一种采用优化测温结构的真空键合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于真空键合技术领域，尤其是一种采用优化测温结构的真空键合装置，针对现有的测温装置在对加热盘进行真空状态下测温时，测温效果差，准确度底的问题，现提出如下方案，其包括壳体，所述壳体的内壁上安装有安装板，所述安装板上安装有铝制加热盘，所述铝制加热盘的底部开设有两个对称设置的螺纹孔，两个螺纹孔内分别螺纹连接有第一热电偶与第二热电偶，所述壳体的底部安装有两个对称设置的显示屏，第一热电偶与第二热电偶与对应的显示屏连接，所述壳体的顶部安装有控制器

【技术实现步骤摘要】
一种采用优化测温结构的真空键合装置


[0001]本技术涉及真空键合
，尤其涉及一种采用优化测温结构的真空键合装置
。

技术介绍

[0002]现有普通加热盘或键合机升温测温装置，一般采用接触式热电偶测加热盘温度，热电偶将热信号转化为电信号传输给温控器，温控器再控制加热系统升温或保温
。
普通加热盘通过螺丝开孔，将热电偶旋入螺孔中，但热电偶与加热盘并不是完全接触，实践中发现热电偶与加热盘间实际存在可位移的间隙
。
加热盘加热后热量通过加热盘与热电偶之间的热传导和空气热辐射将热量传递给热电偶进行测温，在大气常压下加热，热传导与热辐射均能良好进行，经测温计检验，热电偶测试温度与外置测温计测得温度基本接近，能满足测温需求
。
[0003]但在真空环境中进行加热与控温时，同一加热装置，在真空中由于气体稀少，热电偶与加热盘存有间隙，而气体热辐射传热大大减少导致热电偶温度实际低于加热盘温度，温控装置会在实际达到设定温度后继续升温，结果是实际温度会远高于设定温度
。
远高于实际温度的情况下，实验人员得不到正确的温度条件，也不能控制温度在预设温度；在一个较高设定温度下，温控装置可能会持续升温，如加热盘为不锈钢，会持续升温至加热盘发红或高于加热盘耐受温度；若实验材料热稳定性不高，甚至会产生材料的热分解
(
如砷化镓等
)
，造成严重的安全隐患
。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有的测温装置在对加热盘进行真空状态下测温时，测温效果差，准确度底的缺点，而提出的一种采用优化测温结构的真空键合装置
。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种采用优化测温结构的真空键合装置，包括壳体，所述壳体的内壁上安装有安装板，所述安装板上安装有铝制加热盘，所述铝制加热盘的底部开设有两个对称设置的螺纹孔，两个螺纹孔内分别螺纹连接有第一热电偶与第二热电偶，所述壳体的底部安装有两个对称设置的显示屏，第一热电偶与第二热电偶与对应的显示屏连接，所述壳体的顶部安装有控制器，所述控制器与铝制加热盘连接，所述壳体的两侧均固定安装有安装盒，所述安装盒内设有抽气机构，两个安装盒中的安装盒的顶部固定安装有的电机，电机的输出轴上固定安装有主动杆，主动杆与两个抽气机构传动连接
。
[0007]优选的，所述抽气机构包括活塞板，活塞板贴合在安装盒的内壁上，活塞板的顶部固定安装有拉杆，拉杆与主动杆传动连接
。
[0008]优选的，所述安装盒的一侧开设有通孔，通孔与壳体相互连通
。
[0009]优选的，所述主动杆上固定安装有两个蜗杆，安装盒的顶部转动连接有蜗轮，蜗杆与对应的蜗轮相互啮合，蜗轮与拉杆螺纹连接
。
[0010]优选的，所述安装盒的顶部固定安装有定位盒，定位盒拉杆滑动连接，且定位盒与主动杆转动连接
。
[0011]优选的，所述第一热电偶上活动套设有顶板，第一热电偶滑动连接有定位板，顶板与定位板之间安装有同一个顶簧
。
[0012]优选的，所述第一热电偶上螺纹连接有转块，转块与定位板转动连接
。
[0013]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0014](1)
本方案由于设置了蜗杆与蜗轮的相互啮合，且活塞板与安装盒的相互贴合，使得转动的主动杆能够带动活塞板对壳体内气体进行抽吸，从而使得壳体内形成真空状态；
