目的就是为了弥补现有技术的不足，提供了一种碳化硅晶体生长装置
。
[0006]技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种碳化硅晶体生长装置，包括坩埚和锅盖，所述坩埚的顶端有数个密封槽，且坩埚的顶端通过密封槽与锅盖的底端相适配，所述坩埚的顶端外侧固定连接有数个支撑块，且支撑块呈圆形阵列，所述支撑块的顶端设置有压紧机构，且压紧机构的底端与锅盖的顶端活动连接，所述锅盖的底端中心处固定连接有固定块，所述固定块的内部活动连接有夹持机构，且夹持机构位于坩埚的内部
。
[0008]上述的，所述压紧机构包括支撑杆
、
支撑板
、
螺纹杆和转盘，所述支撑杆呈圆形阵列分布，且支撑杆的顶端均固定连接于支撑板的底端，所述螺纹杆贯穿支撑板的中心处，且螺纹杆与支撑板螺纹连接，所述转盘固定连接于螺纹杆的顶端
。
[0009]上述的，所述支撑杆均贯穿锅盖，且支撑杆与锅盖活动连接，所述支撑杆的底端分别固定连接于支撑块的顶端，且螺纹杆的底端贴合于锅盖的顶端
。
[0010]上述的，所述支撑杆的外侧均套设有复位弹簧，所述复位弹簧的顶端均固定连接于支撑板的底端，且复位弹簧的底端均固定连接于锅盖的顶端
。
[0011]上述的，所述夹持机构包括驱动杆
、
移动杆
、
夹块
、
旋杆和旋钮，所述移动杆一驱动杆的轴心为原点对称，所述驱动杆的两端分别与移动杆活动连接，所述夹块成对设置，且夹块分别与移动杆固定连接，所述旋杆的一端固定连接于旋钮，且旋杆的另一端固定连接于驱动杆的中心处
。
[0012]上述的，所述驱动杆通过转轴活动连接于固定块的内部，所述旋杆贯穿固定块，且旋杆与固定块活动连接，所述固定块的内部固定连接有压缩弹簧，且压缩弹簧的另一端固
定连接于移动杆的端部
。
[0013]上述的，所述移动杆的表面均贯通开设有移动槽，所述驱动杆呈椭圆形，且驱动杆的两端分别活动连接于移动槽的内部
。
[0014]有益效果：
[0015]与现有技术相比，该一种碳化硅晶体生长装置具备如下有益效果：
[0016]一
、
本技术通过设置的压紧机构，旋转转盘，带动螺纹杆转动，从而将锅盖往下推，直至锅盖的底端与坩埚顶端的螺纹槽相卡合，并且在螺纹杆的挤压下，使锅盖紧贴于坩埚，增加锅盖与坩埚之间的连接紧密性，避免碳化硅气体从坩埚与坩埚盖之间的空隙中逸出，从而避免造成碳化硅粉料的浪费
。
[0017]二
、
本技术通过设置的夹持机构，转动旋钮，带动旋杆在固定块的内部转动，从而使驱动杆转动，使驱动杆的端部在移动槽的内部移动，以此带动移动杆进行相互靠近，从而带动夹块相互靠近，对籽晶进行夹持，方便升华后的碳化硅粉料粘附于籽晶的表面，以提高籽晶的生长面积，减少托盘盛放籽晶造成的不便
。
[0018]本技术的其他优点
、
目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述，并且在某种程度上，基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的，或者可以从本技术的实践中得到教导
。
附图说明
[0019]图1为本技术的立体结构示意图；
[0020]图2为本技术的压紧机构结构示意图；
[0021]图3为本技术的夹持机构结构示意图；
[0022]图4为本技术图1中
A
处的放大结构示意图
。
[0023]图中：
1、
坩埚；
2、
锅盖；
3、
密封槽；
4、
支撑块；
5、
压紧机构；
501、
支撑杆；
502、
支撑板；
503、
螺纹杆；
504、
转盘；
6、
固定块；
7、
夹持机构；
701、
驱动杆；
702、
移动杆；
703、
夹块；
704、
旋杆；
705、
旋钮；
8、
复位弹簧；
9、
压缩弹簧；
10、
移动槽
。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0025]如图1‑4所示，本技术提供一种技术方案：一种碳化硅晶体生长装置，包括坩埚1和锅盖2，坩埚1的顶端有数个密封槽3，且坩埚1的顶端通过密封槽3与锅盖2的底端相适配，坩埚1的顶端外侧固定连接有数个支撑块4，且支撑块4呈圆形阵列，支撑块4的顶端设置有压紧机构5，且压紧机构5的底端与锅盖2的顶端活动连接，锅盖2的底端中心处固定连接有固定块6，固定块6的内部活动连接有夹持机构7，且夹持机构7位于坩埚1的内部
。
[0026]首先，利用夹持机构7将籽晶固定于锅盖2的正下方，方便升华后的碳化硅粉料粘附于籽晶的表面，以提高籽晶的生长面积，减少托盘盛放籽晶造成的不便，随后利用压紧机构5，将锅盖2与坩埚1顶端的螺纹槽相卡合，并且增加锅盖2与坩埚1之间的连接紧密性，避
免碳化硅气体从坩埚1与坩埚1盖之间的空隙中逸出，从而避免造成碳化硅粉本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种碳化硅晶体生长装置，包括坩埚
(1)
和锅盖
(2)
，其特征在于：所述坩埚
(1)
的顶端有数个密封槽
(3)
，且坩埚
(1)
的顶端通过密封槽
(3)
与锅盖
(2)
的底端相适配，所述坩埚
(1)
的顶端外侧固定连接有数个支撑块
(4)
，且支撑块
(4)
呈圆形阵列，所述支撑块
(4)
的顶端设置有压紧机构
(5)
，且压紧机构
(5)
的底端与锅盖
(2)
的顶端活动连接，所述锅盖
(2)
的底端中心处固定连接有固定块
(6)
，所述固定块
(6)
的内部活动连接有夹持机构
(7)
，且夹持机构
(7)
位于坩埚
(1)
的内部
。2.
根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长装置，其特征在于：所述压紧机构
(5)
包括支撑杆
(501)、
支撑板
(502)、
螺纹杆
(503)
和转盘
(504)
，所述支撑杆
(501)
呈圆形阵列分布，且支撑杆
(501)
的顶端均固定连接于支撑板
(502)
的底端，所述螺纹杆
(503)
贯穿支撑板
(502)
的中心处，且螺纹杆
(503)
与支撑板
(502)
螺纹连接，所述转盘
(504)
固定连接于螺纹杆
(503)
的顶端
。3.
根据权利要求2所述的一种碳化硅晶体生长装置，其特征在于：所述支撑杆
(501)
均贯穿锅盖
(2)
，且支撑杆
(501)
与锅盖
(2)
活动连接，所述支撑杆
(501)
的底端分别固定连接于支撑块
(4)
的顶端，且螺纹杆
(503)
的底端贴合于锅盖
(2)
的顶端
。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：董世昌，黎红，
申请(专利权)人：山东金鸿新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：