[0015](2)
由于第一热电偶与第二热电偶与对应的螺纹孔螺纹连接，且顶簧与顶板对第一热电偶的作用，从而使得第一热电偶能够与螺纹孔之间的接触缝隙更小，进而使得测量温度更精准
。
[0016]本技术操作简单，使用方便，能够便于对铝制加热盘更加精准的测温，同时还能便于使得铝制加热盘处于真空状态下进行测试测温
。
附图说明
[0017]图1为本技术提出的一种采用优化测温结构的真空键合装置的结构示意图；
[0018]图2为本技术提出的一种采用优化测温结构的真空键合装置的第一热电偶三维结构示意图；
[0019]图3为本技术提出的一种采用优化测温结构的真空键合装置的
A
部分结构示意图
。
[0020]图中：
1、
壳体；
2、
安装板；
3、
铝制加热盘；
4、
控制器；
5、
螺纹孔；
6、
第一热电偶；
7、
第二热电偶；
8、
显示屏；
9、
定位板；
10、
转块；
11、
顶簧；
12、
顶板；
14、
安装盒；
15、
通孔；
16、
活塞板；
17、
拉杆；
18、
电机；
19、
主动杆；
20、
蜗杆；
21、
蜗轮
。
具体实施方式
[0021]下面将结合本实施例中的附图，对本实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实施例一部分实施例，而不是全部的实施例
。
[0022]实施例一
[0023]参照图1‑
图3，一种采用优化测温结构的真空键合装置，包括壳体1，壳体1的内壁上安装有安装板2，安装板2上安装有铝制加热盘3，铝制加热盘3的底部开设有两个对称设置的螺纹孔5，两个螺纹孔5内分别螺纹连接有第一热电偶6与第二热电偶7，壳体1的底部安装有两个对称设置的显示屏8，第一热电偶6与第二热电偶7与对应的显示屏8连接，壳体1的顶部安装有控制器4，控制器4与铝制加热盘3连接，壳体1的两侧均固定安装有安装盒
14
，安装盒
14
内设有抽气机构，抽气机构包括活塞板
16
，活塞板
16
贴合在安装盒
14
的内壁上，活塞板
16
的顶部固定安装有拉杆
17
，拉杆
17
与主动杆
19
传动连接，两个安装盒
14
中的安装盒
14
的顶部固定安装有的电机
18
，电机
18
的输出轴上固定安装有主动杆
19
，主动杆
19
与两个抽气机构传动连接
。
[0024]本实施例中，安装盒
14
的一侧开设有通孔
15
，通孔
15
与壳体1相互连通，主动杆
19
上固定安装有两个蜗杆
20
，安装盒
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种采用优化测温结构的真空键合装置，包括壳体
(1)
，其特征在于，所述壳体
(1)
的内壁上安装有安装板
(2)
，所述安装板
(2)
上安装有铝制加热盘
(3)
，所述铝制加热盘
(3)
的底部开设有两个对称设置的螺纹孔
(5)
，两个螺纹孔
(5)
内分别螺纹连接有第一热电偶
(6)
与第二热电偶
(7)
，所述壳体
(1)
的底部安装有两个对称设置的显示屏
(8)
，第一热电偶
(6)
与第二热电偶
(7)
与对应的显示屏
(8)
连接，所述壳体
(1)
的顶部安装有控制器
(4)
，所述控制器
(4)
与铝制加热盘
(3)
连接，所述壳体
(1)
的两侧均固定安装有安装盒
(14)
，所述安装盒
(14)
内设有抽气机构，两个安装盒
(14)
中的安装盒
(14)
的顶部固定安装有的电机
(18)
，电机
(18)
的输出轴上固定安装有主动杆
(19)
，主动杆
(19)
与两个抽气机构传动连接
。2.
根据权利要求1所述的一种采用优化测温结构的真空键合装置，其特征在于，所述抽气机构包括活塞板
(16)
，活塞板
(16)
贴合在安装盒
(14)
的内壁上，活塞板
(16)
的顶部固定安装有拉杆
(17)
，拉杆
...

【专利技术属性】
技术研发人员：何晓雄，孔玮，李军帅，
申请(专利权)人：西湖烟山科技杭州有限公司，
类型：新型
国别省市：